本技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種凈化臺(tái)及加工設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、凈化臺(tái)是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中，某些工藝設(shè)備的組成部分的統(tǒng)稱，能夠?qū)Ω邷禺a(chǎn)品進(jìn)行冷卻和凈化，廣泛應(yīng)用于集成電路、電力電子、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)等行業(yè)。在半導(dǎo)體和太陽(yáng)能電池片的制造設(shè)備中，擴(kuò)散設(shè)備、氧化設(shè)備、鍍膜設(shè)備等都包含有凈化臺(tái)設(shè)備，能夠?qū)Ω邷禺a(chǎn)品進(jìn)行冷卻和凈化。

2、目前新型電池對(duì)工藝質(zhì)量要求越來(lái)越高，有些將原有的豎直插片工藝改為水平插片，轉(zhuǎn)換后同等尺寸的舟載片量會(huì)大大降低；為保持產(chǎn)量，會(huì)將舟或者舟托的尺寸加大，重量隨之加重?，F(xiàn)有的凈化臺(tái)中，通常會(huì)設(shè)置搬舟裝置、升降裝置和推舟裝置，搬舟裝置用于承載搬運(yùn)舟或者舟托，推舟裝置用于將舟或者舟托推入熱爐，升降裝置與推舟裝置相連，且用于驅(qū)動(dòng)推舟裝置升降。升降裝置安裝在凈化臺(tái)的支架上，使得凈化臺(tái)內(nèi)部的全部結(jié)構(gòu)的重量均由凈化臺(tái)的機(jī)架承載。現(xiàn)有技術(shù)中，會(huì)通過限制舟或者舟托尺寸以及承載量來(lái)確保機(jī)架不會(huì)發(fā)生過大的變形，從而不利于設(shè)備產(chǎn)能的提升。

3、基于以上所述，亟需一種實(shí)現(xiàn)承載量較大的舟結(jié)構(gòu)的運(yùn)輸，有利于提升設(shè)備產(chǎn)能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的第一目的在于提出一種凈化臺(tái)，該凈化臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)重量較大的舟結(jié)構(gòu)的搬運(yùn)，有利于提升設(shè)備產(chǎn)能。

2、本實(shí)用新型的第二個(gè)目的在于提出一種加工設(shè)備，該加工設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)重量較大的舟結(jié)構(gòu)的搬運(yùn)，有利于提升設(shè)備產(chǎn)能。

3、為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

4、本實(shí)用新型公開了一種凈化臺(tái)，包括：機(jī)架，所述機(jī)架包括相對(duì)設(shè)置的第一側(cè)和第二側(cè)；運(yùn)輸裝置，安裝于所述機(jī)架且用于沿第一方向運(yùn)輸舟結(jié)構(gòu)；搬舟裝置，設(shè)在所述機(jī)架內(nèi)部且設(shè)在所述第一側(cè)和所述第二側(cè)之間，所述搬舟裝置包括槳支撐機(jī)構(gòu)和槳搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，所述槳支撐機(jī)構(gòu)安裝于所述槳搬運(yùn)機(jī)構(gòu)且用于支撐所述舟結(jié)構(gòu)，所述槳搬運(yùn)機(jī)構(gòu)用于實(shí)現(xiàn)所述舟結(jié)構(gòu)在高溫反應(yīng)腔與所述運(yùn)輸裝置之間的轉(zhuǎn)運(yùn)。

5、本實(shí)用新型的凈化臺(tái)的有益效果：由于運(yùn)輸裝置設(shè)在機(jī)架上，而搬舟裝置設(shè)在機(jī)架的第一側(cè)和第二側(cè)之間，搬舟裝置與運(yùn)輸裝置之間不連接，在實(shí)際工藝進(jìn)行中，機(jī)架上的負(fù)載就是運(yùn)輸裝置和運(yùn)輸裝置運(yùn)輸?shù)闹劢Y(jié)構(gòu)，搬舟裝置的負(fù)載是舟結(jié)構(gòu)，這樣就能夠增加舟結(jié)構(gòu)的承載量，實(shí)現(xiàn)大載量舟結(jié)構(gòu)的運(yùn)輸，提升一次性進(jìn)入高溫反應(yīng)腔的片材的數(shù)量，有利于提升產(chǎn)能，同時(shí)由于搬舟裝置單獨(dú)設(shè)在機(jī)架內(nèi)部，不與機(jī)架連接，搬舟裝置損壞后可以直接整體更換，不需要拆卸，簡(jiǎn)單快捷。

6、在一些實(shí)施中，所述運(yùn)輸裝置包括輸入流水線和輸出流水線，所述輸入流水線和所述輸出流水線分別安裝于所述第一側(cè)和所述第二側(cè)；其中：所述輸入流水線用于接收外部輸送的所述舟結(jié)構(gòu)，且將所述舟結(jié)構(gòu)運(yùn)輸至與所述搬舟裝置對(duì)應(yīng)的位置；所述輸出流水線用于接收所述搬舟裝置輸出的舟結(jié)構(gòu)，且輸出所述機(jī)架。

7、在一些具體的實(shí)施例中，所述輸入流水線包括第一運(yùn)輸支架、第一驅(qū)動(dòng)模組和第一支撐架，所述第一運(yùn)輸支架安裝于所述機(jī)架，所述第一驅(qū)動(dòng)模組安裝于所述第一運(yùn)輸支架，且用于驅(qū)動(dòng)所述第一支撐架在所述第一運(yùn)輸支架上沿第一方向運(yùn)動(dòng)，所述第一支撐架用于支撐所述舟結(jié)構(gòu)；和/或：所述輸出流水線包括第二運(yùn)輸支架、第二驅(qū)動(dòng)模組和第二支撐架，所述第二運(yùn)輸支架安裝于所述機(jī)架，所述第二驅(qū)動(dòng)模組安裝于所述第二運(yùn)輸支架，且用于驅(qū)動(dòng)所述第二支撐架在所述第二運(yùn)輸支架上沿第一方向運(yùn)動(dòng)，所述第二支撐架用于支撐所述舟結(jié)構(gòu)。

8、在一些實(shí)施例中，所述槳支撐機(jī)構(gòu)包括：平移模組，所述平移模組與所述槳支撐機(jī)構(gòu)傳動(dòng)配合，且用于驅(qū)動(dòng)所述槳支撐機(jī)構(gòu)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，所述第二方向與所述運(yùn)輸裝置的運(yùn)輸方向垂直設(shè)置；升降模組，所述升降模組與所述平移模組傳動(dòng)配合，且用于驅(qū)動(dòng)所述平移模組沿豎直方向升降；推舟模組，所述推舟模組與所述升降模組傳動(dòng)配合，且用于驅(qū)動(dòng)所述升降模組在所述推舟模組上沿第一方向運(yùn)動(dòng)。

9、在一些具體的實(shí)施例中，所述升降模組包括：升降支架，所述升降支架與所述推舟模組傳動(dòng)配合；升降驅(qū)動(dòng)組件，所述升降驅(qū)動(dòng)組件設(shè)在所述升降支架上，且用于驅(qū)動(dòng)所述平移模組升降；負(fù)載組件，所述負(fù)載組件包括配重負(fù)載、定滑輪以及負(fù)載繩，所述負(fù)載繩的一端與所述配重負(fù)載相連，另一端與所述平移模組相連。

10、在一些具體的實(shí)施例中，所述推舟模組包括：推舟支架，所述推舟支架安裝于所述機(jī)架底部；推舟驅(qū)動(dòng)件，所述推舟驅(qū)動(dòng)件安裝于所述推舟支架上；推舟傳動(dòng)組件，所述推舟傳動(dòng)組件的動(dòng)力輸入端與所述推舟驅(qū)動(dòng)件相連，動(dòng)力輸出端與所述升降模組相連。

11、在一些具體的實(shí)施例中，所述平移模組包括：平移支架，所述平移支架與所述升降模組傳動(dòng)配合；平移驅(qū)動(dòng)件，所述平移驅(qū)動(dòng)件安裝于所述平移支架上；平移傳動(dòng)組件，所述平移傳動(dòng)組件的動(dòng)力輸入端與所述平移驅(qū)動(dòng)件相連，動(dòng)力輸出端與所述槳支撐機(jī)構(gòu)相連。

12、在一些具體的實(shí)施例中，所述槳支撐機(jī)構(gòu)包括：槳頭架，所述槳頭架與所述平移模組傳動(dòng)配合；槳筒，所述槳筒與所述槳頭架相連；槳桿單元，所述槳桿單元與所述槳筒遠(yuǎn)離所述槳頭架的一端相連，且用于支撐所述舟結(jié)構(gòu)。

13、在一些更具體的實(shí)施例中，所述槳桿單元包括：多個(gè)支撐槳；槳固定板，所述槳固定板連接于多個(gè)所述支撐槳的一端，且與所述槳筒相連；槳夾，所述槳夾連接于所述支撐槳遠(yuǎn)離所述槳固定板的一端，且將多個(gè)所述支撐槳的端部固定在一起。

14、在一些實(shí)施例中，所述凈化臺(tái)還包括：至少一個(gè)緩存臺(tái)，所述緩存臺(tái)連接于所述機(jī)架，且位于所述運(yùn)輸裝置上方，所述緩存臺(tái)能夠接收所述搬舟裝置運(yùn)輸?shù)乃鲋劢Y(jié)構(gòu)；冷卻裝置，所述冷卻裝置連接于所述機(jī)架和/或所述緩存臺(tái)，所述冷卻裝置用于冷卻安置于所述緩存臺(tái)上的所述舟結(jié)構(gòu)。

15、本實(shí)用新型還公開了一種加工設(shè)備，包括前文所述的凈化臺(tái)和高溫反應(yīng)腔，所述凈化臺(tái)用于將所述舟結(jié)構(gòu)運(yùn)輸至所述高溫反應(yīng)腔以及接收在所述高溫反應(yīng)腔完成工藝的舟結(jié)構(gòu)。

16、本實(shí)用新型的加工設(shè)備，由于具有前文所述的凈化臺(tái)，該加工設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)重量較大的舟結(jié)構(gòu)的搬運(yùn)，有利于提升設(shè)備產(chǎn)能。

17、本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種凈化臺(tái)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的凈化臺(tái)，其特征在于，所述運(yùn)輸裝置包括輸入流水線和輸出流水線，所述輸入流水線和所述輸出流水線分別安裝于所述第一側(cè)和所述第二側(cè)；其中：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的凈化臺(tái)，其特征在于，所述輸入流水線包括第一運(yùn)輸支架、第一驅(qū)動(dòng)模組和第一支撐架，所述第一運(yùn)輸支架安裝于所述機(jī)架，所述第一驅(qū)動(dòng)模組安裝于所述第一運(yùn)輸支架，且用于驅(qū)動(dòng)所述第一支撐架在所述第一運(yùn)輸支架上沿所述第一方向運(yùn)動(dòng)，所述第一支撐架用于支撐所述舟結(jié)構(gòu)；和/或：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的凈化臺(tái)，其特征在于，所述槳搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的凈化臺(tái)，其特征在于，所述升降模組包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的凈化臺(tái)，其特征在于，所述推舟模組包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的凈化臺(tái)，其特征在于，所述平移模組包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的凈化臺(tái)，其特征在于，所述槳支撐機(jī)構(gòu)包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的凈化臺(tái)，其特征在于，所述凈化臺(tái)還包括：

10.一種加工設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的凈化臺(tái)和高溫反應(yīng)腔，所述凈化臺(tái)用于將所述舟結(jié)構(gòu)運(yùn)輸至所述高溫反應(yīng)腔以及接收在所述高溫反應(yīng)腔完成工藝的所述舟結(jié)構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種凈化臺(tái)及加工設(shè)備，凈化臺(tái)包括機(jī)架、運(yùn)輸裝置和搬舟裝置，機(jī)架包括相對(duì)設(shè)置的第一側(cè)和第二側(cè)，運(yùn)輸裝置安裝于機(jī)架且用于沿第一方向運(yùn)輸舟結(jié)構(gòu)，搬舟裝置設(shè)在第一側(cè)和第二側(cè)之間，搬舟裝置包括槳支撐機(jī)構(gòu)和槳搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，槳支撐機(jī)構(gòu)用于支撐舟結(jié)構(gòu)且安裝于槳搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，槳搬運(yùn)機(jī)構(gòu)用于實(shí)現(xiàn)舟結(jié)構(gòu)在高溫反應(yīng)腔與運(yùn)輸裝置之間的轉(zhuǎn)運(yùn)。在實(shí)際工藝進(jìn)行中，機(jī)架上的負(fù)載就是運(yùn)輸裝置和運(yùn)輸裝置運(yùn)輸?shù)闹劢Y(jié)構(gòu)，搬舟裝置的負(fù)載是舟結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了大載量舟結(jié)構(gòu)的運(yùn)輸，提升一次性進(jìn)入高溫反應(yīng)腔的片材的數(shù)量，有利于提升產(chǎn)能，同時(shí)由于搬舟裝置單獨(dú)設(shè)置設(shè)在機(jī)架內(nèi)部，不與機(jī)架連接，搬舟裝置損壞后可直接整體更換，不需要拆卸，簡(jiǎn)單快捷。

技術(shù)研發(fā)人員：劉官炫,朱太榮,張武
受保護(hù)的技術(shù)使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240506
技術(shù)公布日：2024/12/19