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      一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置的制作方法

      文檔序號(hào):12715140閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置,包括承載臺(tái)板(1),其特征在于所述的承載臺(tái)板(1)呈為圓形;所述的承載臺(tái)板(1)工作面上設(shè)有圖形化藍(lán)寶石襯底支撐密封圈(2);所述的承載臺(tái)板(1)工作面上還設(shè)有圖形化藍(lán)寶石襯底支撐塊(4),支撐塊(4)位于支撐密封圈(2)內(nèi),支撐塊(4)端面與支撐密封圈(2)端面平齊;所述的承載臺(tái)板(1)上還設(shè)有真空吸孔(5)與輔助吸孔(3),真空吸孔(5)位于承載臺(tái)板(1)中心位置,輔助吸孔(3)位于支撐塊(4)的間隙處。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置,其特征在于所述的承載臺(tái)板(1)設(shè)有若干個(gè)支撐塊(4),支撐塊(4)均布于承載臺(tái)板(1)上的支撐密封圈(2)內(nèi)。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置,其特征在于所述的輔助吸孔(3)以環(huán)形陣列式分布于承載臺(tái)板(1)上。

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