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      一種波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)及太赫茲固態(tài)器件的制作方法

      文檔序號(hào):40350271發(fā)布日期:2024-12-18 13:27閱讀:6來源:國知局
      一種波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)及太赫茲固態(tài)器件的制作方法

      本發(fā)明涉及電磁波傳導(dǎo),特別是涉及一種波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)以及太赫茲固態(tài)器件。


      背景技術(shù):

      1、太赫茲波是頻率為0.1thz-10thz之間的電磁波,介于微波與紅外輻射之間,具有寬帶性、穩(wěn)定性、相干性、穿透性和低能性等物理特性;太赫茲波在雷達(dá)成像、大氣遙感、天文觀測以及高速寬帶通信等領(lǐng)域得到了廣泛的研究和應(yīng)用;但太赫茲波的應(yīng)用仍然面臨許多挑戰(zhàn)。太赫茲頻段的頻率相對(duì)較高,太赫茲固態(tài)器件的尺寸相比于傳統(tǒng)微波頻段的固態(tài)器件的尺寸急劇縮??;波導(dǎo)-懸置微帶過渡結(jié)構(gòu)為太赫茲固態(tài)器件中的關(guān)鍵結(jié)構(gòu),如何合理設(shè)計(jì)波導(dǎo)-懸置微帶過渡結(jié)構(gòu),降低太赫茲波的傳導(dǎo)損耗,對(duì)提升太赫茲固態(tài)器件的工作性能意義重大。


      技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

      1、本發(fā)明的目的是提供一種波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)以及太赫茲固態(tài)器件,能夠提升探針過渡結(jié)構(gòu)的緊湊性,并實(shí)現(xiàn)太赫茲波的低損耗傳導(dǎo)。

      2、為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供一種波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu),用于傳導(dǎo)太赫茲波,包括:

      3、具有長方體結(jié)構(gòu)的波導(dǎo)結(jié)構(gòu);其中,所述波導(dǎo)結(jié)構(gòu)用于沿設(shè)定傳導(dǎo)方向傳導(dǎo)太赫茲波;

      4、嵌入至所述波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的短路面中的微帶線腔體,其中,所述短路面為和所述傳導(dǎo)方向相互垂直的側(cè)壁面;

      5、嵌入到所述微帶線腔體內(nèi)的介質(zhì)基板;

      6、設(shè)置在所述介質(zhì)基板上,并沿所述設(shè)定傳導(dǎo)方向延伸的金屬微帶;

      7、設(shè)置在所述介質(zhì)基板上,和所述金屬微帶靠近所述波導(dǎo)結(jié)構(gòu)一側(cè)的端部相連接,且和所述金屬微帶相互垂直的探針。

      8、在本申請(qǐng)的一種可選地實(shí)施例中,所述探針為具有一字型結(jié)構(gòu)的單極子天線。

      9、在本申請(qǐng)的一種可選地實(shí)施例中,所述探針和所述金屬微帶的端部之間通過匹配微帶相連接。

      10、所述金屬微帶、所述匹配微帶以及所述探針的寬度依次減小。

      11、在本申請(qǐng)的一種可選地實(shí)施例中,所述金屬微帶的寬度為0.08mm~0.10mm,所述匹配微帶的寬度為0.05mm~0.07mm,所述探針的寬度為0.010mm~0.021mm。

      12、在本申請(qǐng)的一種可選地實(shí)施例中,所述金屬微帶的長度為0.40mm~0.48mm,所述匹配微帶的長度為0.05mm~0.07mm,所述探針的長度為0.2mm~0.3mm。

      13、在本申請(qǐng)的一種可選地實(shí)施例中,所述探針背離所述金屬微帶一側(cè)的側(cè)邊和所述短路面之間的距離為太赫茲波的四分之一波長。

      14、在本申請(qǐng)的一種可選地實(shí)施例中,所述金屬微帶、所述匹配微帶以及所述探針為一體成型的銅結(jié)構(gòu)。

      15、在本申請(qǐng)的一種可選地實(shí)施例中,所述介質(zhì)基板為氮化鋁基板;厚度為0.04mm~0.06mm。

      16、在本申請(qǐng)的一種可選地實(shí)施例中,所述波導(dǎo)結(jié)構(gòu)為標(biāo)準(zhǔn)wr5.1波導(dǎo)。

      17、一種太赫茲固態(tài)器件,包括芯片腔體以及兩個(gè)如上任一項(xiàng)所述的波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu);其中,所述芯片腔體的輸入端和輸出端分別和兩個(gè)所述波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)的金屬微帶背離探針一側(cè)的端部相連接。

      18、本發(fā)明所提供的一種波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)以及太赫茲固態(tài)器件,該波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)用于傳導(dǎo)太赫茲波,包括:具有長方體結(jié)構(gòu)的波導(dǎo)結(jié)構(gòu);其中,所述波導(dǎo)結(jié)構(gòu)用于沿設(shè)定傳導(dǎo)方向傳導(dǎo)太赫茲波;嵌入至所述波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的短路面中的微帶線腔體,其中,所述短路面為和所述傳導(dǎo)方向相互垂直的側(cè)壁面;嵌入到所述微帶線腔體內(nèi)的介質(zhì)基板;設(shè)置在所述介質(zhì)基板上,并沿所述設(shè)定傳導(dǎo)方向延伸的金屬微帶;設(shè)置在所述介質(zhì)基板上,和所述金屬微帶靠近所述波導(dǎo)結(jié)構(gòu)一側(cè)的端部相連接的探針。

      19、本申請(qǐng)中以波導(dǎo)結(jié)構(gòu)上和傳導(dǎo)太赫茲波的設(shè)定傳導(dǎo)方向垂直的側(cè)壁面作為短路面,并在該短路面上設(shè)置承載金屬微帶以及探針的微帶線腔體,相對(duì)于以波導(dǎo)結(jié)構(gòu)上平行于電磁波傳導(dǎo)方向的e面或h面作為短路面的探針過渡結(jié)構(gòu),本申請(qǐng)中波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)的整體結(jié)構(gòu)更加緊湊,并且能夠有效降低傳統(tǒng)e面探針不連續(xù)結(jié)構(gòu)帶來的額外傳輸損耗,實(shí)現(xiàn)太赫茲波低損耗傳導(dǎo),且便于和后續(xù)用于太赫茲固態(tài)器件時(shí)進(jìn)行電路匹配和集成;由此可見,本申請(qǐng)中的波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)用于傳導(dǎo)太赫茲波,結(jié)構(gòu)緊湊且傳導(dǎo)損耗小,有利于提升具有該探針過渡結(jié)構(gòu)的太赫茲固態(tài)器件的工作性能。



      技術(shù)特征:

      1.一種波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu),其特征在于,用于傳導(dǎo)太赫茲波,包括:

      2.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu),其特征在于,所述探針為具有一字型結(jié)構(gòu)的單極子天線。

      3.如權(quán)利要求2所述的波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu),其特征在于,所述探針和所述金屬微帶的端部之間通過匹配微帶相連接。

      4.如權(quán)利要求3所述的波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu),其特征在于,所述金屬微帶的寬度為0.08mm~0.10mm,所述匹配微帶的寬度為0.05mm~0.07mm,所述探針的寬度為0.010mm~0.021mm。

      5.如權(quán)利要求3所述的波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu),其特征在于,所述金屬微帶的長度為0.40mm~0.48mm,所述匹配微帶的長度為0.05mm~0.07mm,所述探針的長度為0.2mm~0.3mm。

      6.如權(quán)利要求2所述的波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu),其特征在于,所述探針背離所述金屬微帶一側(cè)的側(cè)邊和所述短路面之間的距離為太赫茲波的四分之一波長。

      7.如權(quán)利要求2所述的波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu),其特征在于,所述金屬微帶、所述匹配微帶以及所述探針為一體成型的銅結(jié)構(gòu)。

      8.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu),其特征在于,所述介質(zhì)基板為氮化鋁基板;厚度為0.04mm~0.06mm。

      9.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu),其特征在于,所述波導(dǎo)結(jié)構(gòu)為標(biāo)準(zhǔn)wr5.1波導(dǎo)。

      10.一種太赫茲固態(tài)器件,其特征在于,包括芯片腔體以及兩個(gè)如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu);其中,所述芯片腔體的輸入端和輸出端分別和兩個(gè)所述波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)的金屬微帶背離探針一側(cè)的端部相連接。


      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明公開了一種波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)以及太赫茲固態(tài)器件,該波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)用于傳導(dǎo)太赫茲波,包括:具有長方體結(jié)構(gòu)的波導(dǎo)結(jié)構(gòu);其中,所述波導(dǎo)結(jié)構(gòu)用于沿設(shè)定傳導(dǎo)方向傳導(dǎo)太赫茲波;嵌入至所述波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的短路面中的微帶線腔體,其中,所述短路面為和所述傳導(dǎo)方向相互垂直的側(cè)壁面;嵌入到所述微帶線腔體內(nèi)的介質(zhì)基板;設(shè)置在所述介質(zhì)基板上,并沿所述設(shè)定傳導(dǎo)方向延伸的金屬微帶;設(shè)置在所述介質(zhì)基板上,和所述金屬微帶靠近所述波導(dǎo)結(jié)構(gòu)一側(cè)的端部相連接的探針。本申請(qǐng)中的波導(dǎo)微帶探針過渡結(jié)構(gòu)用于傳導(dǎo)太赫茲波,結(jié)構(gòu)緊湊且傳導(dǎo)損耗小,有利于提升具有該探針過渡結(jié)構(gòu)的太赫茲固態(tài)器件的工作性能。

      技術(shù)研發(fā)人員:張?bào)憬?田遙嶺,蔣均,劉戈,何月,黃昆,楊昊,周人,陳鵬,李理,李若雪,林長星
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國工程物理研究院電子工程研究所
      技術(shù)研發(fā)日:
      技術(shù)公布日:2024/12/17
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