本技術(shù)涉及半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域，尤其涉及一種堵孔密封裝置、真空吸附系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、真空吸附臺(tái)面用于承載大平面物體，由于其平整度高、撓度小、吸附力大，因此，在封裝基板、絲網(wǎng)印刷等多種領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。其中，由于封裝基板會(huì)存在多種不同的板件尺寸，將板件放置到臺(tái)面后，由于板材與臺(tái)面的尺寸不一致，真空吸附臺(tái)面將會(huì)有多余的孔洞未被覆蓋，從而導(dǎo)致真空吸附態(tài)下方的真空度偏低、吸附力度不夠，進(jìn)而導(dǎo)致板件沒(méi)有牢固地吸附在真空吸附臺(tái)面上，造成板件浮動(dòng)后，導(dǎo)致對(duì)位精度出現(xiàn)異常，更為嚴(yán)重的情況下會(huì)導(dǎo)致板件出現(xiàn)異常移動(dòng)，造成板件劃傷。

2、針對(duì)上述問(wèn)題，現(xiàn)有技術(shù)中，通常先確認(rèn)封裝基板的尺寸，并根據(jù)該尺寸將真空吸附臺(tái)中超出尺寸范圍的孔洞，用絕緣膠帶進(jìn)行粘貼，從而密封多余孔洞。但這種方法的效率過(guò)于低下，并且容易在真空臺(tái)面上殘留膠水，進(jìn)而污染板件或其他樣品。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種堵孔密封裝置、真空吸附系統(tǒng)，以解決使用真空吸附臺(tái)吸附封裝基板時(shí)，由于存在多余的孔洞，導(dǎo)致板件位置浮動(dòng)的問(wèn)題。

2、本實(shí)用新型第一方面，提供了一種堵孔密封裝置，應(yīng)用于多孔臺(tái)面(40)，所述多孔臺(tái)面包括多個(gè)孔洞，包括：

3、不銹鋼管；

4、封堵組件，處于所述多孔臺(tái)面下方，包括與所述孔洞相同數(shù)量的密封塞，每個(gè)所述密封塞分別對(duì)應(yīng)一個(gè)所述孔洞；

5、控制機(jī)構(gòu)，一端與封堵組件相連，另一端固定于所述不銹鋼管的外表面，用于控制所述封堵組件密封住對(duì)應(yīng)的所述孔洞。

6、在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述控制機(jī)構(gòu)，包括：

7、傳動(dòng)組件，一端連接所述封堵組件，另一端連接所述操作組件，所述傳動(dòng)組件的底部固定于所述不銹鋼管的內(nèi)壁底部；

8、操作按鈕，一端固定于所述不銹鋼管的外表面，另一端與所述傳動(dòng)組件相連。

9、在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述操作按鈕包括密封按鈕和不密封按鈕。

10、在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述傳動(dòng)組件包括：

11、移動(dòng)件，一端與所述操作按鈕相連，另一端與傳動(dòng)臂相連，用于響應(yīng)所述操作按鈕的操作指令；所述移動(dòng)件通過(guò)第一彈性固定塊固定在所述不銹鋼管的內(nèi)壁底部；

12、彈性固定件，一端固定在所述不銹鋼管的內(nèi)壁底部，另一端與所述密封塞相連；

13、傳動(dòng)臂，一端與所述操作按鈕相連，另一端與所述固定件的中間部分相連。

14、在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述移動(dòng)件包括：

15、限位件，包括限位凸起塊和第二彈性固定塊，其中，第二彈性固定塊固定在所述不銹鋼管的內(nèi)壁底部，另一端與所述限位凸起塊相連；

16、滑動(dòng)件，一端與所述操作按鈕相連，另一端與所述限位凸起塊相接。

17、在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述滑動(dòng)件包括：

18、三角滑軌，形狀為直角三角形，其中，一直角邊通過(guò)第三彈性固定塊與所述不銹鋼管的內(nèi)壁左側(cè)相連，另一直角邊固定在所述操作按鈕上，斜邊為滑軌，所述滑軌與所述限位凸起塊相接，以利用三角滑軌觸發(fā)所述限位件移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述傳動(dòng)臂向上方移動(dòng)。

19、在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述傳動(dòng)臂包括：

20、第一傳動(dòng)臂，一端與所述移動(dòng)件的限位件相連，另一端與所述封堵組件相連；

21、第二傳動(dòng)臂，一端與所述彈性固定件相連，另一端與所述移動(dòng)件的第一彈性固定塊相連。

22、在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述不銹鋼管內(nèi)部存在填充物。

23、在一種可能的設(shè)計(jì)中，所述封堵組件包括一個(gè)或多個(gè)密封塞組，所述密封塞組包括一個(gè)或多個(gè)密封塞。

24、第二方面，提供了一種真空吸附系統(tǒng)，其特征在于，所述真空吸附系統(tǒng)包括如上述堵孔密封裝置和多孔臺(tái)面。

25、上述堵孔密封裝置中，本實(shí)用新型中的堵孔密封裝置應(yīng)用于多孔臺(tái)面，該多孔臺(tái)面包括臺(tái)面和多個(gè)孔洞，該堵孔密封裝置可以被置于多孔臺(tái)面下方。由于堵孔密封裝置中存在著與孔洞對(duì)應(yīng)的密封塞，因此，用戶通過(guò)控制機(jī)構(gòu)控制封堵組件時(shí)，實(shí)質(zhì)上用戶能夠控制不同的密封塞堵住對(duì)應(yīng)的孔洞。在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，可以根據(jù)板件的大小、尺寸、形狀，判斷哪些孔洞需要被密封，再通過(guò)控制機(jī)構(gòu)將需要被密封的孔洞密封住，這樣在包含多孔臺(tái)面的設(shè)備對(duì)板件進(jìn)行吸附時(shí)，就可以保證板件不會(huì)由于多余的孔洞未被密封，而導(dǎo)致真空吸附態(tài)下方的真空度過(guò)低、吸附力度不投，從而保證板件能夠牢固地吸附多孔臺(tái)面上，防止板件浮動(dòng)，保證了對(duì)位的精度以及板件的安全性。

26、另外，相較于現(xiàn)有技術(shù)中利用絕緣膠帶對(duì)孔洞進(jìn)行粘貼的方式，本實(shí)用新型不僅節(jié)省了粘貼膠帶的時(shí)間，提高了工作效率，也避免了膠帶與真空吸附臺(tái)面相接處，導(dǎo)致臺(tái)面臟污，有效防止了板材或其他樣品遭到污染。

技術(shù)特征：

1.一種堵孔密封裝置，應(yīng)用于多孔臺(tái)面(40)，所述多孔臺(tái)面(40)包括多個(gè)孔洞(42)，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的堵孔密封裝置，其特征在于，所述控制機(jī)構(gòu)(30)，包括：

3.如權(quán)利要求2所述的堵孔密封裝置，其特征在于，所述操作按鈕(32)包括密封按鈕和不密封按鈕。

4.如權(quán)利要求2所述的堵孔密封裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)組件(31)包括：

5.如權(quán)利要求4所述的堵孔密封裝置，其特征在于，所述移動(dòng)件(311)包括：

6.如權(quán)利要求5所述的堵孔密封裝置，其特征在于，所述滑動(dòng)件包括：

7.如權(quán)利要求4所述的堵孔密封裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)臂(313)包括：

8.如權(quán)利要求1所述的堵孔密封裝置，其特征在于，所述不銹鋼管(20)內(nèi)部存在填充物。

9.如權(quán)利要求1所述的堵孔密封裝置，其特征在于，所述封堵組件(10)包括一個(gè)或多個(gè)密封塞組，所述密封塞組包括一個(gè)或多個(gè)密封塞(11)。

10.一種真空吸附系統(tǒng)，其特征在于，所述真空吸附系統(tǒng)包括如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述堵孔密封裝置和多孔臺(tái)面(40)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種堵孔密封裝置、真空吸附系統(tǒng)，以解決使用真空吸附臺(tái)吸附封裝基板時(shí)，由于存在多余的孔洞，導(dǎo)致板件位置浮動(dòng)的問(wèn)題。該堵孔密封裝置應(yīng)用于多孔臺(tái)面，多孔臺(tái)面包括多個(gè)孔洞，其特征在于，包括：不銹鋼管，不銹鋼管內(nèi)部存在填充物；封堵組件，處于多孔臺(tái)面下方，包括與孔洞相同數(shù)量的密封塞，每個(gè)密封塞分別對(duì)應(yīng)一個(gè)孔洞；控制機(jī)構(gòu)，一端與封堵組件相連，另一端固定于不銹鋼管的外表面，用于控制封堵組件密封住對(duì)應(yīng)的孔洞。

技術(shù)研發(fā)人員：龍超,王林,張慶振,余懷鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫廣芯封裝基板有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240814
技術(shù)公布日：2024/9/17