本申請(qǐng)涉及晶圓載具搬運(yùn)，尤其是指一種夾取裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體的加工過程中，需要使用天車將晶圓載具夾持并在各個(gè)工藝機(jī)臺(tái)和緩存區(qū)之間進(jìn)行來回搬運(yùn)，晶圓放置在晶圓載具內(nèi)。為了防止在搬運(yùn)過程中出現(xiàn)晶圓在晶圓載具內(nèi)竄動(dòng)、磕碰、甚至掉落導(dǎo)致晶圓損壞的情況，會(huì)要求在天車搬運(yùn)晶圓載具時(shí)，保持晶圓載具的平穩(wěn)運(yùn)行，從而達(dá)到保護(hù)晶圓的目的。

2、對(duì)于開放式的晶圓載具來說，在晶圓載具的一端具有開口，以便于晶圓在晶圓載具內(nèi)進(jìn)行放置和拿取。但是開放式結(jié)構(gòu)的晶圓載具無法對(duì)內(nèi)部的晶圓進(jìn)行掉落防護(hù)，從而在搬運(yùn)的過程中，晶圓極易從開口處掉落，導(dǎo)致晶圓受損。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本申請(qǐng)的目的在于提供一種夾取裝置，其可以提高對(duì)晶圓的防護(hù)，防止晶圓從晶圓載具上掉落。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)采用如下的技術(shù)方案：

3、一種夾取裝置，用于夾取晶圓載具；該夾取裝置包括基座、夾持組件、驅(qū)動(dòng)組件、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)和擋板組件；夾持組件位于基座下方并與基座滑動(dòng)連接，夾持組件用于夾取晶圓載具；驅(qū)動(dòng)組件與基座固定連接并與夾持組件傳動(dòng)連接；導(dǎo)向機(jī)構(gòu)位于夾持組件上，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)遠(yuǎn)離夾持組件的一側(cè)形成有導(dǎo)向斜面；擋板組件位于基座的下方；擋板組件包括擋板、連接機(jī)構(gòu)和導(dǎo)向輪，連接機(jī)構(gòu)至少部分位于擋板的上方，連接機(jī)構(gòu)分別與基座和擋板連接，導(dǎo)向輪與擋板轉(zhuǎn)動(dòng)連接；連接機(jī)構(gòu)具有多個(gè)移動(dòng)自由度，在夾持組件夾取晶圓載具的過程中，夾持組件帶動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)移動(dòng)，導(dǎo)向斜面能夠與導(dǎo)向輪抵接并使得導(dǎo)向輪沿導(dǎo)向斜面滾動(dòng)，使得擋板能夠被導(dǎo)向輪驅(qū)動(dòng)以移動(dòng)至第一位置，當(dāng)擋板處于第一位置時(shí)，擋板覆蓋于晶圓載具的開口。

4、進(jìn)一步地，連接機(jī)構(gòu)包括固定桿和連接桿，固定桿的上端與基座固定連接，連接桿的兩端分別與固定桿的下端和擋板轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

5、進(jìn)一步地，固定桿為金屬材料，擋板靠近固定桿的一側(cè)設(shè)置有磁性件，在擋板處于第二位置時(shí)，磁性件能夠使得擋板靠近固定桿或與固定桿抵接；當(dāng)擋板處于第二位置時(shí)，導(dǎo)向輪與導(dǎo)向斜面分離，夾持組件未夾取晶圓載具，且擋板與晶圓載具的開口之間存在間隙。

6、進(jìn)一步地，夾持組件包括第一夾持機(jī)構(gòu)和第二夾持機(jī)構(gòu)，第一夾持機(jī)構(gòu)和第二夾持機(jī)構(gòu)鏡像對(duì)稱設(shè)置，且第一夾持機(jī)構(gòu)和第二夾持機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)一致，在驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)下，第一夾持機(jī)構(gòu)和第二夾持機(jī)構(gòu)能夠相向移動(dòng)至夾持狀態(tài)或相背移動(dòng)至分離狀態(tài)，當(dāng)?shù)谝粖A持機(jī)構(gòu)和第二夾持機(jī)構(gòu)處于夾持狀態(tài)時(shí)，擋板處于第一位置，當(dāng)?shù)谝粖A持機(jī)構(gòu)和第二夾持機(jī)構(gòu)處于分離狀態(tài)時(shí)，夾持組件未夾取晶圓載具。

7、進(jìn)一步地，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩個(gè)，兩個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)分別位于第一夾持機(jī)構(gòu)和第二夾持機(jī)構(gòu)上，兩個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的導(dǎo)向斜面相對(duì)設(shè)置；導(dǎo)向輪設(shè)置有兩個(gè)，每個(gè)導(dǎo)向輪分別與一個(gè)導(dǎo)向斜面相配合。

8、進(jìn)一步地，第一夾持機(jī)構(gòu)包括用于夾持晶圓載具的第一夾持件以及與第一夾持件連接的滑塊，基座的下方設(shè)置有直線滑軌，滑塊與直線滑軌滑動(dòng)連接。

9、進(jìn)一步地，第一夾持件包括沿豎直方向延伸的移動(dòng)部以及沿水平方向延伸的第一夾持部，移動(dòng)部與滑塊固定連接，第一夾持部用于夾持晶圓載具；第一夾持部和移動(dòng)部一體成型；導(dǎo)向機(jī)構(gòu)位于移動(dòng)部上。

10、進(jìn)一步地，驅(qū)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、絲桿和螺母，螺母位于移動(dòng)部上并與移動(dòng)部固定連接，螺母還套設(shè)于絲桿上并與絲桿傳動(dòng)連接，絲桿的一端與驅(qū)動(dòng)電機(jī)傳動(dòng)連接，絲桿的另一端與基座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)電機(jī)還與基座固定連接。

11、進(jìn)一步地，第一夾持機(jī)構(gòu)還包括第二夾持件，第二夾持件位于第一夾持件上并與第一夾持件固定連接，第二夾持件包括沿水平方向延伸的第二夾持部，第二夾持部向第二夾持機(jī)構(gòu)延伸的長度大于第一夾持部向第二夾持機(jī)構(gòu)延伸的長度。

12、進(jìn)一步地，擋板開設(shè)有避讓導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的避讓槽，避讓槽位于導(dǎo)向輪的下方。

13、在本申請(qǐng)中，通過驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)夾持組件移動(dòng)，以使得夾持組件夾持晶圓載具，以便于晶圓載具的運(yùn)輸。同時(shí)，通過擋板組件能夠?qū)醢甯采w于晶圓載具的開口，從而起到對(duì)晶圓載具開口封堵的作用，因此在晶圓載具運(yùn)輸?shù)倪^程中，可以防止出現(xiàn)晶圓從晶圓載具開口處掉落的情況，提高對(duì)晶圓的防護(hù)效果。

技術(shù)特征：

1.一種夾取裝置，用于夾取晶圓載具，其特征在于，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾取裝置，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾取裝置，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾取裝置，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的夾取裝置，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的夾取裝置，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的夾取裝置，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的夾取裝置，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的夾取裝置，其特征在于，

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾取裝置，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開了一種夾取裝置，用于夾取晶圓載具；該夾取裝置包括基座、夾持組件、驅(qū)動(dòng)組件、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)和擋板組件；導(dǎo)向機(jī)構(gòu)遠(yuǎn)離夾持組件的一側(cè)形成有導(dǎo)向斜面；擋板組件包括擋板、連接機(jī)構(gòu)和導(dǎo)向輪，導(dǎo)向斜面能夠與導(dǎo)向輪抵接并使得導(dǎo)向輪沿導(dǎo)向斜面滾動(dòng)，使得擋板能夠被導(dǎo)向輪驅(qū)動(dòng)以移動(dòng)至第一位置，當(dāng)擋板處于第一位置時(shí)，擋板覆蓋于晶圓載具的開口。通過上述設(shè)置，能夠提高在運(yùn)輸晶圓載具時(shí)對(duì)晶圓的防護(hù)性，避免晶圓從晶圓載具的開口處掉落。

技術(shù)研發(fā)人員：朱亮,李宏,張杭軍,謝龍輝,張齊,楊波,嚴(yán)吳越
受保護(hù)的技術(shù)使用者：杭州中為光電技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/10