技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于制作柵極驅(qū)動(dòng)單元的方法、柵極驅(qū)動(dòng)單元和柵極驅(qū)動(dòng)電路。其中，柵極驅(qū)動(dòng)單元的制作方法包括：在第二金屬層上形成光阻層；利用半色調(diào)掩膜版對(duì)光阻層進(jìn)行曝光和顯影；判斷是否執(zhí)行燒光阻步驟；在判斷出執(zhí)行燒光阻步驟時(shí)，采用燒光阻工藝去除光阻層上對(duì)應(yīng)半色調(diào)掩膜版的半透光區(qū)域的光阻，采用蝕刻工藝蝕刻掉第二金屬層上未被光阻覆蓋的金屬，并灰化剩余光阻，得到第一金屬圖案；在判斷出不執(zhí)行燒光阻步驟時(shí)，采用蝕刻工藝蝕刻掉第二金屬層上未被光阻覆蓋的金屬，并灰化剩余光阻，得到第二金屬圖案。

技術(shù)研發(fā)人員：徐向陽
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市華星光電技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼：201611253204
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.30
技術(shù)公布日：2017.05.10