專利名稱：集成電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路，特別是，涉及利用非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)(Nonradiative Dielectric Waveguide)、在微波頻段或毫米波頻段工作的集成電路。
迄今為止，有如下的一種非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)在該波導(dǎo)中，平行地配置一對導(dǎo)電板，使該對導(dǎo)電板的相互間隔為預(yù)定的間隔，使LSM 01模式或LSE 01模式的電磁波沿在兩導(dǎo)體板間配置的電介質(zhì)窄條進(jìn)行傳輸。當(dāng)設(shè)計在60GHz頻段進(jìn)行傳輸時，用例如聚四氟乙烯等的電介質(zhì)材料(比介電常數(shù)εr＝2)形成寬度b(例如，2.5mm)、高度a(例如，2.25mm)的電介質(zhì)窄條。如用導(dǎo)體板來夾住該電介質(zhì)窄條的話，則在沒有電介質(zhì)窄條的部分內(nèi)，波長為高度a的2倍以上的電磁波大體上被截止。另一方面，在有電介質(zhì)窄條的部分內(nèi)，截止效果則被解除。因此，LSM 01模式、LSE 01模式的電磁波可在不產(chǎn)生輻射和低損耗的情況下沿電介質(zhì)窄條進(jìn)行傳播。因而非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)適合于微波、毫米波的傳送線路。
通過在上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)的一對導(dǎo)體板間配置多個電介質(zhì)窄條、磁性體、半導(dǎo)體等，可形成環(huán)行器、振蕩器等，因此該非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)適合于微波頻段、毫米波頻段的集成電路。
在形成這種集成電路、例如FM-CW方式的雷達(dá)的高頻部分時，以往首先通過在一對可連接到測試端的、用于測試的導(dǎo)體板間配置電介質(zhì)窄條、磁性體、半導(dǎo)體等，分別制成分擔(dān)集成電路的一部分功能的環(huán)行器、振蕩器等。其次對該環(huán)行器、振蕩器等的特性進(jìn)行測試。再其次在形成集成電路時，把構(gòu)成環(huán)行器、振蕩器等的電介質(zhì)窄條、磁性體、半導(dǎo)體等重新配置在有別于測試用的另一對用于集成電路的導(dǎo)體板間，組成各自的電路結(jié)構(gòu)。
但是在用這種方法形成集成電路時，作為該集成電路的各個部分的環(huán)行器、振蕩器等的特性的再現(xiàn)是困難的，此外，對作為集成電路的一部分的環(huán)行器、振蕩器等單獨地進(jìn)行特性測試是不可能的，再者單獨地對其進(jìn)行調(diào)整也是不可能的，因此使其作為電路來工作是困難的。其結(jié)果是在缺乏集成電路的批量生產(chǎn)能力方面存在問題。此外，在集成電路發(fā)生故障的情況下，當(dāng)需要更換例如環(huán)行器、振蕩器等一部分部件時，存在著在更換了一部分部件時對其它部分產(chǎn)生影響的問題。
本發(fā)明的目的是解決上述的技術(shù)課題并提供提高了部分的和整體的批量生產(chǎn)能力的集成電路。
本發(fā)明是一種利用非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)、在微波頻段或毫米波頻段工作的集成電路。
上述集成電路具備分別承擔(dān)該集成電路的一部分功能的多個非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件；以及使上述各個非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件相互連接、可進(jìn)行表面安裝的一個基板，上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件具有以相互的間隔為預(yù)定間隔而平行地配置的該部件固有的一對導(dǎo)體；在上述兩導(dǎo)體間配置的、以預(yù)定的模式傳輸高頻電磁波的該部件固有的電介質(zhì)窄條；在上述兩導(dǎo)體的至少一個上形成的、可與上述基板連接的平面狀的安裝面；以及在上述兩導(dǎo)體的端部形成的、與從上述電介質(zhì)窄條的端部輸入或輸出的電磁波的行進(jìn)方向垂直的、并包含上述電介質(zhì)窄條端部附近的垂直端面。
在本發(fā)明中，各個非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件是這樣來形成的平行地配置該部件固有的一對導(dǎo)體，使其相互的間隔為預(yù)定的間隔；在上述兩個導(dǎo)體間配置以預(yù)定的模式傳輸高頻電磁波的該部件固有的電介質(zhì)窄條；在上述兩個導(dǎo)體的至少一個上形成平面狀的安裝面；在上述兩個導(dǎo)體的端部形成與從電介質(zhì)窄條的端部輸入或輸出的電磁波的行進(jìn)方向垂直的、并包含電介質(zhì)窄條端部附近的垂直端面；以連接的方式可把各個非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件安裝在基板上。其結(jié)果是可以單個地制成非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件，故可提高非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的批量生產(chǎn)能力。此外，可使用測定夾具在制造出的部件的原有狀態(tài)下單獨地進(jìn)行特性測試，可把各部件在原有的測試狀態(tài)下通過簡單的連接方式安裝到基板上，而且可以單個地取出來，因此可提高集成電路的批量生產(chǎn)能力。
再者，非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)的傳送模式(LSM 01模式)中沒有與電磁波的傳輸方向平行的電流成分，也幾乎沒有電場分量，因此在部件間的連接等方面，不需要如波導(dǎo)管那樣的由法蘭盤來牢固地固定，而且也不需要電介質(zhì)窄條的端部的對接連接等。因而，可簡單地制成垂直端面的結(jié)構(gòu)，在安裝方面也是簡單的，從而可提高集成電路的批量生產(chǎn)能力。


圖1是表示本發(fā)明的一個實施例的集成電路在形成過程中的狀態(tài)的一個斜視圖。
圖2是表示圖1的集成電路完成后的狀態(tài)的一個頂視圖。
圖3是表示圖1的振蕩器1和夾具的一個實例的整體構(gòu)成的圖。
圖4是表示在拿掉導(dǎo)體部10的狀態(tài)下圖1的振蕩器1的電介質(zhì)窄條12的端部12a附近的結(jié)構(gòu)的例子的平面圖。
圖5是表示圖1的振蕩器1的特性的圖。
圖6是表示經(jīng)過波導(dǎo)管傳輸?shù)腡E 10模式的電磁波的圖。
圖7是表示經(jīng)過非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)傳輸?shù)腖SM 01模式的電磁波的圖。
圖8是表示導(dǎo)體與電介質(zhì)窄條間的間隙d為“0”時的特性的圖。
圖9是表示導(dǎo)體與電介質(zhì)窄條間的間隙d為0.1mm時的特性的圖。
圖10是表示導(dǎo)體與電介質(zhì)窄條間的間隙d為“0”時的特性的圖。
圖11是表示只在導(dǎo)體間存在0.1mm的間隙d時的特性的圖。
圖12是表示只在導(dǎo)體間存在0.2mm的間隙d時的特性的圖。
圖13是表示圖1的環(huán)行器2與夾具的一個例子的整體構(gòu)成的斜視圖。
圖14是表示圖1的環(huán)行器2的特性的圖。
圖15是表示非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件間的位置配合的例子的圖。
圖16是表示非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的安裝操作的圖。
圖17是表示本發(fā)明的另一個實施例的集成電路的一部分構(gòu)成的圖。
以下根據(jù)附圖來說明本發(fā)明的實施例。圖1是表示本發(fā)明的一個實施例的集成電路在形成過程中的狀態(tài)的斜視圖，圖2是表示該集成電路完成后的狀態(tài)的頂視圖。這種集成電路例如是在毫米波頻段工作的FM-CW方式的雷達(dá)的高頻部分。在圖1、圖2中，具備作為分別承擔(dān)集成電路的一部分功能的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的振蕩器1、環(huán)行器2、耦合器3、無反射終端器4和混頻器5，以及把這些部件相互連接起來并可進(jìn)行表面安裝的基板7。使用板狀的絕緣體、導(dǎo)體和表面進(jìn)行了金屬化處理的板狀的絕緣體作為基板7。
在圖1、圖2中，振蕩器1具備一對平板狀的導(dǎo)體10、11；設(shè)置在導(dǎo)體10、11間的電介質(zhì)窄條12等；電源端16和調(diào)制端17。導(dǎo)體10、11由鋁、銅等的導(dǎo)電性材料形成。此外，在導(dǎo)體11上形成與其成為一體的襯墊11b，用于使導(dǎo)體10、11的相互間隔保持在一定的高度a。用例如聚四氟乙烯等的電介質(zhì)材料(比介電常數(shù)εr＝2)形成高度a(例如，2.25mm)、寬度b(例如，2.5mm)的電介質(zhì)窄條12。此外，在導(dǎo)體10、11的四個角上形成螺釘孔18a。通過把帶有十字孔的平頭螺釘18b分別擰入該螺釘孔18a中，可使電介質(zhì)窄條12等與導(dǎo)體10、11連成一體使之不能移動。
在導(dǎo)體11的底面形成平面狀的安裝面19a。此外，在導(dǎo)體10、11的一端形成與從電介質(zhì)窄條12的端部12a輸出的高頻電磁波的行進(jìn)方向垂直的、并包含端部12a附近的垂直端面19b。該振蕩器1把產(chǎn)生振蕩的電磁波從端部12a輸出到環(huán)行器2。再者，在基板7上形成螺釘孔70，用帶有十字孔的平頭螺釘18b把振蕩器1固定到基板7上。
環(huán)行器2具備一對平板狀的導(dǎo)體20、21和配置在該導(dǎo)體20、21間的三個電介質(zhì)窄條22(圖中示出一個)等。導(dǎo)體20、21由鋁、銅等的導(dǎo)電性材料形成。在導(dǎo)體20、21間的三個角上設(shè)置襯墊26，用于使導(dǎo)體20、21間相互的間隔保持在一定的高度a。此外，在導(dǎo)體20、21的三個角上形成貫穿襯墊26的螺釘孔(圖中未示出)。通過把帶有十字孔的平頭螺釘27分別擰入到該螺釘孔中，可使電介質(zhì)窄條22等與導(dǎo)體20、21連成一體使之不能移動。此外還可將其固定到基板7上。
在導(dǎo)體20的底面形成平面狀的安裝面29a。此外，在導(dǎo)體20、21的三個端部處分別形成與輸入或輸出到各個電介質(zhì)窄條22的各自的端部22a的高頻電磁波的行進(jìn)方向垂直的、而且包含端部22a附近的垂直端面29b。
耦合器3具備一對平板狀的導(dǎo)體30、31和配置在導(dǎo)體30、31間的三個電介質(zhì)窄條32、33、34等。導(dǎo)體30、31由鋁、銅等的導(dǎo)電性材料形成。在導(dǎo)體30上設(shè)置襯墊30a，用于使導(dǎo)體30、31間的相互間隔保持在一定的高度a。此外，在導(dǎo)體30、31的四個角上形成螺釘孔(圖中未示出)。通過把帶有十字孔的平頭螺釘37分別擰入到該螺釘孔中，可使電介質(zhì)窄條32、33、34與導(dǎo)體30、31連成一體使之不能移動。此外還可將其固定在基板7上。
在導(dǎo)體30的底面形成平面狀的安裝面39a。此外，在導(dǎo)體30、31的兩端部處分別形成與輸入或輸出到各個電介質(zhì)窄條32、34的各自的端面32a的高頻電磁波的行進(jìn)方向垂直的、并且包含端部32a附近的垂直端面39b。
再者，無反射終端器4和混頻器5與振蕩器1、環(huán)行器2、耦合器3同樣具備一對平板狀導(dǎo)體和電介質(zhì)窄條等，并具有安裝面與垂直端面(這些都未在圖中示出)，可將其固定在基板7上。
圖3是顯示測定圖1的振蕩器1的夾具的整體構(gòu)成的圖。圖3(a)是振蕩器1在安裝前的斜上方的視圖，圖3(b)是在振蕩器1已安裝好的狀態(tài)下的斜視圖，圖3(c)是沿圖3(b)的A-A′線切開的截面圖。
夾具6大體上具備安裝部60和變換部分61。安裝部60是由鋁、銅等具有導(dǎo)電性的平板狀的下板601的一部分形成的。在安裝部60中，在下板601上形成一對用于使振蕩器1準(zhǔn)確定位的側(cè)壁601a。此外，在下板601的與螺釘孔18a對應(yīng)的位置上形成螺釘孔601b，用于在下板601與振蕩器1的安裝面19a已連接好的狀態(tài)下使振蕩器1固定到預(yù)定位置上。
變換部分61用于使振蕩器1與其它種類的電路(例如波導(dǎo)管)相連接，它大體上具備相互形成一體的壓緊部分610、喇叭形部分611和波導(dǎo)管612。在壓緊部分610中，用下板601的剩下部分和鋁、銅等具有導(dǎo)電性的壓緊板610a夾住電介質(zhì)窄條12和對應(yīng)的電介質(zhì)窄條62的一部分，通過擰緊壓緊螺釘6 10b來固定電介質(zhì)窄條62。通過用螺釘611b擰緊設(shè)置在喇叭形部分611的端部的法蘭盤611a把喇叭形部分611與壓緊部分610固定在一起。在波導(dǎo)管612的端部形成法蘭盤612a。
與振蕩器1的垂直端面19b相對應(yīng)，在變換部分61的端部、即壓緊部分610的端部形成與電介質(zhì)窄條62中的電磁波傳輸方向垂直的、并且包含電介質(zhì)62的端部62a附近的垂直端面61a。此外，在電介質(zhì)窄條62的另一端62b處，在寬度方向上形成尖錐形，以使其它電路的特性阻抗與電介質(zhì)窄條62的特性阻抗相匹配。
圖4是表示圖1的振蕩器1和圖3的夾具6的電介質(zhì)窄條12、62的端部12a、62a附近的結(jié)構(gòu)實例的平面圖。再者，在圖4(a)～(c)中，分別顯示使電介質(zhì)窄條12、62的端部12a、62a之間進(jìn)行對接的狀態(tài)的實例。在圖4(a)中，讓電介質(zhì)窄條12、62的端部12a、62a與電磁波的行進(jìn)方向垂直并且與垂直端面19b、61a形成一個平面，使端部12a、62a彼此間進(jìn)行對接。
另一方面，在圖4(b)中，端部12a、62a彼此間分別形成可進(jìn)行對接的楔狀。因此，端部12a從垂直端部19b處稍微突出一些。在圖4(c)中，端部12a、62a彼此間分別形成可進(jìn)行對接的球狀。因此，在該圖4(c)中，端部12a也從垂直端面19b處稍微突出一些。如在圖4(b)、(c)中所示，如電介質(zhì)窄條12、62的端部12a、62a之間可進(jìn)行對接，則可以不一定形成要與電磁波的行進(jìn)方向垂直的端部12a、62a。此外，即使在形成了與電磁波的行進(jìn)方向垂直的端部12a、62a時，也可以分別使端部12a、62a從垂直端面19b、61a處稍微突出一些，使端部12a、62a之間進(jìn)行對接。
其次說明上述部件的工作情況。如把直流電供給振蕩器1的電源端16的話，開始振蕩產(chǎn)生高頻電磁波并輸入到電介質(zhì)窄條12?？墒?，如把導(dǎo)體10、11間的間隔設(shè)為a，應(yīng)傳送的毫米波的電磁波波長設(shè)為λ的話，如間隔a符合a＜λ/2，則在沒有電介質(zhì)窄條12的部分內(nèi)，與導(dǎo)體10、11平行的電磁波的傳輸被截止。另一方面，在插入了電介質(zhì)窄條12的部分內(nèi)，上述截止?fàn)顟B(tài)被解除，沿電介質(zhì)窄條12傳輸該電磁波，從端部12a輸出該電磁波。即使在變換部分61的壓緊部分610中，情況也是同樣的。再者，非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)的傳送模式大致分為LSE模式與LSM模式。在最低階模式的LSE 01模式與LSM 01模式中，從低損耗性方面來考慮，通常使用LSM 01模式。
本發(fā)明申請的發(fā)明人使用夾具6和頻譜分析儀測試了該振蕩器1。圖5是表示圖3的振蕩器1的特性的圖。從圖5可看出，從電介質(zhì)窄條12的端部12a輸出以60GHz為中心的、具有良好特性的振蕩信號。
在這里研究經(jīng)過波導(dǎo)管傳輸?shù)碾姶挪ㄅc經(jīng)過非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)傳輸?shù)碾姶挪ǖ牟煌c。圖6是表示經(jīng)過波導(dǎo)管傳輸?shù)腡E 10模式的電磁波的圖，圖7是表示經(jīng)過非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)傳輸?shù)腖SM 01模式的電磁波的圖。再者，分別在圖6(a)中示出電場分量E、磁場分量H，在圖6(b)中示出表面電流I。此外，分別在圖7(a)中示出電場分量E、磁場分量H，在圖7(b)中示出表面電流I，在圖7(c)中示出沿B-B′線切斷后的狀態(tài)。
在波導(dǎo)管中，如圖6(b)所示表面電流I具有與電磁波的傳輸方向相同的方向的分量。因此，為了使波導(dǎo)管彼此連接起來，為了消除波導(dǎo)管間的間隙、使表面電流I在兩波導(dǎo)管間流動，用法蘭盤來牢固地固定是必要的。
另一方面，在非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)中，如圖7(b)所示，LSM01模式的表面電流I只具有與電磁波的傳輸方向垂直的分量。因此，可認(rèn)為即使分別對導(dǎo)體10、11在與電磁波傳輸方向垂直的方向上進(jìn)行切斷以及在各導(dǎo)體10、11間存在間隙的情況下對電磁波的傳送也沒有影響。
為了確認(rèn)以上所述，本發(fā)明的發(fā)明人對將導(dǎo)體10、11與電介質(zhì)窄條12在垂直于電磁波的傳送方向上進(jìn)行切斷后的特性進(jìn)行了測試。圖8是示出導(dǎo)體10、11和電介質(zhì)窄條12間的間隙d為“0”時的特性的圖。也就是說，圖8是示出在圖4(a)中垂直端面19b和端部12a與對應(yīng)的垂直端面19b和端部12a分別對接時的特性的圖。圖9是示出導(dǎo)體10、11和電介質(zhì)窄條12間的間隙d為0.1mm時的特性的圖。也就是說，圖9是示出在圖4(a)中垂直端面19b和端部12a與對應(yīng)的垂直端面19b和端部12a間的距離為0.1mm時的特性的圖。由圖8、圖9的結(jié)果可確認(rèn)，即使導(dǎo)體10、11和電介質(zhì)窄條12間、或振蕩器1與夾具6間存在間隙d、反射損耗、插入損耗只是稍微增加一些。
因此，在振蕩器1與夾具6之間的連接方面，就不需要如波導(dǎo)管那樣地用法蘭盤來牢固地固定，也不需要端部12a、62a的對接連接等。因而，在安裝部60內(nèi)與安裝面19a已連接好的狀態(tài)下以及在固定了振蕩器1的狀態(tài)下進(jìn)行安裝的話，可以在無失配和低損耗的情況下在電介質(zhì)窄條12、62間傳輸LSM 01模式的電磁波。因此可以測試振蕩器1的特性使其結(jié)果不會離散。此外，安裝是簡單的。
再者，為了對分別讓端部12a、62a從垂直端面19b、61a處稍微突出一些并讓端部12a、62a彼此進(jìn)行對接后的特性進(jìn)行測試，本發(fā)明申請的發(fā)明人對把導(dǎo)體10、11和電介質(zhì)窄條12在與電磁波的傳送方向垂直的方向上切斷后和分別讓端部12a、62a從垂直端面19b、61a處稍微突出一些后的特性進(jìn)行了測試。
圖10是示出導(dǎo)體10、11和電介質(zhì)窄條12間的間隙d為“0”時的特性的圖。也就是說，圖10是示出在圖4(a)中垂直端面19b和端部12a分別與對應(yīng)的垂直端面19b和端部12a對接后的特性的圖。圖11是示出只在導(dǎo)體10、11間存在0.1mm的間隙d時的特性的圖。也就是說，圖11是示出讓端部12a從垂直端面19b處各突出0.05mm、讓端部12a彼此對接、垂直端面19b與對應(yīng)的垂直端面19b間的距離為0.1mm時的特性的圖。圖12是示出只在導(dǎo)體10、11間存在0.2mm的間隙d時的特性的圖。也就是說，圖12是示出讓端部12a從垂直端面19b處各突出0.1mm后的特性的圖。
從圖10、圖11、圖12可確認(rèn)，即使在導(dǎo)體10、11間存在間隙d，只要端部12a間進(jìn)行對接，就幾乎不產(chǎn)生反射損耗、插入損耗方面的性能變壞。這種關(guān)系同樣可適用于振蕩器1與夾具6之間的情況。即使讓端部12a、62a分別從垂直端面19b、61a處稍微突出一些以及讓端部12a、62a彼此對接后，幾乎不產(chǎn)生反射損耗、插入損耗方面的性能變壞。
圖13是示出測試圖1的環(huán)行器2的特性的夾具的整體構(gòu)成的斜視圖。凡與夾具6對應(yīng)的部分均附以相同的編號并省略有關(guān)的說明。為了使環(huán)行器2具有3個端部22a，即3個端口，夾具6c由3個圖3(a)所示的夾具6組合而成，以便能用3個垂直端面61a和安裝部60對環(huán)行器2進(jìn)行定位。再者，即使拿掉1個帶有十字孔的平頭螺釘27，恐怕也可能會產(chǎn)生電介質(zhì)窄條22等的位置偏移。因此，通過用蓋67來壓住環(huán)行器2以及擰緊帶有十字孔的平頭螺釘68，使環(huán)行器2得以固定。在進(jìn)行上述步驟之后，對環(huán)行器2的特性進(jìn)行測試。
再者，在環(huán)行器2中把一個電介質(zhì)窄條22的端部22a作為高頻電磁波的輸入端口時，電磁波向一個方向旋轉(zhuǎn)，并只向另一個電介質(zhì)窄條22的端部22a傳輸電磁波。本發(fā)明申請的發(fā)明人使用夾具6c和網(wǎng)絡(luò)分析儀，讓一個端部22a成為無反射終端的狀態(tài)，讓環(huán)行器2以隔離器的方式來工作，在此情況下對環(huán)行器2進(jìn)行了測試。
圖14是示出圖13的環(huán)行器2的特性的圖。再者，圖14(a)示出隔離性能和插入損耗，圖14(b)示出反射損耗。因此從圖14可看出，環(huán)行器2具有良好的隔離性能及插入損耗、反射損耗的特性。
因此，在環(huán)行器2與夾具6c的連接方面，不需要如波導(dǎo)管那樣地由法蘭盤來牢固地固定，而且不需要端部22a、62a的對接連接等。因而，在安裝部60與安裝面29a已連接好的狀態(tài)以及在固定了環(huán)行器2的狀態(tài)下進(jìn)行安裝的話，可以在無失配和低損耗的情況下經(jīng)過電介質(zhì)窄條22、62間傳輸LSM 01模式的電磁波。因此可更精確地測試環(huán)行器2的特性。此外，安裝是簡單的。
再者，在測試耦合器3的特性時，可以把4個圖3所示的夾具組合起來構(gòu)成。此外，對無反射終端器4、混頻器5等的一個端口的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件，可以用圖3所示的夾具6進(jìn)行特性測試。如得到良好的測試結(jié)果的話，就把振蕩器1～混頻器5按順序連接到基板7上，進(jìn)行表面安裝。
如圖1、圖2中所示，集成電路是把振蕩器1～混頻器5以相互連接的方式在基板7上進(jìn)行表面安裝。因而，與夾具6、6c間的關(guān)系相同，不會因安裝而產(chǎn)生特性的偏差，振蕩器1～混頻器5可發(fā)揮出如測試所得到的特性。因此，可構(gòu)成具有高的批量生產(chǎn)能力和可靠性的集成電路。
再者，在圖1中用螺釘固定法把振蕩器1～混頻器5以表面安裝方式裝到基板7上，但也可以用焊接、用導(dǎo)電糊劑來進(jìn)行表面安裝。此外，如圖2所示把天線8裝到基板7上的話，可作成一個雷達(dá)頭。
此外，可按照以下幾種方式對非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件進(jìn)行相互間的定位(1)在基板7內(nèi)設(shè)置一條溝，把非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件裝在該溝內(nèi)來進(jìn)行各自的定位。
(2)如圖15(a)～(c)中分別示出的，把定位構(gòu)件ε鑲在設(shè)置于非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的上部的定位用的凹部δ內(nèi)來進(jìn)行定位。
(3)如圖15(d)所示，把非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的一個孔η嵌入豎立在基板7上的一個定位銷釘ξ上，或者反之，這樣來進(jìn)行定位。
(4)如圖15(e)所示，把在一個非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的垂直端面上豎立的定位銷釘θ嵌入另一個非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的垂直端面的一個孔l內(nèi)來進(jìn)行定位。
在(1)～(3)中，如圖16(a)所示，只要使非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)相對于基板7作垂直移動就可進(jìn)行安裝。在(4)中，如圖16(b)所示，也有必要使非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)相對于基板7作水平移動。因此，與(4)相比，(1)～(3)的方法在安裝性方面有優(yōu)點。
圖17是示出本發(fā)明的另一個實施例的集成電路的一部分構(gòu)成的圖。其中凡與圖1的實施例對應(yīng)的部分均附以相同的編號并省略有關(guān)的說明。圖17的集成電路所使用的各個非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件91、92、93具備包含有各自的電介質(zhì)窄條910、920、921、930以及在其左右側(cè)充填的充填構(gòu)件912、922、932的長方體狀的電介質(zhì)塊和在該電介質(zhì)塊的上下形成的導(dǎo)體913、914、923、924、933、934。電介質(zhì)窄條910、920、921、930形成與電介質(zhì)塊的側(cè)面垂直的各個端部910a、920a、921a、930a。再者，在導(dǎo)體913、914間放置非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件91的有源元件塊915。
用介電常數(shù)高的陶瓷來形成電介質(zhì)窄條910、920、921、930。用介電常數(shù)低的陶瓷來形成充填構(gòu)件912、922、932。通過對電介質(zhì)塊的上下表面進(jìn)行金屬化處理來形成導(dǎo)體913、914、923、924、933、934等。
通過用夾具對這種非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件91、92、93進(jìn)行特性測試后再以連接的方式在基板7上進(jìn)行表面安裝來形成一個集成電路。在基板7是絕緣體時，用螺釘進(jìn)行固定。在基板7是導(dǎo)體或是對其表面進(jìn)行了金屬化處理的絕緣體的情況下，除用螺釘外可用焊料或?qū)щ姾齽┻M(jìn)行固定。
按照本發(fā)明，可單個地制成非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件，可提高非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的批量生產(chǎn)能力。此外，可以使用測定夾具在制造出來的部件的原有狀態(tài)下單獨地進(jìn)行特性測試，可以在各個部件的原有測試狀態(tài)下簡單地將其連接安裝到基板上，而且可以單獨地取出來，因此可提高集成電路的批量生產(chǎn)能力。
權(quán)利要求
1.一種利用非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)、在微波頻段或毫米波頻段工作的集成電路，其特征在于，上述集成電路具備分別承擔(dān)該集成電路的一部分功能的多個非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件，以及一個把各個上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件相互連接起來可進(jìn)行表面安裝的基板；上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件具有以相互的間隔為預(yù)定的間隔而平行地配置的該部件固有的一對導(dǎo)體；在上述兩導(dǎo)體間配置的、以預(yù)定模式傳輸高頻電磁波的該部件固有的電介質(zhì)窄條；在上述兩導(dǎo)體的至少一個上形成的、可與上述基板連接的平面狀的安裝面；以及在上述兩導(dǎo)體的端部形成的、與從上述電介質(zhì)窄條的端部輸入或輸出的電磁波的行進(jìn)方向垂直的、而且包含上述電介質(zhì)窄條的端部附近的垂直端面。
全文摘要
一種集成電路具備多個振蕩器1、環(huán)行器2、耦合器3等以及基板7。振蕩器1具有導(dǎo)體10、11；配置在導(dǎo)體10、11間的、以預(yù)定模式傳輸高頻電磁波的電介質(zhì)窄條12；在導(dǎo)體部形成的可與基板7連接的安裝面19a；以及在導(dǎo)體10、11的端部形成的、與從電介質(zhì)窄條12的端部12a輸出的電磁波的行進(jìn)方向垂直的、而且包含電介質(zhì)12的端部12a附近的垂直端面19b。其它如環(huán)行器2等也以與振蕩器1相同的方式構(gòu)成。然后將它們在基板上相互連接，進(jìn)行表面安裝。
文檔編號H01P5/08GK1131814SQ9511691
公開日1996年9月25日 申請日期1995年8月30日 優(yōu)先權(quán)日1994年8月30日
發(fā)明者石川容平, 谷崎透, 西田浩 申請人:株式會社村田制作所