1.一種掃描電子顯微鏡，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述電子源為場(chǎng)發(fā)射電子源，所述電子源接一可調(diào)電壓v1，v1的調(diào)節(jié)范圍為-30kv≤v1≤-5kv。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述電透鏡由三個(gè)同軸放置的電極板組成，從上向下依次為第一極板、第二極板和第三極板，其中接近電子源的第一電極板為陽(yáng)極。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述電透鏡的第一極板和第三極板接地，第二極板接一可調(diào)電壓v2，v2的調(diào)節(jié)范圍為v1≤v2≤0。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，第一磁透鏡、第二次透鏡和第三磁透鏡的極靴開(kāi)口方向均朝向光軸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述維恩過(guò)濾器位于所述第三磁透鏡的內(nèi)部，所述第一探測(cè)器下方，所述偏轉(zhuǎn)裝置的上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述偏轉(zhuǎn)裝置中的磁偏轉(zhuǎn)器為帶磁芯的環(huán)形偏轉(zhuǎn)器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述偏轉(zhuǎn)裝置中的電偏轉(zhuǎn)器由八極或十二極結(jié)構(gòu)柱狀偏轉(zhuǎn)電極構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述兩個(gè)磁偏轉(zhuǎn)器位于第三磁透鏡極靴開(kāi)口上方、維恩過(guò)濾器下方，所述電偏轉(zhuǎn)器位于所述第三磁透鏡極靴開(kāi)口處。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述探測(cè)器中的第一探測(cè)器可以是半導(dǎo)體探測(cè)器或閃爍體光電倍增管探測(cè)器。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述探測(cè)器中的第二探測(cè)器是可移動(dòng)式的半導(dǎo)體探測(cè)器，可以根據(jù)需要插入到第三磁透鏡下方或移出。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述樣品臺(tái)接一可調(diào)電壓v3，v3的調(diào)節(jié)范圍為v1≤v3≤0。
13.一種掃描電子顯微鏡控制方法，其特征在于，使用所述控制方法，控制掃描電子顯微鏡工作在三種不同的模式：模式a、模式b和模式c。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的掃描電子顯微鏡控制方法，其特征在于，控制掃描電子顯微鏡工作在模式a，具體包括：
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的掃描電子顯微鏡控制方法，其特征在于，控制掃描電子顯微鏡工作在模式b，具體包括：
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的掃描電子顯微鏡控制方法，其特征在于，掃描電子顯微鏡工作在模式c，該模式下的控制方法為：