本發(fā)明涉及質(zhì)譜儀的，具體提供一種用于質(zhì)譜儀的真空裝置和質(zhì)譜儀。

背景技術(shù)：

1、質(zhì)譜儀以離子源、質(zhì)量分析器和離子檢測器為核心。離子源是使試樣分子在高真空條件下離子化的裝置。電離后的分子因接受了過多的能量會進(jìn)一步碎裂成較小質(zhì)量的多種碎片離子和中性粒子。它們在加速電場作用下獲取具有相同能量的平均動能而進(jìn)入質(zhì)量分析器。質(zhì)量分析器是將同時(shí)進(jìn)入其中的不同質(zhì)量的離子，按質(zhì)荷比m/e大小分離的裝置。分離后的離子依次進(jìn)入離子檢測器，采集放大離子信號，經(jīng)計(jì)算機(jī)處理，繪制成質(zhì)譜圖。離子源、質(zhì)量分析器和離子檢測器都各有多種類型。質(zhì)譜儀按應(yīng)用范圍分為同位素質(zhì)譜儀、無機(jī)質(zhì)譜儀和有機(jī)質(zhì)譜儀；按分辨本領(lǐng)分為高分辨、中分辨和低分辨質(zhì)譜儀；按工作原理分為靜態(tài)儀器和動態(tài)儀器。

2、現(xiàn)有質(zhì)譜儀一般運(yùn)用真空緩沖艙的方式來實(shí)現(xiàn)高低真空切換控制，真空緩沖艙的方式是通過建立一個(gè)緩沖艙來預(yù)存真空，當(dāng)需要快速對目標(biāo)區(qū)域進(jìn)行真空建立時(shí)，釋放緩沖艙的預(yù)存真空來輔助進(jìn)行真空建立。缺點(diǎn)是真空建立速度較慢，延長質(zhì)譜儀工作時(shí)長，影響用戶體驗(yàn)。此外，真空緩沖艙體積較大，因此占用較大空間，使得質(zhì)譜儀造型笨重。

3、相應(yīng)地，本領(lǐng)域需要一種新的用于質(zhì)譜儀的真空裝置和質(zhì)譜儀來解決上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明旨在解決上述技術(shù)問題，即，解決現(xiàn)有質(zhì)譜儀真空建立速度較慢，延長質(zhì)譜儀工作時(shí)長，影響用戶體驗(yàn)的問題。

2、在第一方面，本發(fā)明提供一種用于質(zhì)譜儀的真空裝置，所述真空裝置包括進(jìn)樣艙、真空艙、分子泵、動力裝置、控制組件和管道組件；所述真空艙和所述分子泵連接；所述管道組件分別和所述動力裝置、所述分子泵、所述進(jìn)樣艙連接；所述控制組件安裝于所述管道組件上，用于控制所述動力裝置、所述分子泵和所述進(jìn)樣艙的動作以控制真空度。

3、在上述用于質(zhì)譜儀的真空裝置的優(yōu)選技術(shù)方案中，所述管道組件包括第一管道、第二管道、第三管道、第一三通件和第二三通件；所述第一管道的一端和所述第一三通件的第一通路連通，所述第一管道的另一端和所述動力裝置連接；所述第二三通件的第一通路和所述第一三通件的第二通路連通；所述第二管道的一端和所述第二三通件的第二通路連通，所述第二管道的另一端和所述進(jìn)樣艙連接；所述第三管道的一端和所述第二三通件的第三通路連通，所述第三管道的另一端和所述分子泵連接。

4、在上述用于質(zhì)譜儀的真空裝置的優(yōu)選技術(shù)方案中，所述第一管道的粗度大于所述第二管道和第三管道的粗度。

5、在上述用于質(zhì)譜儀的真空裝置的優(yōu)選技術(shù)方案中，所述控制組件包括多個(gè)電磁閥和控制裝置，多個(gè)所述電磁閥均安裝于所述管道組件上，所述控制裝置用于根據(jù)接收到的指令控制多個(gè)所述電磁閥中的一個(gè)或多個(gè)打開和關(guān)閉，以便控制所述質(zhì)譜儀的真空度的高低真空切換。

6、在上述用于質(zhì)譜儀的真空裝置的優(yōu)選技術(shù)方案中，多個(gè)所述電磁閥包括第一電磁閥、第二電磁閥和第三電磁閥；所述第一電磁閥安裝于所述第一管道上并靠近所述第一管道的另一端和所述動力裝置的連接處，且所述第一電磁閥和所述控制裝置連接；所述第二電磁閥安裝于所述第二管道上并靠近所述第二管道的另一端和所述分子泵的連接處，且所述第二電磁閥和所述控制裝置連接；所述第三電磁閥安裝于所述第三管道上并靠近所述第三管道的另一端和所述分子泵的連接處，且所述第三電磁閥和所述控制裝置連接。

7、在上述用于質(zhì)譜儀的真空裝置的優(yōu)選技術(shù)方案中，所述第一電磁閥、所述第二電磁閥和所述第三電磁閥均和所述控制裝置信號連接，以便所述第一電磁閥、所述第二電磁閥和所述第三電磁閥根據(jù)所述控制裝置的指令打開或關(guān)閉。

8、在上述用于質(zhì)譜儀的真空裝置的優(yōu)選技術(shù)方案中，所述動力裝置為機(jī)械泵或前級泵。

9、在上述用于質(zhì)譜儀的真空裝置的優(yōu)選技術(shù)方案中，所述真空裝置還包括手動開關(guān)，所述手動開關(guān)安裝于所述管道組件上。

10、在上述用于質(zhì)譜儀的真空裝置的優(yōu)選技術(shù)方案中，所述真空裝置還包括真空計(jì)，所述真空計(jì)和所述第一三通件的第三通路連通。

11、在采用上述技術(shù)方案的情況下，本發(fā)明的用于質(zhì)譜儀的真空裝置中的分子泵、進(jìn)樣倉、動力裝置、控制組件和管道組件協(xié)同作業(yè)可快速建立真空，縮短質(zhì)譜儀工作時(shí)長，進(jìn)而提升用戶體驗(yàn)。此外，分子泵、進(jìn)樣倉、動力裝置、控制組件和管道組件構(gòu)成的真空裝置相較于現(xiàn)有的真空緩沖艙體積小，因此占用空間小，使得質(zhì)譜儀造型略小，進(jìn)而節(jié)省成本。

12、進(jìn)一步地，本發(fā)明的用于質(zhì)譜儀的真空裝置的控制組件一般可包括多個(gè)電磁閥和控制裝置。其中，多個(gè)電磁閥均安裝于管道組件上，控制裝置用于根據(jù)接收到的指令控制多個(gè)電磁閥中的一個(gè)或多個(gè)打開和關(guān)閉，以便控制質(zhì)譜儀的真空度的高低真空切換。通過設(shè)置多個(gè)電磁閥和控制裝置可自動控制建立真空。

13、在第二方面，本發(fā)明提供了一種質(zhì)譜儀，該質(zhì)譜儀包括第一方面所述的用于質(zhì)譜儀的真空裝置。

14、本技術(shù)方案的質(zhì)譜儀包括如本發(fā)明任一技術(shù)方案的用于質(zhì)譜儀的真空裝置，因而其具有本發(fā)明任一技術(shù)方案所述的用于質(zhì)譜儀的真空裝置的全部技術(shù)效果。

技術(shù)特征：

1.一種用于質(zhì)譜儀的真空裝置，其特征在于，所述真空裝置包括進(jìn)樣艙、真空艙、分子泵、動力裝置、控制組件和管道組件；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于質(zhì)譜儀的真空裝置，其特征在于，所述管道組件包括第一管道、第二管道、第三管道、第一三通件和第二三通件；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于質(zhì)譜儀的真空裝置，其特征在于，所述第一管道的粗度大于所述第二管道和第三管道的粗度。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于質(zhì)譜儀的真空裝置，其特征在于，所述控制組件包括多個(gè)電磁閥和控制裝置，多個(gè)所述電磁閥均安裝于所述管道組件上，所述控制裝置用于根據(jù)接收到的指令控制多個(gè)所述電磁閥中的一個(gè)或多個(gè)打開和關(guān)閉，以便控制所述質(zhì)譜儀的真空度的高低真空切換。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于質(zhì)譜儀的真空裝置，其特征在于，多個(gè)所述電磁閥包括第一電磁閥、第二電磁閥和第三電磁閥；

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于質(zhì)譜儀的真空裝置，其特征在于，所述第一電磁閥、所述第二電磁閥和所述第三電磁閥均和所述控制裝置信號連接，以便所述第一電磁閥、所述第二電磁閥和所述第三電磁閥根據(jù)所述控制裝置的指令打開或關(guān)閉。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于質(zhì)譜儀的真空裝置，其特征在于，所述動力裝置為機(jī)械泵或前級泵。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于質(zhì)譜儀的真空裝置，其特征在于，所述真空裝置還包括手動開關(guān)，所述手動開關(guān)安裝于所述管道組件上。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于質(zhì)譜儀的真空裝置，其特征在于，所述真空裝置還包括真空計(jì)，所述真空計(jì)和所述第一三通件的第三通路連通。

10.一種質(zhì)譜儀，其特征在于，所述質(zhì)譜儀包括權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的用于質(zhì)譜儀的真空裝置。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及質(zhì)譜儀的技術(shù)領(lǐng)域，具體提供一種用于質(zhì)譜儀的真空裝置和質(zhì)譜儀，旨在解決質(zhì)譜儀真空建立速度較慢，延長質(zhì)譜儀工作時(shí)長，影響用戶體驗(yàn)的問題。為此目的，本發(fā)明的真空裝置包括進(jìn)樣艙、真空艙、分子泵、動力裝置、控制組件和管道組件；所述真空艙和所述分子泵連接；所述管道組件分別和所述動力裝置、所述分子泵、所述進(jìn)樣艙連接；所述控制組件安裝于所述管道組件上，用于控制所述動力裝置、所述分子泵和所述進(jìn)樣艙的真空度。本發(fā)明的用于質(zhì)譜儀的真空裝置中的分子泵、進(jìn)樣倉、動力裝置、控制組件和管道組件協(xié)同作業(yè)可快速建立真空，縮短質(zhì)譜儀工作時(shí)長，進(jìn)而提升用戶體驗(yàn)。此外，該真空裝置占用空間小，使得質(zhì)譜儀造型略小進(jìn)而節(jié)省成本。

技術(shù)研發(fā)人員：王國立,周曉光,李運(yùn)濤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：融智生物科技（青島）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/11/14