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      一種隔離介質(zhì)板及其工藝方法與流程

      文檔序號:11289666閱讀:213來源:國知局

      本發(fā)明涉及一種隔離介質(zhì)板。



      背景技術(shù):

      在大功率高頻晶體管封裝時,隔離介質(zhì)用于晶體管底面與接地端的隔離,通常是把與晶體管底面接觸區(qū)域做個孤島,其它頂面區(qū)域和底面需要做可靠的電氣互聯(lián)?,F(xiàn)有方法是把隔離介質(zhì)側(cè)面和頂面與底面一起進(jìn)行電鍍,利用側(cè)面的鍍層完成頂面和底面的電連接,缺點(diǎn)是成本高,側(cè)面鍍層厚度難控制,寄生參數(shù)隨個體側(cè)壁鍍層厚度變化而大幅波動,批量生產(chǎn)時匹配一致性差。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有產(chǎn)品中的不足,提供隔離介質(zhì)板及其工藝方法。

      為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:

      一種隔離介質(zhì)板,包括隔離介質(zhì)板基板,所述隔離介質(zhì)板上設(shè)有若干個通孔,所述通孔的內(nèi)壁鍍金,所述通孔內(nèi)填充滿銅或者金,所述隔離介質(zhì)板基板的底面鍍金屬,所述隔離介質(zhì)板基板的頂面鍍金屬。

      通孔呈圓柱形。

      所述隔離介質(zhì)板基板的底面鍍金或鍍銅。

      所述隔離介質(zhì)板基板的頂面鍍金或鍍銅。

      氧化鈹陶瓷的工藝方法,包括以下步驟:

      a、在隔離介質(zhì)板基板的上鉆通孔;

      b、通孔的內(nèi)壁鍍金;

      c、在通孔內(nèi)填充滿銅或者金;

      d、在隔離介質(zhì)板基板的底面鍍金屬;

      e:在隔離介質(zhì)板基板的頂面鍍金屬。

      在氧化鈹陶瓷基板的底面鍍的金屬為金或銅。

      所述在氧化鈹陶瓷基板的頂面鍍的金屬為金或銅。

      本發(fā)明的有益效果如下:本發(fā)明通過通孔將頂面和底面電性連接起來,本發(fā)明寄生電感大幅降低并保持一致性,有利于封裝后道程序的匹配處理。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,成本低,提高了大功率高頻晶體管的工作效率。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,成本低,本發(fā)明工藝簡單,成本低,工作效率高。

      附圖說明

      圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合說明書附圖對本發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步說明:

      如圖1所示,一種隔離介質(zhì)板,包括隔離介質(zhì)板基板1,所述隔離介質(zhì)板1上設(shè)有若干個通孔2,所述通孔2的內(nèi)壁鍍金3,所述通孔2內(nèi)填充滿銅或者金4,所述隔離介質(zhì)板基板的底面鍍金屬,所述隔離介質(zhì)板基板的頂面鍍金屬。通孔2呈圓柱形。所述隔離介質(zhì)板基板的底面鍍金或鍍銅。所述隔離介質(zhì)板基板的頂面鍍金或鍍銅。氧化鈹陶瓷的工藝方法,包括以下步驟:

      a、在隔離介質(zhì)板基板1的上鉆通孔2;

      b、通孔2的內(nèi)壁鍍金3;

      c、在通孔2內(nèi)填充滿銅或者金4;

      d、在隔離介質(zhì)板基板1的底面鍍金屬;

      e:在隔離介質(zhì)板基板1的頂面鍍金屬。

      所述在氧化鈹陶瓷基板1的底面鍍的金屬為金或銅。

      所述在氧化鈹陶瓷基板1的頂面鍍的金屬為金或銅。

      本發(fā)明通過通孔將頂面和底面電性連接起來,本發(fā)明寄生電感大幅降低并保持一致性,有利于封裝后道程序的匹配處理。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,成本低,提高了大功率高頻晶體管的工作效率。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,成本低,本發(fā)明工藝簡單,成本低,工作效率高。

      需要注意的是,以上列舉的僅是本發(fā)明的一種具體實(shí)施例。顯然,本發(fā)明不限于以上實(shí)施例,還可以有許多變形??傊?,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能從本發(fā)明公開的內(nèi)容直接導(dǎo)出或聯(lián)想到的所有變形,均應(yīng)認(rèn)為是本發(fā)明的保護(hù)范圍。



      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明公開了隔離介質(zhì)板及其工藝方法,包括隔離介質(zhì)板基板,所述隔離介質(zhì)板上設(shè)有若干個通孔,所述通孔的內(nèi)壁鍍金,所述通孔內(nèi)填充滿銅或者金,所述隔離介質(zhì)板基板的底面鍍金屬,所述隔離介質(zhì)板基板的頂面鍍金屬。氧化鈹陶瓷的工藝方法,包括以下步驟:a、在隔離介質(zhì)板基板的上鉆通孔;b、通孔的內(nèi)壁鍍金;c、在通孔內(nèi)填充滿銅或者金;d、在隔離介質(zhì)板基板的底面鍍金屬;e:在隔離介質(zhì)板基板的頂面鍍金屬。本發(fā)明寄生電感大幅降低并保持一致性,有利于封裝后道程序的匹配處理,本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,成本低。

      技術(shù)研發(fā)人員:丁一;宋賓
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:杭州致善微電子科技有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:2017.06.21
      技術(shù)公布日:2017.09.22
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