本技術(shù)涉及玻璃微孔制造，尤其涉及一種玻璃微孔的制備裝置。

背景技術(shù)：

1、隨著先進(jìn)電路封裝集成技術(shù)的出現(xiàn)，可以提供系統(tǒng)級(jí)電路架構(gòu)方法，在芯片電路系統(tǒng)內(nèi)部存在多個(gè)平面器件層的堆疊，經(jīng)由硅通孔，在垂直方向?qū)崿F(xiàn)互連，大幅縮小了芯片尺寸，且提高了芯片的晶體管密度，改善了層間電氣互連性能，提升了芯片運(yùn)行速度，降低了芯片的功耗。玻璃通孔是一種可以替代硅通孔的解決方案。其成本更低、具有優(yōu)良的高頻電學(xué)特征并且超薄玻璃襯底更容易被獲得。但是高質(zhì)量的玻璃微孔制備仍然面臨技術(shù)難點(diǎn)。

2、玻璃通孔通常的制備方法包括噴砂法、光敏玻璃法、聚焦放電法、激光燒蝕法等。這些方法仍然面臨成本高、工藝復(fù)雜、加工精度低、存在微裂紋等問(wèn)題。專利cn112864026公開(kāi)了一種激光結(jié)合hf濕刻蝕加工tgv通孔的工藝。采用激光先打小孔，再由hf擴(kuò)孔的辦法加工玻璃微孔。但是仍然面臨加工速度慢、成本高等問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是提供一種玻璃微孔的制備裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中所存在的一個(gè)或多個(gè)技術(shù)問(wèn)題，至少提供一種有益的選擇或創(chuàng)造條件。

2、本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述實(shí)用新型目的采用如下技術(shù)方案：

3、本實(shí)用新型提供了一種玻璃微孔的制備裝置，包括液體容器、激光掃描系統(tǒng)和超聲波發(fā)生裝置；

4、所述液體容器盛裝有腐蝕液；

5、所述激光掃描系統(tǒng)用于對(duì)浸沒(méi)在所述液體容器中的玻璃進(jìn)行激光照射；

6、所述超聲波發(fā)生裝置用于對(duì)所述液體容器中的腐蝕液進(jìn)行超聲振蕩。

7、進(jìn)一步地，所述激光掃描系統(tǒng)包括激光器和光路掃描系統(tǒng)；

8、所述激光器用于發(fā)出脈沖激光光束，并通過(guò)所述光路掃描系統(tǒng)在所述液體容器中的玻璃表面掃描激光束，以形成微孔陣列。

9、進(jìn)一步地，所述激光器選用紅外皮秒激光器或紅外飛秒激光器。

10、進(jìn)一步地，所述激光器輸出的脈沖激光光束的波長(zhǎng)的取值范圍為1020-1080nm。

11、進(jìn)一步地，所述光路掃描系統(tǒng)包括沿激光光路依次排列的反射鏡、振鏡和場(chǎng)鏡；

12、所述反射鏡、振鏡和場(chǎng)鏡位于所述液體容器的上方。

13、進(jìn)一步地，所述液體容器設(shè)置有用于固定玻璃的支架，當(dāng)玻璃被固定在所述支架上時(shí)，液面至少高于所述玻璃上表面50μm。

14、進(jìn)一步地，所述制備裝置還包括機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)；

15、所述機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)位于所述激光掃描系統(tǒng)的上方，用于對(duì)加工樣品和光束進(jìn)行定位。

16、進(jìn)一步地，所述液體容器內(nèi)的腐蝕液選用hf或koh溶液。

17、本實(shí)用新型的有益效果如下：

18、本實(shí)用新型對(duì)浸沒(méi)在酸或堿溶液中的玻璃進(jìn)行激光照射，由于微爆裂和光致壓力動(dòng)力學(xué)等效果，改善腐蝕液流動(dòng)性和滲透深度，較傳統(tǒng)可以加工出更小的孔徑直徑，并具有更好的微孔形貌。

技術(shù)特征：

1.一種玻璃微孔的制備裝置，其特征在于，包括液體容器、激光掃描系統(tǒng)和超聲波發(fā)生裝置；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃微孔的制備裝置，其特征在于，所述激光掃描系統(tǒng)包括激光器和激光掃描系統(tǒng)；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種玻璃微孔的制備裝置，其特征在于，所述激光器選用紅外皮秒激光器或紅外飛秒激光器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種玻璃微孔的制備裝置，其特征在于，所述激光器輸出的脈沖激光光束的波長(zhǎng)的取值范圍為1020-1080nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃微孔的制備裝置，其特征在于，所述激光掃描系統(tǒng)包括沿激光光路依次排列的反射鏡、振鏡和場(chǎng)鏡；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃微孔的制備裝置，其特征在于，所述液體容器設(shè)置有用于固定玻璃的支架，當(dāng)玻璃被固定在所述支架上時(shí)，液面至少高于所述玻璃上表面50μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃微孔的制備裝置，其特征在于，所述制備裝置還包括機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)；

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃微孔的制備裝置，其特征在于，所述液體容器內(nèi)的腐蝕液選用hf或koh溶液。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種玻璃微孔的制備裝置，包括液體容器、激光掃描系統(tǒng)和超聲波發(fā)生裝置；液體容器盛裝有腐蝕液；激光掃描系統(tǒng)用于對(duì)浸沒(méi)在所述液體容器中的玻璃進(jìn)行激光照射；超聲波發(fā)生裝置用于對(duì)液體容器中的腐蝕液進(jìn)行超聲振蕩。本技術(shù)對(duì)浸沒(méi)在酸或堿溶液中的玻璃進(jìn)行激光照射，由于微爆裂和光致壓力動(dòng)力學(xué)等效果，改善腐蝕液流動(dòng)性和滲透深度，較傳統(tǒng)可以加工出更小的孔徑直徑，并具有更好的微孔形貌。

技術(shù)研發(fā)人員：李夏,蔣立佳,蔣仕彬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：杭州銀湖激光科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240203
技術(shù)公布日：2024/10/21