本發(fā)明涉及一種吸附把持客體的靜電吸附工具以及對靜電吸附狀態(tài)的客體表面實施加工的客體表面加工方法。

背景技術(shù)：

1、以往，眾所周知，作為利用庫侖力的靜電吸盤具有陶瓷基臺、形成在陶瓷基臺的一個主面上并具有吸附絕緣性基板的吸附面的絕緣層、形成在陶瓷基臺與絕緣層之間的一對電極。絕緣層是與陶瓷基臺相同的陶瓷燒結(jié)體，絕緣層的厚度為0.001mm以上0.1mm以下，一對電極間的距離為0.3mm以上2.5mm以下(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

2、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

3、專利文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)1：日本特開2021-141141號公報

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的技術(shù)問題

2、然而，在上述專利文獻(xiàn)1記載的現(xiàn)有技術(shù)中，對于靜電吸盤而言，是吸附纖薄客體的吸附面為絕緣層(陶瓷燒結(jié)體)的結(jié)構(gòu)。因此，在濕(高濕度)環(huán)境中，如果是短時間，則能夠維持吸附，但如果是長時間，則把持力減弱，存在不能維持纖薄客體的吸附的問題。

3、本發(fā)明是著眼于上述問題而完成的，其目的在于，在濕環(huán)境中長時間持續(xù)維持纖薄客體的吸附。

4、解決問題的技術(shù)手段

5、為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的靜電吸附工具包括靜電吸附力產(chǎn)生部件，其在電絕緣層的內(nèi)部埋設(shè)有電極元件組，通過向電極元件組施加電壓而靜電吸附纖薄客體。靜電吸附力產(chǎn)生部件至少在吸附纖薄客體的吸附面上具有由防水性材料制成的防水層。

6、發(fā)明的效果

7、由于采用了上述解決問題的手段，在濕環(huán)境中長時間持續(xù)維持纖薄客體的吸附。

技術(shù)特征：

1.一種靜電吸附工具，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電吸附工具，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的靜電吸附工具，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3的任一項所述的靜電吸附工具，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3的任一項所述的靜電吸附工具，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電吸附工具，其特征在于，

7.一種客體表面加工方法，其使用權(quán)利要求1至6的任一項所述的靜電吸附工具，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種靜電吸附工具，在濕環(huán)境中長時間持續(xù)維持纖薄客體的吸附。靜電吸附工具(A1)包括：靜電吸附力產(chǎn)生部件(30)，所述靜電吸附力產(chǎn)生部件(30)在電絕緣層(301)的內(nèi)部埋設(shè)電極元件組(302、303)，通過向電極元件組(302、303)施加電壓來靜電吸附纖薄客體(10)；靜電吸附力產(chǎn)生部件(30)至少在吸附纖薄客體(10)的吸附面上具有由防水性材料制成的第一防水絕緣層(305)。

技術(shù)研發(fā)人員：傅寶萊,小谷田博章
受保護(hù)的技術(shù)使用者：筑波精工株式會社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/8/20