本發(fā)明涉及微波等離子反應(yīng)，尤其涉及一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、微波等離子體是利用微波能量電離先驅(qū)氣體而形成的一種等離子體，無(wú)電極放電污染，且等離子體密度連續(xù)可控；因此得到廣泛利用。

2、如公開(kāi)號(hào)為cn110913556a，名稱為《一種微波等離子反應(yīng)裝置》的中國(guó)專利，其反應(yīng)腔室，其底部具有輸送微波的開(kāi)口；同軸波導(dǎo)，與反應(yīng)腔底部開(kāi)口相連接，用以將微波輸送入反應(yīng)腔；圓周天線，用以將微波輸送入反應(yīng)腔，此天線上表面存在有凹部，以更好的聚焦微波，凹部底面同時(shí)用作基臺(tái)；基材位于基臺(tái)上方；天線部與反應(yīng)腔結(jié)合以?shī)A持介質(zhì)窗口，介質(zhì)窗口與等離子體完全隔離，這會(huì)保護(hù)介質(zhì)窗口不被等離子體刻蝕；反應(yīng)腔室上部具有可以調(diào)節(jié)高度的微波反射板，用以優(yōu)化等離子體在反應(yīng)腔室內(nèi)部的分布；本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，調(diào)節(jié)方便，適合于高品質(zhì)金剛石材料的沉積；該裝置過(guò)載后無(wú)法進(jìn)行卸載處理，導(dǎo)致反應(yīng)腔室存在形變的現(xiàn)象。

3、現(xiàn)有技術(shù)的不足之處在于，由于物質(zhì)在反應(yīng)腔室中反應(yīng)過(guò)程中，過(guò)熱容易產(chǎn)生膨脹壓力，腔體的膨脹壓力有額定值，當(dāng)過(guò)載后膨脹壓力無(wú)法釋放，過(guò)載后無(wú)法進(jìn)行卸載處理，導(dǎo)致反應(yīng)腔室出現(xiàn)膨脹形變的現(xiàn)象。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，通過(guò)緩沖組件作為腔體內(nèi)膨脹壓力的最大受壓值，將小于最大受壓值或等于最大受壓值的物質(zhì)進(jìn)行正常實(shí)驗(yàn)步驟，將超過(guò)腔體最大受壓值的物質(zhì)進(jìn)行釋放速度通過(guò)遮蔽簾阻斷的方式降低以及釋放掉內(nèi)筒中的膨脹力，起到過(guò)載保護(hù)的效果；降低內(nèi)筒過(guò)載形變的現(xiàn)象。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，包括腔體以及腔體頂端設(shè)有緩沖組件；

3、所述緩沖組件頂端設(shè)有泄壓組件，所述泄壓組件通過(guò)活動(dòng)組件閉合與緩沖組件連通的導(dǎo)流槽，所述活動(dòng)組件具有兩個(gè)行程：

4、第一行程中，所述活動(dòng)組件沿直筒運(yùn)動(dòng)并通過(guò)導(dǎo)流槽將緩沖組件與腔體連通，釋放腔體內(nèi)的壓力起到調(diào)節(jié)腔體內(nèi)壓力的效果；

5、第二行程中，所述活動(dòng)組件通過(guò)底端所連接的連動(dòng)組件帶動(dòng)遮蔽簾沿直筒定想運(yùn)動(dòng)，所述遮蔽簾由外殼與內(nèi)筒之間經(jīng)導(dǎo)向板運(yùn)動(dòng)至內(nèi)筒中，所述遮蔽簾隔斷線圈盤持續(xù)升溫增壓；活動(dòng)組件沿直筒運(yùn)動(dòng)并通過(guò)泄壓槽與透氣環(huán)連通，將腔體內(nèi)持續(xù)升溫增壓釋放；

6、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

7、所述緩沖組件包括連接蓋，且連接蓋與內(nèi)筒固定連接，所述連接蓋頂端固定連接有筒壁，所述筒壁外側(cè)固定連接有緩沖筒，所述緩沖筒內(nèi)開(kāi)設(shè)有緩沖腔，且緩沖腔通過(guò)導(dǎo)流槽與內(nèi)筒連通。

8、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

9、所述緩沖腔內(nèi)滑動(dòng)設(shè)有活塞環(huán)，所述活塞環(huán)頂端固定連接有連桿，所述連桿貫穿緩沖腔連接有頂板，所述頂板底端固定連接有支撐彈簧，且支撐彈簧遠(yuǎn)離頂板的一端固定在緩沖筒上。

10、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

11、所述泄壓組件包括直筒，所述直筒底端固定連接在筒壁上，所述直筒內(nèi)開(kāi)設(shè)有雙膛線，所述直筒內(nèi)活動(dòng)設(shè)有活動(dòng)組件，所述直筒頂端固定連接有透氣蓋，所述直筒靠近透氣蓋的一端設(shè)有透氣環(huán)。

12、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

13、所述活動(dòng)組件包括活動(dòng)塊，所述活動(dòng)塊頂端對(duì)稱固定連接有限位塊，且兩個(gè)所述限位塊與雙膛線適配，所述活動(dòng)塊周面開(kāi)設(shè)有泄壓槽，所述活動(dòng)塊底端開(kāi)設(shè)有底槽，且底槽內(nèi)設(shè)有連接繩。

14、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

15、所述外殼兩端對(duì)稱開(kāi)設(shè)有導(dǎo)向槽，所述導(dǎo)向槽內(nèi)滑動(dòng)設(shè)有移動(dòng)環(huán)，所述移動(dòng)環(huán)一端固定連接有遮蔽簾，所述移動(dòng)環(huán)另一端固定連接有撥桿，所述外殼靠近導(dǎo)向槽的一端連通設(shè)有限位槽，且限位槽內(nèi)活動(dòng)設(shè)有撥桿。

16、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

17、所述內(nèi)筒底端固定連接有導(dǎo)向板，所述內(nèi)筒兩端對(duì)稱開(kāi)設(shè)有滑槽，所述滑槽內(nèi)滑動(dòng)連接有滑動(dòng)環(huán)，所述滑動(dòng)環(huán)一端固定連接有滑塊，且滑塊滑動(dòng)設(shè)于滑槽內(nèi)。

18、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

19、所述連動(dòng)組件包括連接繩，所述連接繩頂端固定連接有活動(dòng)組件，所述連接繩底端固定連接有滑動(dòng)環(huán)，所述連接繩靠近緩沖組件的一端設(shè)有導(dǎo)向桿，且導(dǎo)向桿固定在內(nèi)筒上。

20、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

21、還包括連接件，所述連接件包括u型塊，所述u型塊一端設(shè)有內(nèi)螺紋，所述u型塊另一端開(kāi)設(shè)有螺紋槽，且螺紋槽與外殼螺紋連接。

22、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

23、還包括承載組件，所述承載組件包括托盤，所述托盤頂端固定連接有支撐桿，所述支撐頂端貫穿設(shè)有密封板，所述密封板頂端固定連接有螺紋塊，且螺紋塊與內(nèi)螺紋螺紋連接，所述螺紋塊頂端開(kāi)設(shè)有凹槽，且凹槽內(nèi)設(shè)有承載盤，且承載盤固定在支撐桿上。

24、本發(fā)明提供了一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，具備以下有益效果：

25、本發(fā)明中，通過(guò)緩沖組件作為腔體內(nèi)膨脹壓力的最大受壓值，將小于最大受壓值或等于最大受壓值的物質(zhì)進(jìn)行正常實(shí)驗(yàn)步驟，將超過(guò)腔體最大受壓值的物質(zhì)進(jìn)行釋放速度，通過(guò)遮蔽簾阻斷的方式降低以及釋放掉內(nèi)筒中的膨脹力，起到過(guò)載保護(hù)的效果，降低內(nèi)筒過(guò)載形變的現(xiàn)象。

技術(shù)特征：

1.一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括腔體(1)以及腔體(1)頂端設(shè)有緩沖組件(2)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述緩沖組件(2)包括連接蓋(21)，且連接蓋(21)與內(nèi)筒(12)固定連接，所述連接蓋(21)頂端固定連接有筒壁(22)，所述筒壁(22)外側(cè)固定連接有緩沖筒(23)，所述緩沖筒(23)內(nèi)開(kāi)設(shè)有緩沖腔(231)，且緩沖腔(231)通過(guò)導(dǎo)流槽(28)與內(nèi)筒(12)連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述緩沖腔(231)內(nèi)滑動(dòng)設(shè)有活塞環(huán)(24)，所述活塞環(huán)(24)頂端固定連接有連桿(25)，所述連桿(25)貫穿緩沖腔(231)連接有頂板(26)，所述頂板(26)底端固定連接有支撐彈簧(27)，且支撐彈簧(27)遠(yuǎn)離頂板(26)的一端固定在緩沖筒(23)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述泄壓組件(3)包括直筒(31)，所述直筒(31)底端固定連接在筒壁(22)上，所述直筒(31)內(nèi)開(kāi)設(shè)有雙膛線(311)，所述直筒(31)內(nèi)活動(dòng)設(shè)有活動(dòng)組件(32)，所述直筒(31)頂端固定連接有透氣蓋(33)，所述直筒(31)靠近透氣蓋(33)的一端設(shè)有透氣環(huán)(312)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述活動(dòng)組件(32)包括活動(dòng)塊(321)，所述活動(dòng)塊(321)頂端對(duì)稱固定連接有限位塊(324)，且兩個(gè)所述限位塊(324)與雙膛線(311)適配，所述活動(dòng)塊(321)周面開(kāi)設(shè)有泄壓槽(323)，所述活動(dòng)塊(321)底端開(kāi)設(shè)有底槽(322)，且底槽(322)內(nèi)設(shè)有連接繩(61)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述外殼(11)兩端對(duì)稱開(kāi)設(shè)有導(dǎo)向槽(111)，所述導(dǎo)向槽(111)內(nèi)滑動(dòng)設(shè)有移動(dòng)環(huán)(16)，所述移動(dòng)環(huán)(16)一端固定連接有遮蔽簾(15)，所述移動(dòng)環(huán)(16)另一端固定連接有撥桿(161)，所述外殼(11)靠近導(dǎo)向槽(111)的一端連通設(shè)有限位槽(112)，且限位槽(112)內(nèi)活動(dòng)設(shè)有撥桿(161)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述內(nèi)筒(12)底端固定連接有導(dǎo)向板(14)，所述內(nèi)筒(12)兩端對(duì)稱開(kāi)設(shè)有滑槽(121)，所述滑槽(121)內(nèi)滑動(dòng)連接有滑動(dòng)環(huán)(63)，所述滑動(dòng)環(huán)(63)一端固定連接有滑塊(64)，且滑塊(64)滑動(dòng)設(shè)于滑槽(121)內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連動(dòng)組件(6)包括連接繩(61)，所述連接繩(61)頂端固定連接有活動(dòng)組件(32)，所述連接繩(61)底端固定連接有滑動(dòng)環(huán)(63)，所述連接繩(61)靠近緩沖組件(2)的一端設(shè)有導(dǎo)向桿(62)，且導(dǎo)向桿(62)固定在內(nèi)筒(12)上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括連接件(4)，所述連接件(4)包括u型塊(41)，所述u型塊(41)一端設(shè)有內(nèi)螺紋(42)，所述u型塊(41)另一端開(kāi)設(shè)有螺紋槽(43)，且螺紋槽(43)與外殼(11)螺紋連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括承載組件(5)，所述承載組件(5)包括托盤(51)，所述托盤(51)頂端固定連接有支撐桿(52)，所述支撐頂端貫穿設(shè)有密封板(56)，所述密封板(56)頂端固定連接有螺紋塊(55)，且螺紋塊(55)與內(nèi)螺紋(42)螺紋連接，所述螺紋塊(55)頂端開(kāi)設(shè)有凹槽(54)，且凹槽(54)內(nèi)設(shè)有承載盤(53)，且承載盤(53)固定在支撐桿(52)上。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種微波等離子腔室結(jié)構(gòu)，包括腔體以及腔體頂端設(shè)有緩沖組件；所述緩沖組件頂端設(shè)有泄壓組件，所述泄壓組件通過(guò)活動(dòng)組件閉合與緩沖組件連通的導(dǎo)流槽，所述活動(dòng)組件沿直筒運(yùn)動(dòng)并通過(guò)導(dǎo)流槽將緩沖組件與腔體連通，釋放腔體內(nèi)的壓力起到調(diào)節(jié)腔體內(nèi)壓力的效果；所述活動(dòng)組件通過(guò)底端所連接的連動(dòng)組件帶動(dòng)遮蔽簾沿直筒定想運(yùn)動(dòng)；本發(fā)明中，通過(guò)緩沖組件作為腔體內(nèi)膨脹壓力的最大受壓值，將小于最大受壓值或等于最大受壓值的物質(zhì)進(jìn)行正常實(shí)驗(yàn)步驟，將超過(guò)腔體最大受壓值的物質(zhì)進(jìn)行釋放速度，通過(guò)遮蔽簾阻斷的方式降低以及釋放掉內(nèi)筒中的膨脹力，起到過(guò)載保護(hù)的效果，降低內(nèi)筒過(guò)載形變的現(xiàn)象。

技術(shù)研發(fā)人員：劉偉,張利強(qiáng),梁昌群,陳傳繼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安徽埃信智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19