本技術(shù)涉及一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，foup作為晶圓臨時(shí)存儲(chǔ)、以及在各個(gè)操作機(jī)臺(tái)之間傳輸晶圓的工具，起到了極其重要的作用。半導(dǎo)體行業(yè)隨著工藝制程的提高，對(duì)傳送晶圓片的載具需要更嚴(yán)格的控制載具內(nèi)部的濕度和含氧量，以最大可能性的降低晶圓片和氧氣和濕度的接觸以免產(chǎn)生氧化反應(yīng)。對(duì)載具進(jìn)行充氮?dú)馐悄壳白钪匾墓に?，?duì)載具進(jìn)行充氮?dú)獾脑O(shè)備逐漸成為晶圓行業(yè)的必備設(shè)備。

2、現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓載具的充氣盤(pán)面是在芯片制造的傳送過(guò)程中對(duì)芯片進(jìn)行凈化，控制芯片在傳送載具所處環(huán)境中的濕度和含氧量，以避免晶圓的氧化，以實(shí)現(xiàn)芯片更高工藝要求。經(jīng)檢索，專利：一種用于晶圓載具的充氣柜體(cn202020084125.8)，包括柜體，柜體包括上柜體和下柜體，上柜體為一側(cè)開(kāi)口的柜體結(jié)構(gòu)設(shè)置，上柜體的底部設(shè)置有xmc盤(pán)面固定板，xmc盤(pán)面固定板上設(shè)置有xmc手動(dòng)調(diào)節(jié)盤(pán)面，上柜體的一側(cè)面設(shè)置有觸控屏，觸控屏通過(guò)可調(diào)節(jié)支架與上柜體相連接，觸控屏一側(cè)的上柜體上還設(shè)置有信號(hào)塔，xmc手動(dòng)調(diào)節(jié)盤(pán)面的底部設(shè)置有操作面板，下柜體上設(shè)置有可自由開(kāi)合的柜門(mén)，柜門(mén)上設(shè)置有把手，下柜體的底部設(shè)置有移動(dòng)固定底座。上述的結(jié)構(gòu)只能針對(duì)同一尺寸的產(chǎn)品進(jìn)行充氣，導(dǎo)致工作效率低，且針對(duì)不同的尺寸產(chǎn)品的充氣靈活度低。

3、有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計(jì)人，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

3、一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，包括柜體本體，所述柜體本體的底部連接有電控裝置，所述柜體本體上方連接有充氣載盤(pán)，所述充氣載盤(pán)的中心處開(kāi)設(shè)有卡孔，所述充氣載盤(pán)的底部連接有穿過(guò)卡孔用于卡住產(chǎn)品的卡爪組件，所述充氣載盤(pán)上連接有定位柱，所述定位柱分散在卡孔的周邊，且它們呈三角形結(jié)構(gòu)分布，鄰近定位柱的側(cè)邊處且在所述充氣載盤(pán)上連接有傳感器，所述充氣載盤(pán)上連接有用于感應(yīng)產(chǎn)品的光電感應(yīng)器，所述光電感應(yīng)器、傳感器以及卡爪組件均與電控裝置相連，所述充氣載盤(pán)上開(kāi)設(shè)有若干用于不同尺寸產(chǎn)品充氣的充氣孔。

4、優(yōu)選地，所述的一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，所述卡爪組件包括卡爪氣缸，所述卡爪氣缸掛接在充氣載盤(pán)的底面上，所述卡爪氣缸的驅(qū)動(dòng)軸與卡爪連接桿的一端相連，所述卡爪連接桿的另一端與穿過(guò)卡孔的卡爪相連，所述卡爪連接桿上連接有用于卡緊卡爪底部的卡緊氣缸。

5、優(yōu)選地，所述的一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，所述傳感器為按壓式的傳感器，同時(shí)設(shè)有3個(gè)，它們分布的位置分別與160mm、260mm和284mm尺寸的產(chǎn)品相配合。

6、優(yōu)選地，所述的一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，所述充氣孔上連接有充氣接口。

7、優(yōu)選地，所述的一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，所述充氣載盤(pán)連接有擋條。

8、優(yōu)選地，所述的一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，所述柜體本體(1)的底部連接有移動(dòng)輪和支撐腳。

9、借由上述方案，本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

10、本實(shí)用新型通過(guò)不同位置的傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同產(chǎn)品的感應(yīng)，從而來(lái)使用于不同產(chǎn)品的充氣，提高適用性，達(dá)到降低成本的目的。

11、上述說(shuō)明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。

技術(shù)特征：

1.一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，包括柜體本體(1)，所述柜體本體(1)的底部連接有電控裝置，其特征在于：所述柜體本體(1)上方連接有充氣載盤(pán)(2)，所述充氣載盤(pán)(2)的中心處開(kāi)設(shè)有卡孔(3)，所述充氣載盤(pán)(2)的底部連接有穿過(guò)卡孔(3)用于卡住產(chǎn)品的卡爪組件(4)，所述充氣載盤(pán)(2)上連接有定位柱(5)，所述定位柱(5)分散在卡孔(3)的周邊，且它們呈三角形結(jié)構(gòu)分布，鄰近定位柱(5)的側(cè)邊處且在所述充氣載盤(pán)(2)上連接有傳感器(6)，所述充氣載盤(pán)(2)上連接有用于感應(yīng)產(chǎn)品的光電感應(yīng)器(7)，所述光電感應(yīng)器(7)、傳感器(6)以及卡爪組件均與電控裝置相連，所述充氣載盤(pán)(2)上開(kāi)設(shè)有若干用于不同尺寸產(chǎn)品充氣的充氣孔(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，其特征在于：所述卡爪組件(4)包括卡爪氣缸(41)，所述卡爪氣缸(41)掛接在充氣載盤(pán)(2)的底面上，所述卡爪氣缸(41)的驅(qū)動(dòng)軸與卡爪連接桿(42)的一端相連，所述卡爪連接桿(42)的另一端與穿過(guò)卡孔的卡爪(43)相連，所述卡爪連接桿(42)上連接有用于卡緊卡爪底部的卡緊氣缸(44)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，其特征在于：所述傳感器(6)為按壓式的傳感器，同時(shí)設(shè)有3個(gè)，它們分布的位置分別與160mm、260mm和284mm尺寸的產(chǎn)品相配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，其特征在于：所述充氣孔(8)上連接有充氣接口。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，其特征在于：所述充氣載盤(pán)(2)上連接有擋條(9)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，其特征在于：所述柜體本體(1)的底部連接有移動(dòng)輪(10)和支撐腳(11)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種適用于晶圓傳送盒的充氣柜體，包括柜體本體，所述柜體本體的底部連接有電控裝置，所述柜體本體上方連接有充氣載盤(pán)，所述充氣載盤(pán)的中心處開(kāi)設(shè)有卡孔，所述充氣載盤(pán)的底部連接有穿過(guò)卡孔用于卡住產(chǎn)品的卡爪組件，所述充氣載盤(pán)上連接有定位柱，所述定位柱分散在卡孔的周邊，且它們呈三角形結(jié)構(gòu)分布，鄰近定位柱的側(cè)邊處且在所述充氣載盤(pán)上連接有傳感器，所述充氣載盤(pán)上連接有用于感應(yīng)產(chǎn)品的光電感應(yīng)器，所述光電感應(yīng)器、傳感器以及卡爪組件均與電控裝置相連，所述充氣載盤(pán)上開(kāi)設(shè)有若干用于不同尺寸產(chǎn)品充氣的充氣孔。本技術(shù)提高工作效率的同時(shí)還能降低成本。

技術(shù)研發(fā)人員：王道帥,廖鴻文
受保護(hù)的技術(shù)使用者：昆山芯物聯(lián)電子通訊有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231130
技術(shù)公布日：2024/12/19