本技術(shù)涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，特別涉及一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體芯片在生產(chǎn)過(guò)程中，需要進(jìn)行測(cè)試，以檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的電路導(dǎo)通性，一般使用承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)進(jìn)行測(cè)試?，F(xiàn)有技術(shù)中提出了一種雙工位承片臺(tái)測(cè)試裝置，通過(guò)氣缸或直線模組直接驅(qū)動(dòng)雙工位承片臺(tái)上下移動(dòng)。但是由于雙工位承片臺(tái)比較重，氣缸和直線模組容易隨著使用時(shí)間的增加而損壞，同時(shí)，承片臺(tái)直接與驅(qū)動(dòng)裝置連接容易使半導(dǎo)體芯片在檢測(cè)過(guò)程中漏電，影響安全性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本實(shí)用新型提出一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，能夠有效提高驅(qū)動(dòng)裝置的使用壽命，并且承片臺(tái)的絕緣性好。

2、根據(jù)本實(shí)用新型的第一方面實(shí)施例的一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，包括：

3、基座；

4、第一驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)置于所述基座，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置有凸輪，并能夠驅(qū)動(dòng)所述凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)；

5、導(dǎo)軌，豎直設(shè)置于所述基座；

6、升降主體，滑動(dòng)設(shè)置于所述導(dǎo)軌，所述升降主體設(shè)置有抵接部，所述凸輪的凸起部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)至所述抵接部，并頂起所述升降主體，所述升降主體設(shè)置有彈性伸縮件，所述彈性伸縮件的一端連接所述升降主體，另一端連接所述基座；

7、固定板，設(shè)置于所述升降主體，所述固定板設(shè)置有安裝部，所述安裝部設(shè)置有絕緣塊；

8、承片臺(tái)，設(shè)置于所述絕緣塊。

9、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，至少具有如下有益效果：承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而帶動(dòng)升降主體上升，利用彈性伸縮件的拉力帶動(dòng)升降主體下降，替代了傳統(tǒng)的氣缸或直線模組，有效提高驅(qū)動(dòng)裝置的使用壽命，同時(shí)，承片臺(tái)通過(guò)絕緣塊安裝在固定板上，承片臺(tái)的絕緣性好。

10、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述基座還設(shè)置有第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置有頂針，并能夠驅(qū)動(dòng)所述頂針上下移動(dòng)，所述安裝部設(shè)置有第一通孔，所述承片臺(tái)設(shè)置有第二通孔，所述頂針能夠依次穿過(guò)所述第一通孔和所述第二通孔。

11、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置還設(shè)置有安裝盤，所述頂針設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述頂針周向設(shè)置于所述安裝盤，并且豎直設(shè)置，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置為氣缸，所述氣缸的頂桿連接所述安裝盤。

12、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)軸連接所述凸輪。

13、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述基座還設(shè)置有限位部，所述限位部抵接所述升降主體，并位于遠(yuǎn)離所述導(dǎo)軌的一側(cè)。

14、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述安裝部設(shè)置有兩個(gè)，兩個(gè)所述安裝部沿水平方向排列設(shè)置。

15、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述基座還設(shè)置有紅外傳感器，所述升降主體還設(shè)置有感應(yīng)塊，所述紅外傳感器能夠檢測(cè)所述感應(yīng)塊。

16、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述彈性伸縮件為拉伸彈簧。

17、本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述基座還設(shè)置有第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置有頂針，并能夠驅(qū)動(dòng)所述頂針上下移動(dòng)，所述安裝部設(shè)置有第一通孔，所述承片臺(tái)設(shè)置有第二通孔，所述頂針能夠依次穿過(guò)所述第一通孔和所述第二通孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置還設(shè)置有安裝盤，所述頂針設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述頂針周向設(shè)置于所述安裝盤，并且豎直設(shè)置，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置為氣缸，所述氣缸的頂桿連接所述安裝盤。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)軸連接所述凸輪。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述基座還設(shè)置有限位部，所述限位部抵接所述升降主體，并位于遠(yuǎn)離所述導(dǎo)軌的一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述安裝部設(shè)置有兩個(gè)，兩個(gè)所述安裝部沿水平方向排列設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述基座還設(shè)置有紅外傳感器，所述升降主體還設(shè)置有感應(yīng)塊，所述紅外傳感器能夠檢測(cè)所述感應(yīng)塊。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述彈性伸縮件為拉伸彈簧。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，包括：基座；第一驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)置于所述基座，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置有凸輪，并能夠驅(qū)動(dòng)所述凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)；導(dǎo)軌，豎直設(shè)置于所述基座；升降主體，滑動(dòng)設(shè)置于所述導(dǎo)軌，所述升降主體設(shè)置有抵接部，所述凸輪的凸起部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)至所述抵接部，并頂起所述升降主體，所述升降主體設(shè)置有彈性伸縮件，所述彈性伸縮件的一端連接所述升降主體，另一端連接所述基座；固定板，設(shè)置于所述升降主體，所述固定板設(shè)置有安裝部，所述安裝部設(shè)置有絕緣塊；承片臺(tái)，設(shè)置于所述絕緣塊。承片臺(tái)測(cè)試機(jī)構(gòu)，能夠有效提高驅(qū)動(dòng)裝置的使用壽命，并且承片臺(tái)的絕緣性好。

技術(shù)研發(fā)人員：胡耿濤,林生財(cái)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231229
技術(shù)公布日：2024/12/19