本技術(shù)涉及硅晶圓檢測夾具，具體涉及一種硅晶圓檢測夾具。

背景技術(shù)：

1、硅晶圓是硅元素加以純化，并將這些純硅制成長硅晶棒，成為制造積體電路的石英半導(dǎo)體的材料，經(jīng)過照相制版，研磨，拋光，切片等程序，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圓，我們會聽到幾寸的晶圓廠，如果硅晶圓的直徑越大，代表著這座晶圓廠有較好的技術(shù)，另外還有可以將電晶體與導(dǎo)線的尺寸縮小的技術(shù)，這兩種方式都可以在一片晶圓上，制作出更多的硅晶粒，提高品質(zhì)與降低成本，尺寸越高的晶圓，其產(chǎn)能越高，當(dāng)然生產(chǎn)晶圓的過程當(dāng)中，良品率是很重要的條件。

2、例如申請?zhí)枮?01920332262.6的中國專利申請中提供的一種硅晶圓檢測用夾具，包括底座，所述底座上端固定連接有伸縮桿，所述伸縮桿上端固定連接有固定板，所述固定板內(nèi)設(shè)有腔室，所述腔室頂面設(shè)有開口，所述腔室內(nèi)設(shè)有移動件，所述移動件貫穿開口設(shè)置，所述移動件位于腔室外的一端上設(shè)有夾持件,該技術(shù)方案通過設(shè)置的彈簧伸縮桿和夾持塊，能夠有效的對硅晶圓本體進(jìn)行夾持固定，同時能夠?qū)杈A本體提供一定的緩沖保護(hù)，通過轉(zhuǎn)動旋鈕帶動兩塊活動塊相對移動，并帶動夾持件對不同尺寸的硅晶圓本體進(jìn)行夾持固定，操作方便且實(shí)用。

3、然而，該技術(shù)方案中仍然存在以下問題：該技術(shù)方案中如果需要觀察硅晶圓的背面時，需要將硅晶圓從夾持件上取下，對硅晶圓進(jìn)行翻面，再將其通過夾持件固定，該操作過程，過于繁瑣，切浪費(fèi)時間，降低了硅晶圓的檢測效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是提供一種硅晶圓檢測夾具，通過轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)能夠?qū)杈A進(jìn)行轉(zhuǎn)動，方便工作人員對硅晶圓的另一面進(jìn)行檢測，還通過支撐機(jī)構(gòu)能夠?qū)杈A進(jìn)行支撐，增加硅晶圓的穩(wěn)定性，以解決技術(shù)中的上述不足之處。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種硅晶圓檢測夾具，包括工作臺，所述工作臺頂部設(shè)有硅晶圓，所述工作臺頂部設(shè)有帶動硅晶圓轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)。

3、優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括設(shè)在工作臺頂部的兩個放置架，兩個所述放置架分別位于硅晶圓的兩側(cè)，所述工作臺頂部兩側(cè)均固定設(shè)有支撐板，所述放置架靠近支撐板的一側(cè)固定設(shè)有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸靠近支撐板的一端貫穿支撐板并延伸出支撐板一側(cè)，所述支撐板與轉(zhuǎn)軸通過軸承活動連接，延伸出所述支撐板一側(cè)的轉(zhuǎn)軸一端固定設(shè)有第一把手，用于帶動硅晶圓轉(zhuǎn)動。

4、優(yōu)選的，延伸出所述支撐板一側(cè)的轉(zhuǎn)軸一端貫穿設(shè)有限位板，靠近所述限位板的支撐板頂部和底部均開設(shè)有第二安裝孔，所述限位板底部開設(shè)有第一安裝孔，相連通的所述第二安裝孔和第一安裝孔內(nèi)部插接有同一個插接桿，用于對轉(zhuǎn)軸進(jìn)行固定。

5、優(yōu)選的，所述工作臺頂部設(shè)有對硅晶圓進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)構(gòu)包括放置架內(nèi)部開設(shè)的放置槽，所述放置槽內(nèi)部設(shè)有固定板，所述固定板底部固定設(shè)有橡膠墊，所述固定板頂部固定設(shè)有第一螺紋桿，所述第一螺紋桿頂端貫穿放置架并延伸出放置架頂部，所述第一螺紋桿與放置架通過螺紋連接，所述第一螺紋桿頂端固定設(shè)有第二把手，所述固定板頂部兩側(cè)均固定設(shè)有限位桿，所述限位桿頂端貫穿放置架并延伸出放置架頂部，用于對硅晶圓進(jìn)行固定。

6、優(yōu)選的，所述工作臺頂部設(shè)有對硅晶圓進(jìn)行支撐的支撐機(jī)構(gòu)，所述支撐機(jī)構(gòu)包括設(shè)在工作臺頂部的放置板，所述硅晶圓底部與放置板頂部相接觸，所述工作臺內(nèi)部通過軸承活動連接有螺紋筒，所述放置板底部固定設(shè)有第二螺紋桿，所述第二螺紋桿底端貫穿第二螺紋桿并延伸出工作臺底部，所述第二螺紋桿與螺紋筒通過螺紋連接，所述螺紋筒外部貫穿設(shè)有蝸輪，所述蝸輪一側(cè)嚙合有蝸桿，所述蝸桿前端貫穿工作臺并延伸出工作臺前側(cè)，所述蝸桿與工作臺通過軸承活動連接，所述蝸桿前端固定設(shè)有第三把手，用于對硅晶圓進(jìn)行支撐。

7、在上述技術(shù)方案中，本實(shí)用新型提供的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)：

8、1、通過固定機(jī)構(gòu)將硅晶圓夾持在兩個放置架之間，然后轉(zhuǎn)動第一把手，第一把手能夠帶動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動能夠帶動放置架轉(zhuǎn)動，利用放置架轉(zhuǎn)動就能夠?qū)杈A進(jìn)行轉(zhuǎn)動，方便工作人員對硅晶圓的另一面進(jìn)行檢測；

9、2、轉(zhuǎn)動第三把手，第三把手能夠帶動蝸桿轉(zhuǎn)動，利用蝸輪帶動螺紋筒轉(zhuǎn)動，螺紋筒轉(zhuǎn)動能夠帶動第二螺紋桿移動，第二螺紋桿能夠帶動放置板上下移動，將放置板推動至硅晶圓底部，對硅晶圓進(jìn)行支撐，增加硅晶圓的穩(wěn)定性。

技術(shù)特征：

1.一種硅晶圓檢測夾具，包括工作臺(1)，其特征在于：所述工作臺(1)頂部設(shè)有硅晶圓(2)，所述工作臺(1)頂部設(shè)有帶動硅晶圓(2)轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)(3)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶圓檢測夾具，其特征在于：延伸出所述支撐板(308)一側(cè)的轉(zhuǎn)軸(302)一端貫穿設(shè)有限位板(304)，靠近所述限位板(304)的支撐板(308)頂部和底部均開設(shè)有第二安裝孔(306)，所述限位板(304)底部開設(shè)有第一安裝孔(305)，相連通的所述第二安裝孔(306)和第一安裝孔(305)內(nèi)部插接有同一個插接桿(307)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶圓檢測夾具，其特征在于：所述工作臺(1)頂部設(shè)有對硅晶圓(2)進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)(4)；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅晶圓檢測夾具，其特征在于：所述固定板(402)頂部兩側(cè)均固定設(shè)有限位桿(406)，所述限位桿(406)頂端貫穿放置架(301)并延伸出放置架(301)頂部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶圓檢測夾具，其特征在于：所述支撐機(jī)構(gòu)(5)包括設(shè)在工作臺(1)頂部的放置板(501)，所述硅晶圓(2)底部與放置板(501)頂部相接觸，所述工作臺(1)內(nèi)部通過軸承活動連接有螺紋筒(502)，所述放置板(501)底部固定設(shè)有第二螺紋桿(503)，所述第二螺紋桿(503)底端貫穿第二螺紋桿(503)并延伸出工作臺(1)底部，所述第二螺紋桿(503)與螺紋筒(502)通過螺紋連接，所述螺紋筒(502)外部貫穿設(shè)有蝸輪(504)，所述蝸輪(504)一側(cè)嚙合有蝸桿(505)，所述蝸桿(505)前端貫穿工作臺(1)并延伸出工作臺(1)前側(cè)，所述蝸桿(505)與工作臺(1)通過軸承活動連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種硅晶圓檢測夾具，其特征在于：所述蝸桿(505)前端固定設(shè)有第三把手(506)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種硅晶圓檢測夾具，具體涉及硅晶圓檢測夾具技術(shù)領(lǐng)域，包括工作臺，所述工作臺頂部設(shè)有硅晶圓，所述工作臺頂部設(shè)有帶動硅晶圓轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括設(shè)在工作臺頂部的兩個放置架，兩個所述放置架分別位于硅晶圓的兩側(cè)，所述工作臺頂部兩側(cè)均固定設(shè)有支撐板，延伸出所述支撐板一側(cè)的轉(zhuǎn)軸一端固定設(shè)有第一把手，所述工作臺頂部設(shè)有對硅晶圓進(jìn)行支撐的支撐機(jī)構(gòu)。本技術(shù)通過轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)能夠?qū)杈A進(jìn)行轉(zhuǎn)動，方便工作人員對硅晶圓的另一面進(jìn)行檢測，還通過支撐機(jī)構(gòu)能夠?qū)杈A進(jìn)行支撐，增加硅晶圓的穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：李茂欣
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海磐盟電子材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240315
技術(shù)公布日：2024/12/19