專利名稱：四棒石英舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于一種石英玻璃儀器，特別是一種用于半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)的晶片承載器的四棒石英舟。
目前在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造行業(yè)，石英舟作為晶片承載器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氧化擴(kuò)散工序中，其形狀結(jié)構(gòu)、開槽精度、槽間距離等對(duì)半導(dǎo)體硅質(zhì)量有較大影響?，F(xiàn)有的石英舟由兩根開槽棒組成，硅片與石英舟之間有兩個(gè)接觸點(diǎn)，硅片在高溫下易產(chǎn)生翹曲、變型，同時(shí)石英舟的開槽槽口為尖角轉(zhuǎn)接，硅片裝插時(shí)易被劃傷。因此，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生不利影響。
本實(shí)用新型的目的是提供一種改進(jìn)的石英舟，增加了硅片與石英舟之間的接觸點(diǎn)，在高溫下不易翹曲、變型，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，使硅片插裝高度一致，實(shí)現(xiàn)工藝中的擴(kuò)散氣流平穩(wěn)；硅片插裝時(shí)不易劃傷，確保產(chǎn)品質(zhì)量。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的它包括開槽棒和兩聯(lián)接端，改進(jìn)的技術(shù)方案要點(diǎn)是聯(lián)接端是由棒料彎制成整體倒梯形，倒梯形聯(lián)接端的四頂點(diǎn)聯(lián)接四根開槽棒。使硅片與石英舟之間有四個(gè)接觸點(diǎn)，受力平衡。
本實(shí)用新型的開槽棒的開槽一側(cè)有磨平面。這樣保證了開槽深度的一致，從而使插裝的硅片高度一致，使擴(kuò)散氣流平穩(wěn)。
本實(shí)用新型的開槽棒的磨平面與插槽壁面轉(zhuǎn)接處有倒角，硅片插裝時(shí)不易劃傷。
本實(shí)用新型和現(xiàn)有產(chǎn)品比較具有如下優(yōu)點(diǎn)硅片與石英舟之間有四個(gè)接觸點(diǎn)，受力均勻，硅片在高溫下不易產(chǎn)生翹曲、變型；開槽棒上的插槽深度一致，使插裝的硅片高度一致，保證擴(kuò)散氣流平穩(wěn)；開槽棒的插槽口有倒角，硅片插裝時(shí)不會(huì)劃傷，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例作進(jìn)一步說(shuō)明。


圖1是本實(shí)用新型的俯視圖。
圖2是本實(shí)用新型的側(cè)視圖。
圖3是圖2的左視圖。
圖4是開槽棒的縱向局部剖視圖。
圖5是圖4的A－A剖面圖。
見圖1－5，本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)如下聯(lián)接端1由石英玻璃棒料彎制成整體倒梯形，聯(lián)接端1的四頂點(diǎn)聯(lián)接四根石英玻璃開槽棒3；開槽棒3開槽的一側(cè)有磨平面4，在磨平面4上開有插裝硅片的插槽2，在磨平面4與槽壁面的轉(zhuǎn)接處有倒角5。
權(quán)利要求1.一種四棒石英舟，包括開槽棒和兩聯(lián)接端，其特征是聯(lián)接端是由棒料彎制成整體倒梯形，倒梯形聯(lián)接端的四頂點(diǎn)聯(lián)接四根開槽棒。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四棒石英舟，其特征是開槽棒的開槽一側(cè)有磨平面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四棒石英舟，其特征是開槽棒的磨平面與插槽壁面轉(zhuǎn)接處有倒角。
專利摘要一種四棒石英舟，包括開槽棒和兩聯(lián)接端，其技術(shù)要點(diǎn)是聯(lián)接端是由棒料彎制成整體倒梯形，倒梯形聯(lián)接端的四頂點(diǎn)聯(lián)接四根開槽棒。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是硅片與石英舟之間有四個(gè)接觸點(diǎn)，受力均勻，硅片在高溫下不易產(chǎn)生翹曲、變形；開槽棒上的插槽深度一致，使插裝的硅片高度一致，保證擴(kuò)散氣流平穩(wěn)；開槽棒的插槽口有倒角，硅片插裝時(shí)不會(huì)劃傷，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
文檔編號(hào)H01L21/00GK2140103SQ92236000
公開日1993年8月11日 申請(qǐng)日期1992年11月6日 優(yōu)先權(quán)日1992年11月6日
發(fā)明者鄭輝, 浦瑞, 張黎, 吳恩國(guó), 韓增義 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)優(yōu)耐特石英有限公司