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      全彩激光顯示裝置及其制造方法

      文檔序號:40345537發(fā)布日期:2024-12-18 13:22閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,包括激發(fā)光源、量子點(diǎn)層底反射鏡、量子點(diǎn)層及量子點(diǎn)層頂反射鏡,所述量子點(diǎn)層底反射鏡、所述量子點(diǎn)層及所述量子點(diǎn)層頂反射鏡依次層疊;

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述光轉(zhuǎn)換發(fā)光量子點(diǎn)為下轉(zhuǎn)換發(fā)光量子點(diǎn)。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述激發(fā)光源發(fā)出的光為藍(lán)光或紫外光,所述下轉(zhuǎn)換發(fā)光量子點(diǎn)的出射光為綠光或紅光。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,所述激發(fā)光源包括垂直腔面發(fā)射激光器結(jié)構(gòu)。

      5.一種全彩激光顯示裝置,其特征在于,包括基底、發(fā)光陣列、量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器;

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的全彩激光顯示裝置,其特征在于,所述第一發(fā)光單元為第一垂直腔面發(fā)射激光器,每個(gè)所述第一垂直腔面發(fā)射激光器包括第一底反射鏡、有源層及第一頂反射鏡。

      7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的全彩激光顯示裝置,其特征在于,所述第一頂反射鏡與所述量子點(diǎn)層底反射鏡為同一層結(jié)構(gòu)。

      8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的全彩激光顯示裝置,其特征在于,所述第一垂直腔面發(fā)射激光器為藍(lán)光激光器或紫外光激光器。

      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的全彩激光顯示裝置,其特征在于,所述量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器中所述量子點(diǎn)層的出射光包括綠光和紅光。

      10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的全彩激光顯示裝置,其特征在于,所述第一垂直腔面發(fā)射激光器的出射光中心波長為450nm,綠光中心波長為520nm,紅光的中心波長為630nm。

      11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的全彩激光顯示裝置,其特征在于,未形成所述量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器的第一垂直腔面發(fā)射激光器的數(shù)量、出射光為綠光的量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器的數(shù)量及出射光為紅光的量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器的數(shù)量相同。

      12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的全彩激光顯示裝置,其特征在于,所述量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器形成在所述第一垂直腔面發(fā)射激光器的出光孔上。

      13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的全彩激光顯示裝置,其特征在于,所述量子點(diǎn)層底反射鏡的尺寸大于所述第一垂直腔面發(fā)射激光器的出光孔尺寸。

      14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的全彩激光顯示裝置,其特征在于,所述量子點(diǎn)層的尺寸與所述量子點(diǎn)層底反射鏡的尺寸相同,所述量子點(diǎn)層頂反射鏡的尺寸大于所述量子點(diǎn)層的尺寸。

      15.一種全彩激光顯示裝置的制造方法,其特征在于,包括:

      16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的全彩激光顯示裝置的制造方法,其特征在于,制作包括不同類型的量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器的步驟具體包括:

      17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的全彩激光顯示裝置的制造方法,其特征在于,所述第一發(fā)光單元為第一垂直腔面發(fā)射激光器,具體制造過程包括:依次形成第一底反射鏡、有源層及第一頂反射鏡。

      18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的全彩激光顯示裝置的制造方法,其特征在于,所述掩膜形成在所述量子點(diǎn)層頂反射鏡上和/或所述第一頂反射鏡上。

      19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的全彩激光顯示裝置的制造方法,其特征在于,所述有源層的出射光中心波長為450nm,所述量子點(diǎn)層的出射光包括中心波長分別為520nm和630nm的光。

      20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的全彩激光顯示裝置的制造方法,其特征在于,先形成出射光中心波長為520nm的所述量子點(diǎn)層。

      21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的全彩激光顯示裝置的制造方法,其特征在于,將所述量子點(diǎn)層的厚度控制為量子點(diǎn)層出射光中心波長的二分之一。


      技術(shù)總結(jié)
      本申請涉及一種全彩激光顯示裝置及其制造方法,該裝置能夠直接輸出不同顏色激光,實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的全彩顯示。包括基底、發(fā)光陣列以及多種類型的量子點(diǎn)VCSEL。在部分或全部第一發(fā)光單元上構(gòu)建量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器,形成光學(xué)諧振腔。此諧振腔共振放大的光波長與量子點(diǎn)層出射光的中心波長精確匹配,實(shí)現(xiàn)從基礎(chǔ)光源到特定顏色激光的直接轉(zhuǎn)換。量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器包含兩種或更多種類型,配備不同材料的量子點(diǎn)層,發(fā)出不同波長的光。制造中采用光刻、鍍膜及量子點(diǎn)合成與沉積技術(shù),通過掩膜保護(hù)目標(biāo)區(qū)域,控制量子點(diǎn)垂直腔面發(fā)射激光器的形成位置與類型。簡化顏色轉(zhuǎn)換過程、提高準(zhǔn)確性及色域覆蓋范圍,同時(shí)保持低功耗與高光束準(zhǔn)直度的優(yōu)勢。

      技術(shù)研發(fā)人員:楊帥,賈思琪,唐兆兵,廖智波,李寧,周德霞,周子明,張?zhí)焖?孫小衛(wèi)
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:河南省科學(xué)院新型顯示技術(shù)研究所
      技術(shù)研發(fā)日:
      技術(shù)公布日:2024/12/17
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