本申請涉及光伏電池，特別是涉及太陽能電池及其制作方法。

背景技術(shù)：

1、太陽能電池，也稱為光伏電池，是一種將太陽的光能直接轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件。由于它是綠色環(huán)保產(chǎn)品，不會引起環(huán)境污染，而且太陽能是可再生資源，因此，太陽能電池是一種有廣闊發(fā)展前景的新型電池。

2、太陽能電池主要包括發(fā)電半導(dǎo)體單元以及電極；發(fā)電半導(dǎo)體單元利用光生伏特作用將太陽光轉(zhuǎn)化成光生載流子；電極可以將光伏電池上的發(fā)電半導(dǎo)體單元產(chǎn)生的光生載流子收集和匯流出去。在制作太陽能電池時，存在工序復(fù)雜、制作成本大的問題，而且制作過程中容易對發(fā)電半導(dǎo)體單元造成損傷，影響太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、基于此，本申請?zhí)峁┮环N太陽能電池及其制作方法，能夠簡化太陽能電池的制作工序，降低制作成本，提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。

2、本申請第一方面的實施例提供了一種太陽能電池的制作方法，所述太陽能電池包括金屬接觸區(qū)和非金屬接觸區(qū)；所述太陽能電池的制作方法包括：

3、在電池主體的表面形成復(fù)合導(dǎo)電層，所述復(fù)合導(dǎo)電層的至少位于所述金屬接觸區(qū)的部分摻雜有導(dǎo)電材料；

4、在所述復(fù)合導(dǎo)電層背離所述電池主體的一側(cè)形成掩膜層，所述掩膜層對應(yīng)所述金屬接觸區(qū)的區(qū)域設(shè)置有槽體，所述槽體沿第一方向貫穿所述掩膜層；所述第一方向為所述電池主體的厚度方向；

5、采用電鍍工藝在所述復(fù)合導(dǎo)電層上被所述槽體暴露的區(qū)域沉積金屬材料，以形成金屬電極；

6、去除所述掩膜層。

7、在其中一個實施例中，所述在電池主體的表面形成復(fù)合導(dǎo)電層，所述復(fù)合導(dǎo)電層的至少位于所述金屬接觸區(qū)的部分摻雜有導(dǎo)電材料的步驟，包括：

8、在所述電池主體的表面形成第一透明導(dǎo)電層；

9、在所述第一透明導(dǎo)電層背離所述電池主體的一側(cè)形成導(dǎo)電材料層，所述導(dǎo)電材料層位于所述金屬接觸區(qū)；

10、對所述第一透明導(dǎo)電層進(jìn)行加熱，使得導(dǎo)電材料層擴(kuò)散至所述第一透明導(dǎo)電層位于所述金屬接觸區(qū)的部分的預(yù)設(shè)深度，得到復(fù)合導(dǎo)電層。

11、在其中一個實施例中，所述對所述第一透明導(dǎo)電層進(jìn)行加熱，使得導(dǎo)電材料層擴(kuò)散至所述第一透明導(dǎo)電層位于所述金屬接觸區(qū)的部分的預(yù)設(shè)深度，得到復(fù)合導(dǎo)電層的步驟，包括：

12、利用激光對所述第一透明導(dǎo)電層位于所述金屬接觸區(qū)的部分進(jìn)行加熱，使得導(dǎo)電材料層擴(kuò)散至所述第一透明導(dǎo)電層位于所述金屬接觸區(qū)的部分的預(yù)設(shè)深度，得到所述復(fù)合導(dǎo)電層。

13、在其中一個實施例中，所述在電池主體的表面形成復(fù)合導(dǎo)電層，所述復(fù)合導(dǎo)電層的至少位于所述金屬接觸區(qū)的部分摻雜有導(dǎo)電材料的步驟，包括：

14、將透明導(dǎo)電材料和導(dǎo)電材料氣化，得到混合氣源；

15、以所述混合氣源作為材料源在所述電池主體的表面沉積形成復(fù)合導(dǎo)電層。

16、在其中一個實施例中，所述在電池主體的表面形成復(fù)合導(dǎo)電層，所述復(fù)合導(dǎo)電層的至少位于所述金屬接觸區(qū)的部分摻雜有導(dǎo)電材料的步驟，包括：

17、在所述電池主體的表面形成第二透明導(dǎo)電層；

18、將透明導(dǎo)電材料和導(dǎo)電材料氣化，得到混合氣源；

19、以所述混合氣源作為材料源在所述第二透明導(dǎo)電層背離電池主體的一側(cè)沉積形成復(fù)合透明導(dǎo)電層。

20、在其中一個實施例中，所述在所述復(fù)合導(dǎo)電層背離所述電池主體的一側(cè)形成掩膜層，所述掩膜層對應(yīng)所述金屬接觸區(qū)的區(qū)域設(shè)置有槽體，所述槽體沿第一方向貫穿掩膜層的步驟，包括：

21、在所述復(fù)合導(dǎo)電層背離所述電池主體的一側(cè)形成掩膜材料層；

22、對所述掩膜材料層進(jìn)行圖案化處理，以使所述掩膜材料層對應(yīng)所述金屬接觸區(qū)的區(qū)域設(shè)置有槽體，所述槽體沿第一方向貫穿掩膜材料層。

23、在其中一個實施例中，所述導(dǎo)電材料包括硼，磷，銦，錫，鎵，鈀，碳中的至少一種。

24、本申請第二方面的實施例提供了一種太陽能電池，所述太陽能電池包括金屬接觸區(qū)和非金屬接觸區(qū)；包括：

25、電池主體；

26、復(fù)合導(dǎo)電層，設(shè)置于所述電池主體的表面；所述復(fù)合導(dǎo)電層的至少位于所述金屬接觸區(qū)的部分摻雜有導(dǎo)電材料；

27、金屬電極，位于所述金屬接觸區(qū)，所述金屬電極設(shè)置于所述復(fù)合導(dǎo)電層背離所述電池主體的一側(cè)表面。

28、在其中一個實施例中，所述復(fù)合導(dǎo)電層包括相互連接的第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述非金屬接觸區(qū)，所述第二部分位于所述金屬接觸區(qū)；所述第二部分內(nèi)摻雜有導(dǎo)電材料，且所述導(dǎo)電材料在所述第二部分內(nèi)的摻雜深度不大于所述第二部分的厚度。

29、在其中一個實施例中，所述第一部分內(nèi)摻雜有導(dǎo)電材料；且導(dǎo)電材料在所述第一部分內(nèi)的摻雜深度不大于所述第一部分的厚度。

30、在其中一個實施例中，所述電池主體包括硅基底，所述硅基底的相對兩側(cè)表面均依次層疊設(shè)置有本征非晶硅層和摻雜半導(dǎo)體層；每一所述摻雜半導(dǎo)體層背離所述硅基底的一側(cè)設(shè)置有所述復(fù)合導(dǎo)電層。

31、上述太陽能電池的制作方法，通過在電池主體的表面形成復(fù)合導(dǎo)電層，使復(fù)合導(dǎo)電層的至少位于金屬接觸區(qū)的部分摻雜有導(dǎo)電材料；由此，可提高復(fù)合導(dǎo)電層的導(dǎo)電能力，從而有利于提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率；而且，導(dǎo)電材料可提高復(fù)合導(dǎo)電層的活性和活性點位，使得復(fù)合導(dǎo)電層上更容易發(fā)生還原反應(yīng)，金屬材料更容易在復(fù)合導(dǎo)電層位于金屬接觸區(qū)的部分上沉積，即提高復(fù)合導(dǎo)電層電鍍能力。通過在復(fù)合導(dǎo)電層背離電池主體的一側(cè)形成掩膜層，掩膜層對應(yīng)金屬接觸區(qū)的區(qū)域設(shè)置有槽體，采用電鍍工藝在復(fù)合導(dǎo)電層上被槽體暴露的區(qū)域沉積金屬材料，以形成金屬電極，去除掩膜層。也就是說，在利用導(dǎo)電材料提高復(fù)合導(dǎo)電層的導(dǎo)電能力和電鍍能力的情況下，利用圖案化掩膜層對復(fù)合導(dǎo)電層進(jìn)行保護(hù)，采用電鍍工藝直接在復(fù)合導(dǎo)電層的位于金屬接觸區(qū)的部分上形成金屬電極，無需借助金屬種子層制作金屬電極（即是：以復(fù)合導(dǎo)電層作為種子層，進(jìn)行金屬電極的制作）。這樣，一方面，可簡化太陽能電池的金屬電極的制作工序，從而可簡化太陽能電池的制作工序，提高太陽能電池的制作效率，降低太陽能電池的制作成本。另一方面，可減少太陽能電池制作過程中的刻蝕次數(shù)和刻蝕量，尤其是減少金屬電極制作過程中的刻蝕次數(shù)和刻蝕量，從而可降低電池主體發(fā)生損傷的幾率，進(jìn)而有利于提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。綜上，本申請在利用導(dǎo)電材料提高復(fù)合導(dǎo)電層的導(dǎo)電能力和電鍍能力的基礎(chǔ)上，采用電鍍工藝直接在復(fù)合導(dǎo)電層的位于金屬接觸區(qū)的部分上形成金屬電極，從而簡化太陽能電池的制作工序，提高太陽能電池的制作效率，降低太陽能電池的制作成本，可降低電池主體發(fā)生損傷的幾率，有利于提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。

技術(shù)特征：

1.一種太陽能電池的制作方法，所述太陽能電池包括金屬接觸區(qū)和非金屬接觸區(qū)；其特征在于，所述太陽能電池的制作方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述在電池主體的表面形成復(fù)合導(dǎo)電層，所述復(fù)合導(dǎo)電層的至少位于所述金屬接觸區(qū)的部分摻雜有導(dǎo)電材料的步驟，包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述對所述第一透明導(dǎo)電層進(jìn)行加熱，使得導(dǎo)電材料層擴(kuò)散至所述第一透明導(dǎo)電層位于所述金屬接觸區(qū)的部分的預(yù)設(shè)深度，得到復(fù)合導(dǎo)電層的步驟，包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述在電池主體的表面形成復(fù)合導(dǎo)電層，所述復(fù)合導(dǎo)電層的至少位于所述金屬接觸區(qū)的部分摻雜有導(dǎo)電材料的步驟，包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述在電池主體的表面形成復(fù)合導(dǎo)電層，所述復(fù)合導(dǎo)電層的至少位于所述金屬接觸區(qū)的部分摻雜有導(dǎo)電材料的步驟，包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述在所述復(fù)合導(dǎo)電層背離所述電池主體的一側(cè)形成掩膜層，所述掩膜層對應(yīng)所述金屬接觸區(qū)的區(qū)域設(shè)置有槽體，所述槽體沿第一方向貫穿掩膜層的步驟，包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述導(dǎo)電材料包括硼，磷，銦，錫，鎵，鈀，碳中的至少一種。

8.一種太陽能電池，所述太陽能電池包括金屬接觸區(qū)和非金屬接觸區(qū)；其特征在于，包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的太陽能電池，其特征在于，所述復(fù)合導(dǎo)電層包括相互連接的第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述非金屬接觸區(qū)，所述第二部分位于所述金屬接觸區(qū)；所述第二部分內(nèi)摻雜有導(dǎo)電材料，且所述導(dǎo)電材料在所述第二部分內(nèi)的摻雜深度不大于所述第二部分的厚度。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的太陽能電池，其特征在于，所述第一部分內(nèi)摻雜有導(dǎo)電材料；且導(dǎo)電材料在所述第一部分內(nèi)的摻雜深度不大于所述第一部分的厚度。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的太陽能電池，其特征在于，所述電池主體包括硅基底，所述硅基底的相對兩側(cè)表面均依次層疊設(shè)置有本征非晶硅層和摻雜半導(dǎo)體層；每一所述摻雜半導(dǎo)體層背離所述硅基底的一側(cè)設(shè)置有所述復(fù)合導(dǎo)電層。

技術(shù)總結(jié)
本申請涉及一種太陽能電池及其制作方法。該太陽能電池的制作方法包括：在電池主體的表面形成復(fù)合導(dǎo)電層，復(fù)合導(dǎo)電層的至少位于金屬接觸區(qū)的部分摻雜有導(dǎo)電材料；在復(fù)合導(dǎo)電層背離電池主體的一側(cè)形成掩膜層，掩膜層對應(yīng)金屬接觸區(qū)的區(qū)域設(shè)置有槽體，槽體沿第一方向貫穿掩膜層；第一方向為電池主體的厚度方向；采用電鍍工藝在復(fù)合導(dǎo)電層上被槽體暴露的區(qū)域沉積金屬材料，以形成金屬電極；去除掩膜層。如此，可從簡化太陽能電池的制作工序，提高太陽能電池的制作效率，降低太陽能電池的制作成本，可降低電池主體發(fā)生損傷的幾率，有利于提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。

技術(shù)研發(fā)人員：殷志豪,李宏偉,雍文炯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：天合光能股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/8/20