本公開涉及基板處理系統(tǒng)和基板處理方法。

背景技術：

1、專利文獻1中記載的加工裝置具有盒載置單元、送入送出機器人、臨時放置單元、輸送機器人、行進單元、磨削單元以及清洗單元。首先，送入送出機器人自盒將加工前的板狀工件送出并輸送到臨時放置單元。然后，輸送機器人和行進單元將板狀工件依次輸送到磨削單元和清洗單元。由此，依次進行粗磨削、精磨削以及清洗。

2、現有技術文獻

3、專利文獻

4、專利文獻1：日本特開2015－207622號公報

技術實現思路

1、發(fā)明要解決的問題

2、本公開的一技術方案提供一種能夠系統(tǒng)地將基板的兩個面磨削得平坦的技術。

3、用于解決問題的方案

4、本公開的一技術方案涉及一種基板處理系統(tǒng)，其中，

5、該基板處理系統(tǒng)包括：

6、第1主表面磨削裝置，其以使基板的第1主表面朝上的方式自下方保持所述基板，并且磨削所述基板的所述第1主表面；

7、第1反轉裝置，其使利用所述第1主表面磨削裝置磨削后的所述基板上下反轉；以及

8、第2主表面磨削裝置，其以使所述基板的第2主表面朝上的方式自下方保持所述基板的磨削后的所述第1主表面，并且磨削所述基板的所述第2主表面。

9、發(fā)明的效果

10、根據本公開的一技術方案，能夠系統(tǒng)地將基板的兩個面磨削得平坦。

技術特征：

1.一種基板處理系統(tǒng)，具有：

2.根據權利要求1所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

3.根據權利要求1或2所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

4.根據權利要求1或2所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

5.根據權利要求1所述的基板處理系統(tǒng)，還具有：

6.根據權利要求5所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

7.根據權利要求5所述的基板處理系統(tǒng)，還具有：

8.根據權利要求5所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

技術總結
本發(fā)明提供一種基板處理系統(tǒng)，具有：卡盤工作臺，其自下方保持基板；可動部，磨削工具可更換地安裝于該可動部；升降部，其使可動部升降；以及旋轉工作臺，其以鉛垂的旋轉中心線為中心旋轉，其中，卡盤工作臺繞旋轉工作臺的旋轉中心線以等間隔配置有4個，并與旋轉工作臺一起旋轉，第1交接位置、第2交接位置、第1加工位置、第2加工位置繞旋轉工作臺的旋轉中心線配置，第1交接位置和第2交接位置分別為進行基板的相對于卡盤工作臺的交接的位置，第1加工位置和第2加工位置分別為利用磨削工具加工保持于卡盤工作臺的基板的位置。

技術研發(fā)人員：児玉宗久
受保護的技術使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會社
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/10/10