本技術(shù)涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體涉及一種結(jié)構(gòu)片的固定裝置。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有離子束刻蝕機(jī)臺使用卡爪式固定環(huán)固定方式，工藝過程當(dāng)中，為了使結(jié)構(gòu)片與加工平臺充分均勻接觸，使用卡爪式固定，卡爪材料為不銹鋼合金，該機(jī)臺工藝是使用離子束刻蝕原理，故而當(dāng)工藝使用時間增加和離子束能量體的累積，固定環(huán)的卡爪會被離子束轟擊，導(dǎo)致卡爪變薄變形，導(dǎo)致存在碎片風(fēng)險。

2、因此，有必要提供一種新的技術(shù)方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，本實(shí)用新型公開了一種結(jié)構(gòu)片的固定裝置，具體技術(shù)方案如下所述：

2、本實(shí)用新型提供一種結(jié)構(gòu)片的固定裝置，包括罩殼、固定環(huán)和工作臺，

3、所述罩殼位置固定，

4、所述工作臺設(shè)置在所述罩殼的下方，所述工作臺可上下移動，

5、所述結(jié)構(gòu)片放置在所述工作臺上，

6、所述固定環(huán)設(shè)置在所述罩殼下方且和所述罩殼可拆卸式固定，

7、所述結(jié)構(gòu)片夾緊在上升的所述工作臺和所述固定環(huán)之間。

8、進(jìn)一步的，所述罩殼包括圓形豎直設(shè)置的側(cè)壁和自所述側(cè)壁頂部向其內(nèi)部呈環(huán)狀水平延伸的頂板，所述頂板上均勻設(shè)置有多個螺紋通孔，

9、所述固定環(huán)上對應(yīng)所述螺紋通孔的位置也對應(yīng)設(shè)置有螺紋盲孔，螺紋盲孔內(nèi)設(shè)置有固定螺絲，所述固定螺絲穿過所述頂板上的螺紋通孔伸進(jìn)螺紋盲孔中將所述固定環(huán)和所述罩殼連接固定。

10、進(jìn)一步的，所述固定環(huán)整體為環(huán)形形狀，所述固定環(huán)的截面形狀包括上窄下寬的梯形，梯形的豎直面為所述固定環(huán)的外壁，梯形的坡形面為內(nèi)壁。

11、進(jìn)一步的，所述固定環(huán)的頂部內(nèi)側(cè)邊緣和所述罩殼頂板的內(nèi)側(cè)邊緣大小相同且在豎直方向上重合，所述固定環(huán)內(nèi)側(cè)的坡形面自所述頂板內(nèi)側(cè)的邊緣向下向外延伸。

12、本實(shí)用新型具有以下有益效果：

13、1、本實(shí)用新型提供的結(jié)構(gòu)片的固定裝置，結(jié)構(gòu)簡單，便于實(shí)施操作。

14、2、本實(shí)用新型提供的結(jié)構(gòu)片的固定裝置，改善固定環(huán)結(jié)構(gòu)，將卡爪式固定環(huán)優(yōu)化成整圓型固定環(huán)，接觸面為一整體，即使受離子束轟擊變薄，也不存在變形，從而解決碎片風(fēng)險。

15、本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種結(jié)構(gòu)片的固定裝置，其特征在于，包括罩殼、固定環(huán)和工作臺，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu)片的固定裝置，其特征在于，所述罩殼包括圓形豎直設(shè)置的側(cè)壁和自所述側(cè)壁頂部向其內(nèi)部呈環(huán)狀水平延伸的頂板，所述頂板上均勻設(shè)置有多個螺紋通孔，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的結(jié)構(gòu)片的固定裝置，其特征在于，所述固定環(huán)整體為環(huán)形形狀，所述固定環(huán)的截面形狀包括上窄下寬的梯形，梯形的豎直面為所述固定環(huán)的外壁，梯形的坡形面為內(nèi)壁。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的結(jié)構(gòu)片的固定裝置，其特征在于，所述固定環(huán)的頂部內(nèi)側(cè)邊緣和所述罩殼頂板的內(nèi)側(cè)邊緣大小相同且在豎直方向上重合，所述固定環(huán)內(nèi)側(cè)的坡形面自所述頂板內(nèi)側(cè)的邊緣向下向外延伸。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種結(jié)構(gòu)片的固定裝置，包括罩殼、固定環(huán)和工作臺，所述罩殼位置固定，所述工作臺設(shè)置在所述罩殼的下方，所述工作臺可上下移動，所述結(jié)構(gòu)片放置在所述工作臺上，所述固定環(huán)設(shè)置在所述罩殼下方且和所述罩殼可拆卸式固定，所述結(jié)構(gòu)片夾緊在上升的所述工作臺和所述固定環(huán)之間。本技術(shù)將卡爪式固定環(huán)優(yōu)化成整圓型固定環(huán)，接觸面為一整體，即使受離子束轟擊變薄，也不存在變形，從而解決碎片風(fēng)險。

技術(shù)研發(fā)人員：李正峰,熊燦,馬平
受保護(hù)的技術(shù)使用者：美新半導(dǎo)體（紹興）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240130
技術(shù)公布日：2024/10/21