本技術(shù)屬于半導體封裝測試，特別是涉及一種繃膜、xy移動以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺。

背景技術(shù)：

1、半導體晶圓在進行解理時，需要將半導體晶圓放置在繃膜架繃緊的藍膜上，藍膜具有一定的張力，以保持半導體晶圓的水平度，可有效避免半導體晶圓變形或斷裂。

2、如cn204271048u所公開的晶圓承載框的加工裝置提到，傳統(tǒng)的半導體晶圓采用晶圓繃膜架并通過工人手工的方式進行操作，將藍膜手工繃緊到緊貼在藍膜架附近，再通過滾筒按壓藍膜后在繃膜架上滾動，使待藍膜與繃膜架粘牢，再手持刀具將繃膜架以外區(qū)域的藍膜切除；然而對于自動化的半導體封裝測試場景而言，通過手工的方式效率太低，而自動化的場景下，還需要對繃膜進行橫向和縱向的移動、升降動作以及旋轉(zhuǎn)動作，并且還需要對上料的鐵環(huán)進行檢測位置是否到位，但是現(xiàn)有的技術(shù)方案中并未涉及到具有上述功能和要求的結(jié)構(gòu)，效率較低；因此針對以上問題，提供一種繃膜、xy移動以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺具有重要實際意義。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型提供了一種繃膜、xy移動以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺，能夠在x、y方向上移動，并且能夠進行旋轉(zhuǎn)，從而能夠應用到自動化測試分選機上，效率高；綜上，解決了背景技術(shù)中的問題。

2、為解決上述技術(shù)問題，本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：

3、本實用新型的一種繃膜、xy移動以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺，包括臺面、安裝于臺面上由兩直線行程構(gòu)成的x向運動機構(gòu)、通過滑動配合于x向運動機構(gòu)上的四個滑塊安裝的支撐板、安裝于支撐板上由兩直線行程構(gòu)成的y向運動機構(gòu)、通過滑動配合于y向運動機構(gòu)上的四個滑塊安裝的承載臺、安裝于承載臺上的繃膜機構(gòu)、安裝于承載臺側(cè)部的旋轉(zhuǎn)電機以及與旋轉(zhuǎn)電機豎向設(shè)置的輸出軸相配合的減速機、安裝于臺面上用于對繃膜機構(gòu)進行升降動作的繃膜臺升降動力機構(gòu)；

4、所述承載臺表面位于繃膜臺底部環(huán)繞安裝有同步帶以及與同步帶張緊傳動配合的第一主驅(qū)動帶輪、第一固定惰輪、同步帶張緊惰輪、繃膜臺升降帶輪；

5、所述繃膜臺升降動力機構(gòu)包括底部由兩個直線行程構(gòu)成的橫移結(jié)構(gòu)、由滑塊配合滑動安裝于橫移機構(gòu)上部的承載板、安裝于承載板上的升降結(jié)構(gòu)、安裝于升降結(jié)構(gòu)頂部的連接板、垂直安裝于連接板上的減速電機以及通過軸承安裝的大帶輪，所述減速電機頂部設(shè)有小帶輪，大帶輪與小帶輪之間通過第一張緊同步帶傳動相連，且位于大帶輪頂部設(shè)有與第一主驅(qū)動帶輪的主轉(zhuǎn)軸底部插接槽相對應配合的限位插接柱；

6、所述繃膜機構(gòu)包括與圓形托盤、環(huán)繞設(shè)置于圓形托盤底部周側(cè)的用于提供旋轉(zhuǎn)支撐的交叉滾子軸承；所述圓形托盤內(nèi)安裝有第二惰輪，所述減速機的輸出軸端安裝有第二主驅(qū)動帶輪，所述第二主驅(qū)動帶輪、第二惰輪以及交叉滾子軸承之間通過第二張緊同步帶傳動相連。

7、進一步地，所述繃膜機構(gòu)還包括安裝于圓形托盤上部的繃膜臺；所述繃膜臺外側(cè)部開設(shè)有供鐵環(huán)frame插入的喇叭狀鐵環(huán)插入口，所述繃膜臺內(nèi)四周分別固定一塊繃膜條；位于繃膜臺的上部兩側(cè)設(shè)置有用于避讓夾子的避讓槽。

8、進一步地，所述承載臺上安裝有倒l型支架，所述倒l型支架上安裝有用于對鐵環(huán)frame位置進行辨別的傳感器；所述傳感器為光電位置傳感器。

9、進一步地，所述圓形托盤上安裝有用于繃膜臺旋轉(zhuǎn)回原點的感應片。

10、進一步地，所述x向運動機構(gòu)與y向運動機構(gòu)垂直布置。

11、進一步地，所述橫移結(jié)構(gòu)與y向運動機構(gòu)保持平齊。

12、本實用新型相對于現(xiàn)有技術(shù)包括有以下有益效果：

13、(1)工作臺可實現(xiàn)xy移動，升降繃膜以及旋轉(zhuǎn)功能，適用于自動化測試分選機上，效率高；

14、(2)能夠檢測frame是否上料到準確位置；

15、(3)frame插入繃膜臺后，繃膜臺下降，帶動膜與矩陣芯片下降，下降過程中，繃膜條不動，在繃膜條的擴展下，膜被繃緊，膜繃緊后更有利于膜上芯片的拾取，xy移動可將每可芯片移送到需要吸取芯片的固定位置，繃膜臺旋轉(zhuǎn)功能用于芯片矩陣的角度矯正；四周分別布置四個長繃膜條，比整體式環(huán)形繃膜條繃膜效果更好。

16、當然，實施本實用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時達到以上所述的所有優(yōu)點。

技術(shù)特征：

1.一種繃膜、xy移動以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺，其特征在于，包括臺面、安裝于臺面上由兩直線行程構(gòu)成的x向運動機構(gòu)(7)、通過滑動配合于x向運動機構(gòu)(7)上的四個滑塊安裝的支撐板、安裝于支撐板上由兩直線行程構(gòu)成的y向運動機構(gòu)(2)、通過滑動配合于y向運動機構(gòu)(2)上的四個滑塊安裝的承載臺、安裝于承載臺上的繃膜機構(gòu)、安裝于承載臺側(cè)部的旋轉(zhuǎn)電機(4)以及與旋轉(zhuǎn)電機(4)豎向設(shè)置的輸出軸相配合的減速機(3)、安裝于臺面上用于對繃膜機構(gòu)進行升降動作的繃膜臺升降動力機構(gòu)(1)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種繃膜、xy移動以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺，其特征在于，所述繃膜機構(gòu)還包括安裝于圓形托盤上部的繃膜臺(5)；所述繃膜臺(5)外側(cè)部開設(shè)有供鐵環(huán)插入的喇叭狀鐵環(huán)插入口(8)，所述繃膜臺(5)內(nèi)四周分別固定一塊繃膜條(9)；位于繃膜臺(5)的上部兩側(cè)設(shè)置有用于避讓夾子的避讓槽(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種繃膜、xy移動以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺，其特征在于，所述承載臺上安裝有倒l型支架，所述倒l型支架上安裝有用于對鐵環(huán)位置進行辨別的傳感器(6)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種繃膜、xy移動以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺，其特征在于，所述圓形托盤上安裝有用于繃膜臺(5)旋轉(zhuǎn)回原點的感應片(11)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種繃膜、xy移動以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺，其特征在于，所述x向運動機構(gòu)(7)與y向運動機構(gòu)(2)垂直布置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種繃膜、xy移動以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺，其特征在于，所述橫移結(jié)構(gòu)與y向運動機構(gòu)(2)保持平齊。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種繃膜、XY移動以及旋轉(zhuǎn)一體的工作臺，涉及半導體封裝測試技術(shù)領(lǐng)域。本技術(shù)包括臺面、X向運動機構(gòu)、支撐板、Y向運動機構(gòu)、承載臺、繃膜機構(gòu)、減速機、繃膜臺升降動力機構(gòu)。本技術(shù)方案的工作臺可實現(xiàn)XY移動，升降繃膜以及旋轉(zhuǎn)功能，適用于自動化測試分選機上，效率高；能夠檢測Frame是否上料到準確位置；Frame插入繃膜臺后，繃膜臺下降，帶動膜與矩陣芯片下降，下降過程中，繃膜條不動，在繃膜條的擴展下，膜被繃緊，膜繃緊后更有利于膜上芯片的拾取，XY移動可將每可芯片移送到需要吸取芯片的固定位置，繃膜臺旋轉(zhuǎn)功能用于芯片矩陣的角度矯正。

技術(shù)研發(fā)人員：張劍勝,米輝
受保護的技術(shù)使用者：上海奧電電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240419
技術(shù)公布日：2024/12/19