本技術(shù)涉及驅(qū)動傳輸，尤其涉及一種移動臺。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有技術(shù)中，光學(xué)或半導(dǎo)體加工制造時通常采用傳統(tǒng)的傳動結(jié)構(gòu)以對待加工件實現(xiàn)小角度轉(zhuǎn)動，通常情況下傳統(tǒng)的傳動結(jié)構(gòu)包括電機搭載滾珠絲桿組合或者電機搭載齒輪齒條作組合，盡管傳統(tǒng)的傳動結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)小角度轉(zhuǎn)動的目的，但該種傳動結(jié)構(gòu)精度低且占用的空間較大。

2、因此，亟需一種移動臺，以解決上述技術(shù)問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提出一種移動臺，能夠提高傳動精度，且占用空間小。

2、為達(dá)此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

3、移動臺，包括：

4、固定座和移動座，所述移動座設(shè)置于所述固定座的上方，所述移動座能夠相對于所述固定座沿第一方向弧線形移動；

5、交叉滾子導(dǎo)軌，所述交叉滾子導(dǎo)軌包括第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌和所述第二導(dǎo)軌均設(shè)置有弧形滑槽，所述弧形滑槽的弧形開口均朝向所述固定座或所述移動座，所述第一導(dǎo)軌與所述第二導(dǎo)軌二者中，其中一者與所述固定座固定連接，另一者與所述移動座固定連接；

6、直線電機，所述直線電機包括磁軌和線圈，所述磁軌固定設(shè)置于所述移動座朝向所述固定座的一側(cè)，所述線圈設(shè)置于所述固定座朝向所述移動座的一側(cè)，所述線圈與所述磁軌均為弧形結(jié)構(gòu)，且所述線圈與所述磁軌的弧形開口朝向與所述弧形滑槽的弧形開口朝向相同。

7、作為上述移動臺的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述移動座朝向所述固定座的一側(cè)設(shè)置有第一容納槽，所述磁軌設(shè)置于所述第一容納槽內(nèi)。

8、作為上述移動臺的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述移動座朝向所述固定座的一側(cè)設(shè)置有第二容納槽，所述第一導(dǎo)軌和所述第二導(dǎo)軌中的一個設(shè)置于所述第二容納槽內(nèi)。

9、作為上述移動臺的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述第一容納槽與所述第二容納槽連通。

10、作為上述移動臺的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述固定座朝向所述移動座的一側(cè)設(shè)置有第三容納槽，所述線圈設(shè)置于所述第三容納槽內(nèi)。

11、作為上述移動臺的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述固定座朝向所述移動座的一側(cè)還設(shè)置有避讓槽，所述避讓槽的槽底設(shè)置有所述第三容納槽。

12、作為上述移動臺的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述固定座朝向所述移動座的一側(cè)設(shè)置有第四容納槽，所述第一導(dǎo)軌和所述第二導(dǎo)軌中的另一個設(shè)置于所述第四容納槽內(nèi)。

13、作為上述移動臺的一種優(yōu)選技術(shù)方案，還包括光學(xué)反饋結(jié)構(gòu)，所述光學(xué)反饋結(jié)構(gòu)能夠識別所述移動座的轉(zhuǎn)動角度。

14、作為上述移動臺的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述光學(xué)反饋結(jié)構(gòu)包括編碼器讀頭和光柵尺，所述編碼器讀頭固定設(shè)置于所述固定座的一端，所述光柵尺設(shè)置于所述移動座的一端，且所述編碼器讀頭與所述光柵尺配合。

15、作為上述移動臺的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述移動座朝向所述固定座的底面向所述固定座凸設(shè)有弧形凸起，所述弧形凸起的底面為弧形面，所述固定座的頂部的兩端設(shè)置有與所述弧形凸起配合的弧形槽，所述弧形凸起的弧形工作面所在軌跡圓的直徑與所述弧形槽所在軌跡圓的直徑相同，所述弧形凸起能夠伸入所述弧形槽形成的空間內(nèi)并在所述弧形槽內(nèi)沿第一方向擺動。

16、本實用新型至少具有以下有益效果：

17、直線電機包括線圈和磁軌，這樣磁軌與線圈相互配合能夠使移動座相對于固定座往復(fù)移動，由于第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌均設(shè)置有弧形滑槽，這樣第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌在工作時，能夠使移動座相對于固定座沿弧形軌跡滑動，從而使設(shè)置在移動座上的物品可實現(xiàn)弧形移動，由于直線電機能夠保證移動座的移動精度，因此本實施例提供的移動座精度相較于現(xiàn)有技術(shù)而言提高，同時直線電機設(shè)置在固定座與移動座之間，避免了直線電機占用額外的空間，相較于現(xiàn)有技術(shù)而言結(jié)構(gòu)更為緊湊。

技術(shù)特征：

1.移動臺，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動臺，其特征在于，所述移動座(2)朝向所述固定座(1)的一側(cè)設(shè)置有第一容納槽(21)，所述磁軌(41)設(shè)置于所述第一容納槽(21)內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的移動臺，其特征在于，所述移動座(2)朝向所述固定座(1)的一側(cè)設(shè)置有第二容納槽(22)，所述第一導(dǎo)軌(31)和所述第二導(dǎo)軌(32)中的一個設(shè)置于所述第二容納槽(22)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的移動臺，其特征在于，所述第一容納槽(21)與所述第二容納槽(22)連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動臺，其特征在于，所述固定座(1)朝向所述移動座(2)的一側(cè)設(shè)置有第三容納槽(11)，所述線圈(42)設(shè)置于所述第三容納槽(11)內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的移動臺，其特征在于，所述固定座(1)朝向所述移動座(2)的一側(cè)還設(shè)置有避讓槽(12)，所述避讓槽(12)的槽底設(shè)置有所述第三容納槽(11)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的移動臺，其特征在于，所述固定座(1)朝向所述移動座(2)的一側(cè)設(shè)置有第四容納槽(13)，所述第一導(dǎo)軌(31)和所述第二導(dǎo)軌(32)中的另一個設(shè)置于所述第四容納槽(13)內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動臺，其特征在于，還包括光學(xué)反饋結(jié)構(gòu)(5)，所述光學(xué)反饋結(jié)構(gòu)(5)能夠識別所述移動座(2)的轉(zhuǎn)動角度。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的移動臺，其特征在于，所述光學(xué)反饋結(jié)構(gòu)(5)包括編碼器讀頭(51)和光柵尺(52)，所述編碼器讀頭(51)固定設(shè)置于所述固定座(1)的一端，所述光柵尺(52)設(shè)置于所述移動座(2)的一端，且所述編碼器讀頭(51)與所述光柵尺(52)配合。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動臺，其特征在于，所述移動座(2)朝向所述固定座(1)的底面向所述固定座(1)凸設(shè)有弧形凸起(23)，所述弧形凸起(23)的底面為弧形面，所述固定座(1)的頂部的兩端設(shè)置有與所述弧形凸起(23)配合的弧形槽(14)，所述弧形凸起(23)的弧形工作面所在軌跡圓的直徑與所述弧形槽(14)所在軌跡圓的直徑相同，所述弧形凸起(23)能夠伸入所述弧形槽(14)形成的空間內(nèi)并在所述弧形槽(14)內(nèi)沿第一方向擺動。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及驅(qū)動傳輸技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種移動臺。移動臺包括固定座、移動座、交叉滾子導(dǎo)軌和直線電機，直線電機包括線圈和磁軌，這樣磁軌與線圈相互配合能夠使移動座相對于固定座往復(fù)移動，由于第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌均設(shè)置有弧形滑槽，這樣第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌在工作時，能夠使移動座相對于固定座沿弧形軌跡滑動，從而使設(shè)置在移動座上的物品可實現(xiàn)弧形移動，由于直線電機能夠保證移動座的移動精度，因此本技術(shù)提供的移動座精度相較于現(xiàn)有技術(shù)而言提高，同時直線電機設(shè)置在固定座與移動座之間，避免了直線電機占用額外的空間，相較于現(xiàn)有技術(shù)而言結(jié)構(gòu)更為緊湊。

技術(shù)研發(fā)人員：張伯涵,黃華,龔政,萬磊
受保護的技術(shù)使用者：雅科貝思精密機電（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240311
技術(shù)公布日：2024/12/19