本技術(shù)涉及半導(dǎo)體或光伏材料加工領(lǐng)域，具體涉及一種舟結(jié)構(gòu)以及反應(yīng)爐。

背景技術(shù)：

1、在對半導(dǎo)體或光伏材料進(jìn)行加工時，通常是將片狀材料(如硅片)送入反應(yīng)爐中進(jìn)行加工，反應(yīng)爐可以提供一定的溫度和壓力并通入工藝氣體，以對片狀材料進(jìn)行加工。在裝載或移動待加工的、加工中的或者加工后的片狀材料時通常使用舟結(jié)構(gòu)。

2、相關(guān)技術(shù)中，舟結(jié)構(gòu)中包括多個槽棒，每個槽棒具有多個槽齒，通過槽齒可以承托片狀材料的邊緣部位，但由于片狀材料的自身重力，很容易導(dǎo)致片狀材料的中心區(qū)域下垂凹陷，甚至隱裂。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了解決上述技術(shù)問題，提出了本申請。本申請實施例提供了一種舟結(jié)構(gòu)以及反應(yīng)爐。

2、第一方面，本申請一實施例提供了一種舟結(jié)構(gòu)，用于承托片狀材料，包括：底座；端板；多個第一槽棒，第一槽棒連接底座與端板，以形成容納片狀材料的空間，第一槽棒包括第一槽齒，第一槽齒被配置為承托片狀材料的邊緣區(qū)域；至少一個托片，托片連接底座與端板，托片包括第二槽齒，第二槽齒被配置為承托片狀材料的中心區(qū)域。

3、在一些實施例中，托片還包括本體，第二槽齒包括第一齒段和第二齒段，第一齒段連接本體與第二齒段；其中，在豎直方向上，第二齒段的尺寸大于第一齒段的尺寸，第二齒段用于承托片狀材料的中心區(qū)域。

4、在一些實施例中，第二齒段與片狀材料的接觸方式為點接觸、線接觸或面接觸；其中，在第二齒段與片狀材料的接觸方式為面接觸的情況下，第二齒段與片狀材料的接觸面積小于預(yù)設(shè)面積。

5、在一些實施例中，舟結(jié)構(gòu)包括至少兩個托片，至少兩個托片用于在不同方向上承托所述片狀材料的中心區(qū)域。

6、在一些實施例中，托片的一端與底座可拆卸連接，托片的另一端與端板可拆卸連接。

7、在一些實施例中，舟結(jié)構(gòu)還包括舟耳，舟耳連接相鄰的第一槽棒，托片至少設(shè)置在舟耳所在側(cè)邊；其中，舟耳包括沿豎直方向貫穿的通槽，托片位于相鄰的第一槽棒之間，并嵌入通槽。

8、在一些實施例中，還包括加強(qiáng)件，加強(qiáng)件連接舟耳與端板。

9、在一些實施例中，舟結(jié)構(gòu)還包括第二槽棒，第二槽棒連接底座與端板，第二槽棒包括第三槽齒，第三槽齒被配置為承托片狀加工對象的邊緣區(qū)域。

10、在一些實施例中，第二槽棒的數(shù)量為三個，三個第二槽棒呈三角形分布。

11、第二方面，本申請一實施例提供了一種反應(yīng)爐，包括：如上述第一方面任一所述的舟結(jié)構(gòu)；爐體；爐門，爐體和爐門閉合后形成加工腔室，加工腔室用于容納舟結(jié)構(gòu)和片狀材料。

12、本申請實施例提出的舟結(jié)構(gòu)以及反應(yīng)爐，其中，該舟結(jié)構(gòu)用于承托片狀材料，包括：底座；端板；多個第一槽棒，第一槽棒連接底座與端板，以形成容納片狀材料的空間，第一槽棒包括第一槽齒，第一槽齒被配置為承托片狀材料的邊緣區(qū)域；至少一個托片，托片連接底座與端板，托片包括第二槽齒，第二槽齒被配置為承托片狀材料的中心區(qū)域。本申請?zhí)峁┑闹劢Y(jié)構(gòu)可以通過托片承托片狀材料的中心區(qū)域，從而避免片狀材料的中心區(qū)域凹陷、甚至隱裂。

技術(shù)特征：

1.一種舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，用于承托片狀材料，所述舟結(jié)構(gòu)包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述托片還包括本體，所述第二槽齒包括第一齒段和第二齒段，所述第一齒段連接所述本體與所述第二齒段；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二齒段與所述片狀材料的接觸方式為點接觸、線接觸或面接觸；

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述舟結(jié)構(gòu)包括至少兩個托片，所述至少兩個托片用于在不同方向上承托所述片狀材料的中心區(qū)域。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述的舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述托片的一端與所述底座可拆卸連接，所述托片的另一端與所述端板可拆卸連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述的舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述舟結(jié)構(gòu)還包括舟耳，所述舟耳連接相鄰的所述第一槽棒，所述托片至少設(shè)置在所述舟耳所在側(cè)邊；

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括加強(qiáng)件，所述加強(qiáng)件連接所述舟耳與所述端板。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述的舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述舟結(jié)構(gòu)還包括第二槽棒，所述第二槽棒連接所述底座與所述端板，所述第二槽棒包括第三槽齒，所述第三槽齒被配置為承托所述片狀材料的邊緣區(qū)域。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二槽棒的數(shù)量為三個，三個所述第二槽棒呈三角形分布。

10.一種反應(yīng)爐，其特征在于，包括：

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┝艘环N舟結(jié)構(gòu)以及反應(yīng)爐，涉及半導(dǎo)體或光伏材料加工領(lǐng)域，解決了片狀材料在舟結(jié)構(gòu)中加工時中心區(qū)域凹陷、隱裂的技術(shù)問題。該舟結(jié)構(gòu)，用于承托片狀材料，包括：底座；端板；多個第一槽棒，第一槽棒連接底座與端板，以形成容納片狀材料的空間，第一槽棒包括第一槽齒，第一槽齒被配置為承托片狀材料的邊緣區(qū)域；至少一個托片，托片連接底座與端板，托片包括第二槽齒，第二槽齒被配置為承托片狀材料的中心區(qū)域。本申請?zhí)峁┑闹劢Y(jié)構(gòu)可以通過托片承托片狀材料的中心區(qū)域，從而避免片狀材料中心區(qū)域凹陷、甚至隱裂。

技術(shù)研發(fā)人員：王希望,朱太榮,張武
受保護(hù)的技術(shù)使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231221
技術(shù)公布日：2024/12/19