[]本技術(shù)涉及直驅(qū)電機，具體涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺。

背景技術(shù)：

0、[背景技術(shù)]

1、直驅(qū)電機平臺在半導(dǎo)體晶圓檢測行業(yè)中具有高精度、高速度、高穩(wěn)定性、高可靠性和高靈活性等優(yōu)勢，能夠滿足對晶圓表面缺陷和特征進(jìn)行精細(xì)檢測的要求，提高了晶圓檢測系統(tǒng)的性能和可靠性。

2、中國專利cn215727630u公開了一種半導(dǎo)體晶圓檢測平臺，包括平臺、xy移動平臺、相機鏡頭安裝梁、真空吸附治具，xy移動平臺設(shè)置在平臺上，相機鏡頭安裝梁跨設(shè)在xy移動平臺上方，相機鏡頭安裝梁與平臺連接，真空吸附治具設(shè)置在xy移動平臺的上端面，真空吸附治具包括真空吸附機構(gòu)、真空吸附治具本體，真空吸附治具本體的一側(cè)設(shè)有凹槽，真空吸附治具本體另一側(cè)設(shè)有真空吸附機構(gòu)，真空吸附機構(gòu)包括真空進(jìn)氣口、氣道、真空吸附孔，氣道穿過真空吸附治具本體外圓面與真空進(jìn)氣口連接，真空吸附孔穿過真空吸附治具本體的上表面與氣道-連接，真空吸附孔沿真空吸附治具本體的半徑設(shè)置至少兩個，凹槽為w型凹槽。

3、但是該專利無法擺動晶圓，無法從不同的角度和位置對晶圓進(jìn)行全面的檢測。

4、基于此，本實用新型設(shè)計了一種應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺以解決上述問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

0、[
技術(shù)實現(xiàn)要素：
]

1、針對現(xiàn)有技術(shù)所存在的上述缺點，本實用新型提供了一種應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺。

2、為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：

3、一種應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺，包括大理石平臺；

4、還包括用于y軸移動的y軸驅(qū)動組件、用于x軸移動的x軸驅(qū)動組件、用于防塵的風(fēng)琴罩、用于擺動晶圓的晶圓安裝組件、用于梳理線路的接線組件和用于緩沖的緩沖組件，y軸驅(qū)動組件與大理石平臺連接，y軸驅(qū)動組件的上端連接有x軸驅(qū)動組件，x軸驅(qū)動組件上連接有晶圓安裝組件，大理石平臺的上端一側(cè)連接有接線組件，x軸驅(qū)動組件和y軸驅(qū)動組件均與緩沖組件連接，x軸驅(qū)動組件和y軸驅(qū)動組件均與風(fēng)琴罩連接；

5、所述晶圓安裝組件包括安裝組件和擺動組件，安裝組件與x軸驅(qū)動組件連接，擺動組件與安裝組件連接。

6、更進(jìn)一步的，所述y軸驅(qū)動組件包括第二直線模組滑臺、第二滑軌和第二拖鏈，多個第二滑軌均固定連接在第二直線模組滑臺的外殼內(nèi)，第二拖鏈的一端固定連接在大理石平臺上，第二拖鏈的另一端與x軸驅(qū)動組件連接，第二直線模組滑臺固定連接在大理石平臺上，第二直線模組滑臺的前后端分別與兩個風(fēng)琴罩的外端固定連接。

7、更進(jìn)一步的，所述x軸驅(qū)動組件包括第一直線模組滑臺、第一滑軌、第一拖鏈和第一線束連接器，第一直線模組滑臺固定連接在第二直線模組滑臺的滑塊上端，多個第一滑軌固定連接在第一直線模組滑臺的外殼內(nèi)，第一拖鏈一端固定連接在第一直線模組滑臺的外殼上，第一拖鏈的另一端固定連接在第一直線模組滑臺的滑塊上，第一線束連接器固定連接在第一直線模組滑臺的前端外殼上，第二拖鏈的后端與第一直線模組滑臺的外殼側(cè)壁固定連接，兩個風(fēng)琴罩的內(nèi)端分別固定連接在第一直線模組滑臺的前后端，安裝組件連接在第一直線模組滑臺的滑塊上。

8、更進(jìn)一步的，所述安裝組件包括安裝板、圓臺、連接支架、固定塊和電機，安裝板固定連接在第一直線模組滑臺的滑塊上，安裝板的上端固定連接有圓臺，圓臺的上端固定連接有連接支架，連接支架的上端內(nèi)壁固定連接有電機，電機的輸出端與擺動組件連接，圓臺的前后端均固定連接有固定塊，固定塊與擺動組件連接。

9、更進(jìn)一步的，所述擺動組件包括凸塊、旋轉(zhuǎn)件、連接件、轉(zhuǎn)軸和載盤，凸塊的后端固定連接有旋轉(zhuǎn)件，旋轉(zhuǎn)件的上端固定連接有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸的外端穿過連接件的中端并與連接件固定連接，旋轉(zhuǎn)件的上端固定連接有載盤。

10、更進(jìn)一步的，電機的輸出端穿過連接支架并與凸塊固定連接，固定塊的內(nèi)端分別與連接件的前后端轉(zhuǎn)動連接。

11、更進(jìn)一步的，所述接線組件包括大理石立柱、走線孔和第二線束連接器，大理石立柱固定連接在大理石平臺的上端右側(cè)，大理石立柱的內(nèi)端開設(shè)有走線孔，大理石平臺的右端固定連接有第二線束連接器。

12、更進(jìn)一步的，所述緩沖組件包括硬限位件和油壓緩沖器，第一直線模組滑臺的右端和第二直線模組滑臺的前端均固定連接有多個硬限位件，硬限位件上均固定連接有油壓緩沖器。

13、本實用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下優(yōu)點：

14、(1)本實用新型風(fēng)琴罩的設(shè)置有效的減少了粉塵、顆粒等異物對直驅(qū)核心部件的影響，減少維護(hù)成本；

15、(2)本實用新型擺動時，啟動晶圓安裝組件的安裝組件的電機，電機帶動擺動組件的凸塊轉(zhuǎn)動，凸塊帶動旋轉(zhuǎn)件在固定塊、連接件和轉(zhuǎn)軸共同的作用下擺動，旋轉(zhuǎn)件帶動載盤擺動，從而帶動晶圓擺動；

16、(3)本實用新型可以在晶圓檢測過程中擺動晶圓，可以使檢測系統(tǒng)能夠從不同的角度觀察晶圓表面，確保檢測系統(tǒng)能夠全面、準(zhǔn)確地檢查晶圓表面的特征和缺陷，從而保證晶圓的質(zhì)量和可靠性；

17、(4)本實用新型使用時，將激光器、相機、光源線纜直接穿過走線孔連接到下方配電柜，走線簡單、整潔；

18、(5)本實用新型緩沖時，當(dāng)滑塊到達(dá)極限位置后，會由油壓緩沖器先卸載比較大的沖擊力后，再撞擊硬限位件，起到緩沖作用，防止因為沖撞而導(dǎo)致工件的損壞以及滑軌精度的變化。

技術(shù)特征：

1.一種應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺，包括大理石平臺(1)，其特征在于：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺，其特征在于，所述y軸驅(qū)動組件(5)包括第二直線模組滑臺(51)、第二滑軌(52)和第二拖鏈(53)，多個第二滑軌(52)均固定連接在第二直線模組滑臺(51)的外殼內(nèi)，所述第二拖鏈(53)的一端固定連接在大理石平臺(1)上，所述第二拖鏈(53)的另一端與x軸驅(qū)動組件(4)連接，所述第二直線模組滑臺(51)固定連接在大理石平臺(1)上，所述第二直線模組滑臺(51)的前后端分別與兩個風(fēng)琴罩(2)的外端固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺，其特征在于，所述x軸驅(qū)動組件(4)包括第一直線模組滑臺(41)、第一滑軌(42)、第一拖鏈(43)和第一線束連接器(44)，所述第一直線模組滑臺(41)固定連接在第二直線模組滑臺(51)的滑塊上端，多個第一滑軌(42)固定連接在第一直線模組滑臺(41)的外殼內(nèi)，所述第一拖鏈(43)一端固定連接在第一直線模組滑臺(41)的外殼上，所述第一拖鏈(43)的另一端固定連接在第一直線模組滑臺(41)的滑塊上，所述第一線束連接器(44)固定連接在第一直線模組滑臺(41)的前端外殼上，所述第二拖鏈(53)的后端與第一直線模組滑臺(41)的外殼側(cè)壁固定連接，兩個風(fēng)琴罩(2)的內(nèi)端分別固定連接在第一直線模組滑臺(41)的前后端，所述安裝組件(61)連接在第一直線模組滑臺(41)的滑塊上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺，其特征在于，所述安裝組件(61)包括安裝板(611)、圓臺(612)、連接支架(613)、固定塊(614)和電機(615)，所述安裝板(611)固定連接在第一直線模組滑臺(41)的滑塊上，所述安裝板(611)的上端固定連接有圓臺(612)，所述圓臺(612)的上端固定連接有連接支架(613)，所述連接支架(613)的上端內(nèi)壁固定連接有電機(615)，所述電機(615)的輸出端與擺動組件(62)連接，所述圓臺(612)的前后端均固定連接有固定塊(614)，所述固定塊(614)與擺動組件(62)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺，其特征在于，所述擺動組件(62)包括凸塊(621)、旋轉(zhuǎn)件(622)、連接件(623)、轉(zhuǎn)軸(624)和載盤(625)，所述凸塊(621)的后端固定連接有旋轉(zhuǎn)件(622)，所述旋轉(zhuǎn)件(622)的上端固定連接有轉(zhuǎn)軸(624)，所述轉(zhuǎn)軸(624)的外端穿過連接件(623)的中端并與連接件(623)固定連接，所述旋轉(zhuǎn)件(622)的上端固定連接有載盤(625)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺，其特征在于，電機(615)的輸出端穿過連接支架(613)并與凸塊(621)固定連接，所述固定塊(614)的內(nèi)端分別與連接件(623)的前后端轉(zhuǎn)動連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺，其特征在于，所述接線組件(7)包括大理石立柱(71)、走線孔(72)和第二線束連接器(73)，所述大理石立柱(71)固定連接在大理石平臺(1)的上端右側(cè)，所述大理石立柱(71)的內(nèi)端開設(shè)有走線孔(72)，所述大理石平臺(1)的右端固定連接有第二線束連接器(73)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺，其特征在于，所述緩沖組件(3)包括硬限位件(31)和油壓緩沖器(32)，所述第一直線模組滑臺(41)的右端和第二直線模組滑臺(51)的前端均固定連接有多個硬限位件(31)，所述硬限位件(31)上均固定連接有油壓緩沖器(32)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種應(yīng)用于半導(dǎo)體的龍門十字直驅(qū)平臺，屬于直驅(qū)電機技術(shù)領(lǐng)域，包括大理石平臺，還包括用于Y軸移動的Y軸驅(qū)動組件、用于X軸移動的X軸驅(qū)動組件、用于防塵的風(fēng)琴罩、用于擺動晶圓的晶圓安裝組件、用于梳理線路的接線組件和用于緩沖的緩沖組件，晶圓安裝組件包括安裝組件和擺動組件。通過上述方式，本技術(shù)可以在晶圓檢測過程中擺動晶圓，可以使檢測系統(tǒng)能夠從不同的角度觀察晶圓表面，確保檢測系統(tǒng)能夠全面、準(zhǔn)確地檢查晶圓表面的特征和缺陷，從而保證晶圓的質(zhì)量和可靠性；使用時，將激光器、相機、光源線纜直接穿過走線孔連接到下方配電柜，走線簡單、整潔。

技術(shù)研發(fā)人員：耿新紅,張賀,付芳偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海奧茵紳機電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240115
技術(shù)公布日：2024/12/19