本技術(shù)涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)的領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅片分離裝置。

背景技術(shù)：

1、硅片是一種薄而平坦的圓形硅基質(zhì)材料，常用于集成電路制造和其他半導(dǎo)體器件的制備過程中，它是半導(dǎo)體工業(yè)中最常見的基板材料之一。

2、相關(guān)技術(shù)中，為了便于操作，測試前的多塊硅片常通過堆疊的形式放置。然而，受硅片的前道工藝的影響，硅片的平整度較高，從而令堆疊放置的硅片之間出現(xiàn)粘連現(xiàn)象的頻率較高，進(jìn)而在拿取堆疊在頂部的硅片時(shí)，容易由于粘連現(xiàn)象而一次性連帶拿取多塊硅片，影響設(shè)備的正常生產(chǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本實(shí)用新型提出一種硅片分離裝置，具有能夠分離相互粘連的硅片，拿取單塊硅片的效果。

2、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的本實(shí)用新型提供了一種硅片分離裝置，其特征在于，包括：載片臺(tái)，其用于承載硅片組，所述硅片組包括多塊沿豎向堆疊的硅片；升降組件，其能夠帶動(dòng)所述載片臺(tái)升降；限位組件，其用于限制所述硅片的水平移動(dòng)；吸附組件，其包括振動(dòng)件以及吸盤，所述吸盤可升降地設(shè)置于所述載片臺(tái)的上方，所述吸盤能夠吸附所述硅片，所述振動(dòng)件能夠帶動(dòng)所述吸盤振動(dòng)。

3、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的一種硅片分離裝置，至少包括以下有益效果：當(dāng)吸盤需要對(duì)硅片進(jìn)行吸附時(shí)，通過升降組件帶動(dòng)載片臺(tái)上升，并通過限位組件對(duì)硅片的水平移動(dòng)進(jìn)行限制，從而吸盤下降能夠?qū)杵M(jìn)行吸附，由于硅片之間容易出現(xiàn)粘連現(xiàn)象，吸盤容易一次性連帶拿取多塊硅片，此時(shí)通過振動(dòng)件產(chǎn)生振動(dòng)力，以帶動(dòng)吸盤振動(dòng)，從而使得兩塊硅片之間的粘連力受到振動(dòng)力的影響而減小，以令吸附的硅片中多余的硅片掉落回硅片組中，實(shí)現(xiàn)對(duì)單塊硅片的拿取，進(jìn)而解決了容易由于粘連現(xiàn)象而一次性連帶拿取多塊硅片的問題。

4、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述硅片分離裝置包括呈豎直設(shè)置的固定板，所述升降組件設(shè)置于所述固定板上，所述升降組件包括滑軌、滑板、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、絲桿，所述滑軌豎直設(shè)置于所述固定板的一側(cè)，所述滑板與所述滑軌滑移配合，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)設(shè)置于所述滑軌的底部，所述絲桿呈豎直設(shè)置，所述絲桿的底部固定連接于所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端，所述滑板上開設(shè)有螺孔，所述絲桿與所述螺孔螺紋配合，所述載片臺(tái)的一側(cè)固定連接于所述滑板。

5、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述固定板上設(shè)置有支撐架，所述滑板的一側(cè)設(shè)置有支撐板，所述支撐板位于所述載片臺(tái)的下方，所述限位組件承載于所述支撐板上，所述限位組件包括松緊件以及多根限位桿，所述松緊件承載于所述支撐板上，多根所述限位桿沿所述硅片的周向間隔分布，所述限位桿呈豎直設(shè)置，所述載片臺(tái)上開設(shè)有多個(gè)腰型孔，多個(gè)所述腰型孔分別與多根所述限位桿一一對(duì)應(yīng)，所述腰型孔沿所述硅片的徑向開設(shè)，所述限位桿的底端通過所述松緊件進(jìn)行支撐，頂端穿過所述腰型孔并豎直向上延伸，所述松緊件能夠同時(shí)帶動(dòng)多根所述限位桿沿所述腰型孔的長度方向靠近或遠(yuǎn)離所述硅片組。

6、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述松緊件包括夾爪氣缸以及多根傳動(dòng)桿，所述夾爪氣缸設(shè)置于所述支撐板上，多根所述傳動(dòng)桿分別一一對(duì)應(yīng)于多根所述限位桿，所述傳動(dòng)桿的一端連接于所述夾爪氣缸，另一端連接于所述限位桿，所述夾爪氣缸能夠帶動(dòng)多根所述傳動(dòng)桿擴(kuò)張或收縮。

7、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述吸附組件包括升降件，所述升降件用于帶動(dòng)所述吸盤升降。

8、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述升降件包括氣缸以及轉(zhuǎn)接座，所述氣缸通過連接架固定連接于所述固定板，所述轉(zhuǎn)接座的一側(cè)連接于所述氣缸，所述氣缸能夠帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)接座升降，所述吸盤活動(dòng)設(shè)置于所述轉(zhuǎn)接座的底部，所述振動(dòng)件設(shè)置于所述轉(zhuǎn)接座與所述吸盤之間。

9、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述振動(dòng)件包括引導(dǎo)桿、限位板、振動(dòng)馬達(dá)以及彈性件，所述限位板活動(dòng)設(shè)置于所述轉(zhuǎn)接座的上方，所述轉(zhuǎn)接座的頂部貫穿開設(shè)有穿孔，所述引導(dǎo)桿的底端固定連接于所述吸盤，另一端穿過所述穿孔，并與所述限位板固定連接，所述彈性件位于所述轉(zhuǎn)接座與所述吸盤之間，所述彈性件為所述限位板壓緊于所述轉(zhuǎn)接座提供彈力，所述吸盤的頂部上開設(shè)有容置槽，所述振動(dòng)馬達(dá)嵌設(shè)于所述容置槽。

10、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述彈性件包括彈簧，所述彈簧套設(shè)于所述引導(dǎo)桿外，所述彈簧的一端抵接于所述轉(zhuǎn)接座，另一端抵接于所述吸盤。

11、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述吸盤上設(shè)置有電容傳感器。

12、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述支撐板上設(shè)置有多個(gè)吹氣件，多個(gè)所述吹氣件沿所述硅片的周向分布，所述吹氣件用于往相鄰的兩塊所述硅片之間噴氣。

技術(shù)特征：

1.一種硅片分離裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片分離裝置，其特征在于：所述硅片分離裝置包括呈豎直設(shè)置的固定板(100)，所述升降組件設(shè)置于所述固定板(100)上，所述升降組件包括滑軌(420)、滑板(430)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)(410)、絲桿(440)，所述滑軌(420)豎直設(shè)置于所述固定板(100)的一側(cè)，所述滑板(430)與所述滑軌(420)滑移配合，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(410)設(shè)置于所述滑軌(420)的底部，所述絲桿(440)呈豎直設(shè)置，所述絲桿(440)的底部固定連接于所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(410)的輸出端，所述滑板(430)上開設(shè)有螺孔，所述絲桿(440)與所述螺孔螺紋配合，所述載片臺(tái)(200)的一側(cè)固定連接于所述滑板(430)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片分離裝置，其特征在于：所述滑板(430)的一側(cè)設(shè)置有支撐板(500)，所述支撐板(500)位于所述載片臺(tái)(200)的下方，所述限位組件承載于所述支撐板(500)上，所述限位組件包括松緊件以及多根限位桿(620)，所述松緊件承載于所述支撐板(500)上，多根所述限位桿(620)沿所述硅片(310)的周向間隔分布，所述限位桿(620)呈豎直設(shè)置，所述載片臺(tái)(200)上開設(shè)有多個(gè)腰型孔(630)，多個(gè)所述腰型孔(630)分別與多根所述限位桿(620)一一對(duì)應(yīng)，所述腰型孔(630)沿所述硅片(310)的徑向開設(shè)，所述限位桿(620)的底端通過所述松緊件進(jìn)行支撐，頂端穿過所述腰型孔(630)并豎直向上延伸，所述松緊件能夠同時(shí)帶動(dòng)多根所述限位桿(620)沿所述腰型孔(630)的長度方向靠近或遠(yuǎn)離所述硅片組(300)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片分離裝置，其特征在于：所述松緊件包括夾爪氣缸(611)以及多根傳動(dòng)桿(612)，所述夾爪氣缸(611)設(shè)置于所述支撐板(500)上，多根所述傳動(dòng)桿(612)分別一一對(duì)應(yīng)于多根所述限位桿(620)，所述傳動(dòng)桿(612)的一端連接于所述夾爪氣缸(611)，另一端連接于所述限位桿(620)，所述夾爪氣缸(611)能夠帶動(dòng)多根所述傳動(dòng)桿(612)擴(kuò)張或收縮。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片分離裝置，其特征在于：所述吸附組件(700)包括升降件，所述升降件用于帶動(dòng)所述吸盤(710)升降。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片分離裝置，其特征在于：所述升降件包括氣缸(721)以及轉(zhuǎn)接座(722)，所述氣缸(721)通過連接架固定連接于所述固定板(100)，所述轉(zhuǎn)接座(722)的一側(cè)連接于所述氣缸(721)，所述氣缸(721)能夠帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)接座(722)升降，所述吸盤(710)活動(dòng)設(shè)置于所述轉(zhuǎn)接座(722)的底部，所述振動(dòng)件設(shè)置于所述轉(zhuǎn)接座(722)與所述吸盤(710)之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片分離裝置，其特征在于：所述振動(dòng)件包括引導(dǎo)桿(731)、限位板(732)、振動(dòng)馬達(dá)(733)以及彈性件，所述限位板(732)活動(dòng)設(shè)置于所述轉(zhuǎn)接座(722)的上方，所述轉(zhuǎn)接座(722)的頂部貫穿開設(shè)有穿孔(735)，所述引導(dǎo)桿(731)的底端固定連接于所述吸盤(710)，另一端穿過所述穿孔(735)，并與所述限位板(732)固定連接，所述彈性件位于所述轉(zhuǎn)接座(722)與所述吸盤(710)之間，所述彈性件為所述限位板(732)壓緊于所述轉(zhuǎn)接座(722)提供彈力，所述吸盤(710)的頂部上開設(shè)有容置槽，所述振動(dòng)馬達(dá)(733)嵌設(shè)于所述容置槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅片分離裝置，其特征在于：所述彈性件包括彈簧(7341)，所述彈簧(7341)套設(shè)于所述引導(dǎo)桿(731)外，所述彈簧(7341)的一端抵接于所述轉(zhuǎn)接座(722)，另一端抵接于所述吸盤(710)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片分離裝置，其特征在于：所述吸盤(710)上設(shè)置有電容傳感器。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片分離裝置，其特征在于：所述支撐板(500)上設(shè)置有多個(gè)吹氣件，多個(gè)所述吹氣件沿所述硅片(310)的周向分布，所述吹氣件用于往相鄰的兩塊所述硅片(310)之間噴氣。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種硅片分離裝置，其特征在于，包括：載片臺(tái)，其用于承載硅片組，所述硅片組包括多塊沿豎向堆疊的硅片；升降組件，其能夠帶動(dòng)所述載片臺(tái)升降；限位組件，其用于限制所述硅片的水平移動(dòng)；吸附組件，其包括振動(dòng)件以及吸盤，所述吸盤可升降地設(shè)置于所述載片臺(tái)的上方，所述吸盤能夠吸附所述硅片，所述振動(dòng)件能夠帶動(dòng)所述吸盤振動(dòng)。本申請(qǐng)能夠分離相互粘連的硅片，從而實(shí)現(xiàn)拿取單塊硅片的效果。

技術(shù)研發(fā)人員：胡耿濤,林生財(cái)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240111
技術(shù)公布日：2024/12/19