本技術(shù)涉及半導(dǎo)體設(shè)備，特別是涉及一種水平調(diào)節(jié)機構(gòu)、晶圓取放平臺及晶圓加工設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、晶圓加工設(shè)備，例如化學(xué)機械平坦化(chemical?mechanical?planarization,cmp)設(shè)備或減薄設(shè)備等，一般包括用于提供或接收晶圓的晶圓取放平臺。為了確保機械手能夠順利的取走晶圓取放平臺上的晶圓或者將晶圓放置于晶圓取放平臺，對晶圓取放平臺的水平度要求較高。

2、然而，現(xiàn)有技術(shù)中晶圓取放平臺的水平度調(diào)節(jié)操作過程復(fù)雜，尤其是空間受限的條件下，嚴(yán)重影響生產(chǎn)效率。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、基于此，有必要針對現(xiàn)有技術(shù)中晶圓取放平臺的水平度調(diào)節(jié)操作過程復(fù)雜，尤其是空間受限的條件下，嚴(yán)重影響生產(chǎn)效率的問題，提供一種改善上述缺陷的水平調(diào)節(jié)機構(gòu)、晶圓取放平臺及晶圓加工設(shè)備。

2、一種水平調(diào)節(jié)機構(gòu)，用于將支撐板鎖緊在底板上，所述水平調(diào)節(jié)機構(gòu)包括：

3、調(diào)節(jié)螺釘，包括第一螺紋桿及固接在所述第一螺紋桿一端的第一頭部，所述第一螺紋桿背離所述第一頭部的一端貫穿所述支撐板，并與所述底板抵接，且所述第一螺紋桿與所述支撐板螺紋連接；

4、鎖緊螺釘，包括第二螺紋桿及固接在所述第二螺紋桿一端的第二頭部，所述第二螺紋桿背離所述第二頭部的一端依次貫穿所述第一頭部和所述第一螺紋桿，并與所述底板螺紋連接；

5、彈性件，抵接在所述第一頭部與所述第二頭部之間。

6、在其中一個實施例中，所述水平調(diào)節(jié)機構(gòu)還包括鎖緊螺母，所述鎖緊螺母套設(shè)在所述第一螺紋桿外，并與所述第一螺紋桿螺紋連接，且位于所述支撐板背離所述底板的一側(cè)。

7、在其中一個實施例中，所述彈性件為彈簧墊片。

8、在其中一個實施例中，所述水平調(diào)節(jié)機構(gòu)還包括平墊圈，所述平墊圈套設(shè)在所述第二螺紋桿外，且抵接在所述第一頭部與所述彈性件之間。

9、在其中一個實施例中，所述鎖緊螺釘為內(nèi)六角圓柱頭螺釘。

10、在其中一個實施例中，所述調(diào)節(jié)螺釘為中空的外六角螺釘。

11、一種晶圓取放平臺，包括底板、支撐板、臺面板、晶圓盒以及至少兩個如上任一實施例中所述的水平調(diào)節(jié)機構(gòu)；

12、所述臺面板安裝在所述支撐板上，所述晶圓盒設(shè)置在所述臺面板上。

13、在其中一個實施例中，所述晶圓取放平臺還包括固定機構(gòu)，所述固定機構(gòu)連接在所述支撐板與所述底板之間，用于鎖緊固定所述支撐板與所述底板；

14、所述固定機構(gòu)和各個所述水平調(diào)節(jié)機構(gòu)沿所述支撐板的周向間隔布設(shè)。

15、在其中一個實施例中，所述固定機構(gòu)包括定位套和固定螺釘，所述定位套抵接在所述底板與所述支撐板之間，所述固定螺釘包括第三螺紋桿和固接在所述第三螺紋桿一端的第三頭部，所述第三螺紋桿貫穿所述支撐板和所述定位套，并與所述底板螺紋連接。

16、一種晶圓加工設(shè)備，包括如上任一實施例中所述的晶圓取放平臺。

17、上述水平調(diào)節(jié)機構(gòu)、晶圓取放平臺及晶圓加工設(shè)備，在實際使用時，利用鎖緊螺釘將彈性件、調(diào)節(jié)螺釘、支撐板和底板鎖緊，由于彈性件具有彈性變形的特性，使得調(diào)節(jié)螺釘不至于被完全壓死，即調(diào)節(jié)螺釘能夠在外力的作用下被旋擰。當(dāng)需要調(diào)節(jié)晶圓盒的水平度時，旋擰調(diào)節(jié)螺釘?shù)牡谝活^部，使得調(diào)節(jié)螺釘?shù)牡谝宦菁y桿利用螺紋帶動支撐板相對底板上下移動，從而使得支撐板相對底板進行角度調(diào)整，底板再帶動臺面板進行角度調(diào)整，臺面板再帶動晶圓盒進行角度調(diào)整，即實現(xiàn)了晶圓盒的水平度調(diào)節(jié)。

18、如此，本申請的水平調(diào)節(jié)機構(gòu)只需要旋擰調(diào)節(jié)螺釘?shù)牡谝活^部即可實現(xiàn)晶圓盒的水平度調(diào)節(jié)，操作方便快捷，尤其是在空間受限的條件下，大大提高了生產(chǎn)效率。

技術(shù)特征：

1.一種水平調(diào)節(jié)機構(gòu)，用于將支撐板(20)鎖緊在底板(10)上，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)機構(gòu)(50)包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)機構(gòu)，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)機構(gòu)(50)還包括鎖緊螺母(54)，所述鎖緊螺母(54)套設(shè)在所述第一螺紋桿(510)外，并與所述第一螺紋桿(510)螺紋連接，且位于所述支撐板(20)背離所述底板(10)的一側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)機構(gòu)，其特征在于，所述彈性件(53)為彈簧墊片。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)機構(gòu)，其特征在于，所述水平調(diào)節(jié)機構(gòu)(50)還包括平墊圈(55)，所述平墊圈(55)套設(shè)在所述第二螺紋桿(520)外，且抵接在所述第一頭部(512)與所述彈性件(53)之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)機構(gòu)，其特征在于，所述鎖緊螺釘(52)為內(nèi)六角圓柱頭螺釘。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水平調(diào)節(jié)機構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)螺釘(51)為中空的外六角螺釘。

7.一種晶圓取放平臺，其特征在于，包括底板(10)、支撐板(20)、臺面板(30)、晶圓盒(40)以及至少兩個如權(quán)利要求1至6任一項所述的水平調(diào)節(jié)機構(gòu)(50)；

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓取放平臺，其特征在于，所述晶圓取放平臺還包括固定機構(gòu)(60)，所述固定機構(gòu)(60)連接在所述支撐板(20)與所述底板(10)之間，用于鎖緊固定所述支撐板(20)與所述底板(10)；

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓取放平臺，其特征在于，所述固定機構(gòu)(60)包括定位套(61)和固定螺釘(62)，所述定位套(61)抵接在所述底板(10)與所述支撐板(20)之間，所述固定螺釘(62)包括第三螺紋桿和固接在所述第三螺紋桿一端的第三頭部，所述第三螺紋桿貫穿所述支撐板(20)和所述定位套(61)，并與所述底板(10)螺紋連接。

10.一種晶圓加工設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求7至9任一項所述的晶圓取放平臺。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種水平調(diào)節(jié)機構(gòu)、晶圓取放平臺及晶圓加工設(shè)備。該水平調(diào)節(jié)機構(gòu)包括：調(diào)節(jié)螺釘，包括第一螺紋桿及固接在第一螺紋桿一端的第一頭部，第一螺紋桿背離第一頭部的一端貫穿支撐板，并與底板抵接，且第一螺紋桿與支撐板螺紋連接；鎖緊螺釘，包括第二螺紋桿及固接在第二螺紋桿一端的第二頭部，第二螺紋桿背離第二頭部的一端依次貫穿第一頭部和第一螺紋桿，并與底板螺紋連接；彈性件，抵接在第一頭部與第二頭部之間。如此，本申請的水平調(diào)節(jié)機構(gòu)只需要旋擰調(diào)節(jié)螺釘?shù)牡谝活^部即可實現(xiàn)晶圓盒的水平度調(diào)節(jié)，操作方便快捷，尤其是在空間受限的條件下，大大提高了生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：翁燕
受保護的技術(shù)使用者：吉姆西半導(dǎo)體科技（無錫）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240305
技術(shù)公布日：2024/11/21