本技術(shù)涉及半導(dǎo)體襯底材料制造，特別是涉及一種掰邊設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、磷化銦襯底在多個領(lǐng)域具有應(yīng)用市場，包括高頻高功率器件制造、光纖通信、無線傳輸、射電天文學(xué)等射頻器件領(lǐng)域。使用磷化銦襯底制造的射頻器件在衛(wèi)星、雷達(dá)等應(yīng)用場景中表現(xiàn)出卓越性能，尤其在雷達(dá)和通信系統(tǒng)的射頻前端、模擬/混合信號寬帶寬電路方面具有強(qiáng)勁競爭力，適用于高速數(shù)據(jù)處理和高精度寬帶寬a/d轉(zhuǎn)換等應(yīng)用。

2、然而，當(dāng)前磷化銦切片加工過程中，拋光工序中的化蠟步驟費(fèi)時費(fèi)力，而磷化銦切片完切圓的掰邊工作主要依賴人工。員工需使用金剛石刀將不規(guī)則晶片手動掰成方形，耗時且效率低下。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有的掰邊工作需人工使用金剛石刀將不規(guī)則晶片手動掰成方形，耗時且效率低下。

2、為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種掰邊設(shè)備，包括；

3、設(shè)備本體；

4、第一機(jī)械手，包括用于調(diào)節(jié)位姿的第一機(jī)械臂，所述第一機(jī)械臂設(shè)置于所述設(shè)備本體；

5、掰邊組件，包括支撐結(jié)構(gòu)以及掰邊刀具，所述支撐結(jié)構(gòu)安裝于所述第一機(jī)械臂的末端，所述掰邊刀具安裝于所述支撐結(jié)構(gòu)；以及

6、第二機(jī)械手，包括用于調(diào)節(jié)位姿的第二機(jī)械臂以及托盤，所述第二機(jī)械臂安裝于所述設(shè)備本體，所述第二機(jī)械臂的末端安裝有所述托盤。

7、在一些實(shí)施例中，所述支撐結(jié)構(gòu)包括第一支架、兩個第一驅(qū)動件以及滑動安裝于所述第一支架兩端的兩個第二支架，所述第一支架安裝于所述第一機(jī)械臂的末端，所述第一驅(qū)動件安裝于所述第一支架，所述第一支架具有第一滑軌，所述第二支架與所述第一支架的第一滑軌滑動連接，每一所述第一驅(qū)動件的輸出軸與對應(yīng)的所述第二支架連接，以驅(qū)動所述第二支架沿著所述第一滑軌滑動，兩個所述第二支架間隔設(shè)置，且所述掰邊刀具安裝于一所述第二支架，且所述掰邊刀具的刀頭朝向另一所述第二支架。

8、在一些實(shí)施例中，所述設(shè)備本體具有滑動槽；

9、所述第一機(jī)械手還包括第二驅(qū)動件、第二滑軌、第一滑塊、第三驅(qū)動件以及第三滑軌，所述第一機(jī)械臂安裝于所述第二滑軌上，所述第二驅(qū)動件的輸出軸與所述第一機(jī)械臂連接，以驅(qū)動所述第一機(jī)械臂于所述第二滑軌上滑動；

10、所述第二滑軌安裝于所述第一滑塊，所述第一滑塊安裝于所述第三滑軌上，所述第三驅(qū)動件的輸出軸與所述第一滑塊連接，以驅(qū)動所述第一滑塊于所述第三滑軌上滑動。

11、在一些實(shí)施例中，所述滑動槽呈十字狀。

12、在一些實(shí)施例中，所述第一機(jī)械臂包括第一底座、第四驅(qū)動件、第四滑軌、第二滑塊以及第一支撐臂，所述第一底座具有安裝槽，所述第四滑軌安裝于所述安裝槽的槽壁，所述第二滑塊滑動安裝于所述第四滑軌，所述第一支撐臂安裝于所述第二滑塊，所述第四驅(qū)動件安裝于所述安裝槽內(nèi)，且所述第四驅(qū)動件的輸出軸與所述第二滑塊連接，用于驅(qū)動所述第二滑塊相對于所述第四滑軌滑動，以帶動所述第一支撐臂伸出或縮回所述安裝槽，所述掰邊組件安裝于所述第一支撐臂的末端。

13、在一些實(shí)施例中，所述第一機(jī)械臂還包括第二支撐臂，所述第二支撐臂與所述第一支撐臂連接，且所述第二支撐臂與所述第一支撐臂垂直設(shè)置，所述掰邊組件安裝于所述第二支撐臂的末端。

14、在一些實(shí)施例中，所述第二機(jī)械臂包括第二底座、第三支撐臂、第五驅(qū)動件、第四支撐臂以及第六驅(qū)動件，所述第二底座安裝于所述設(shè)備本體，所述第五驅(qū)動件安裝于所述第二底座，且所述第三支撐臂通過所述第五驅(qū)動件與所述第二底座轉(zhuǎn)動連接，所述第六驅(qū)動件安裝于所述第三支撐臂，且所述第四支撐臂通過所述第六驅(qū)動件與所述第三支撐臂轉(zhuǎn)動連接，所述托盤安裝于所述第四支撐臂末端。

15、在一些實(shí)施例中，所述第二機(jī)械臂還包括夾持臂以及第七驅(qū)動件，所述第七驅(qū)動件與所述夾持臂安裝于所述第四支撐臂，所述第七驅(qū)動件的輸出軸與所述夾持臂連接，以驅(qū)動所述夾持臂張開以松開所述托盤或夾緊以及夾持所述托盤。

16、在一些實(shí)施例中，所述夾持臂包括安裝座以及與所述安裝座活動連接的兩個夾臂，所述安裝座安裝于所述第四支撐臂末端，所述第七驅(qū)動件穿過所述安裝座與兩個所述夾持臂連接，以驅(qū)動兩個所述夾持臂相對靠近或遠(yuǎn)離。

17、在一些實(shí)施例中，所述托盤具有供廢料通過的卸料孔。

18、本實(shí)用新型實(shí)施例一種掰邊設(shè)備與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果在于：

19、本實(shí)用新型實(shí)施例的第二機(jī)械臂帶動托盤將晶片傳送到掰邊刀具的下方，此時隨著第一機(jī)械手的位姿調(diào)整帶動掰邊刀具于晶片表面滑動，以畫出掰邊軌跡，隨后隨著掰邊刀具在對晶片多余的位置施力，以將多余的廢料掰掉，完成掰邊工作，本實(shí)施例利用自動化的方式代替人工手動掰邊，降低了掰邊工作的工時，提高了工作效率。

技術(shù)特征：

1.一種掰邊設(shè)備，其特征在于，包括；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)包括第一支架、兩個第一驅(qū)動件以及滑動安裝于所述第一支架兩端的兩個第二支架，所述第一支架安裝于所述第一機(jī)械臂的末端，所述第一驅(qū)動件安裝于所述第一支架，所述第一支架具有第一滑軌，所述第二支架與所述第一支架的第一滑軌滑動連接，每一所述第一驅(qū)動件的輸出軸與對應(yīng)的所述第二支架連接，以驅(qū)動所述第二支架沿著所述第一滑軌滑動，兩個所述第二支架間隔設(shè)置，且所述掰邊刀具安裝于一所述第二支架，且所述掰邊刀具的刀頭朝向另一所述第二支架。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備本體具有滑動槽；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述滑動槽呈十字狀。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述第一機(jī)械臂包括第一底座、第四驅(qū)動件、第四滑軌、第二滑塊以及第一支撐臂，所述第一底座具有安裝槽，所述第四滑軌安裝于所述安裝槽的槽壁，所述第二滑塊滑動安裝于所述第四滑軌，所述第一支撐臂安裝于所述第二滑塊，所述第四驅(qū)動件安裝于所述安裝槽內(nèi)，且所述第四驅(qū)動件的輸出軸與所述第二滑塊連接，用于驅(qū)動所述第二滑塊相對于所述第四滑軌滑動，以帶動所述第一支撐臂伸出或縮回所述安裝槽，所述掰邊組件安裝于所述第一支撐臂的末端。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述第一機(jī)械臂還包括第二支撐臂，所述第二支撐臂與所述第一支撐臂連接，且所述第二支撐臂與所述第一支撐臂垂直設(shè)置，所述掰邊組件安裝于所述第二支撐臂的末端。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述第二機(jī)械臂包括第二底座、第三支撐臂、第五驅(qū)動件、第四支撐臂以及第六驅(qū)動件，所述第二底座安裝于所述設(shè)備本體，所述第五驅(qū)動件安裝于所述第二底座，且所述第三支撐臂通過所述第五驅(qū)動件與所述第二底座轉(zhuǎn)動連接，所述第六驅(qū)動件安裝于所述第三支撐臂，且所述第四支撐臂通過所述第六驅(qū)動件與所述第三支撐臂轉(zhuǎn)動連接，所述托盤安裝于所述第四支撐臂末端。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述第二機(jī)械臂還包括夾持臂以及第七驅(qū)動件，所述第七驅(qū)動件與所述夾持臂安裝于所述第四支撐臂，所述第七驅(qū)動件的輸出軸與所述夾持臂連接，以驅(qū)動所述夾持臂張開以松開所述托盤或夾緊以及夾持所述托盤。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述夾持臂包括安裝座以及與所述安裝座活動連接的兩個夾臂，所述安裝座安裝于所述第四支撐臂末端，所述第七驅(qū)動件穿過所述安裝座與兩個所述夾持臂連接，以驅(qū)動兩個所述夾持臂相對靠近或遠(yuǎn)離。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述托盤具有供廢料通過的卸料孔。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種掰邊設(shè)備，包括設(shè)備本體、第一機(jī)械手、掰邊組件以及第二機(jī)械手，第一機(jī)械手包括用于調(diào)節(jié)位姿的第一機(jī)械臂，第一機(jī)械臂設(shè)置于設(shè)備本體；掰邊組件包括支撐結(jié)構(gòu)以及掰邊刀具，支撐結(jié)構(gòu)安裝于第一機(jī)械臂的末端，掰邊刀具安裝于支撐結(jié)構(gòu)；第二機(jī)械手包括用于調(diào)節(jié)位姿的第二機(jī)械臂以及托盤，第二機(jī)械臂安裝于設(shè)備本體，第二機(jī)械臂的末端安裝有托盤。本技術(shù)實(shí)施例的第二機(jī)械臂帶動托盤將晶片傳送到掰邊刀具的下方，此時隨著第一機(jī)械手的位姿調(diào)整帶動掰邊刀具于晶片表面滑動，以畫出掰邊軌跡，隨后隨著掰邊刀具在對晶片多余的位置施力，將多余廢料掰掉，利用自動化方式代替人工手動掰邊，降低掰邊工作的工時，提高了工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭金龍,唐勇,黃藝毅,周鐵軍,馬金峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東先導(dǎo)微電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231228
技術(shù)公布日：2024/12/19