一種太陽能電池的多層減反膜的制作方法
【專利說明】-種太陽能電池的多層減反膜
[0001]
技術(shù)領(lǐng)域
[0002] 本發(fā)明涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種太陽能電池的多層減反膜。
【背景技術(shù)】
[0003] 早期的太陽能電池生產(chǎn)中一般使用Ti02作為光學減反膜。但Ti02對硅材料沒有 鈍化作用，使用Ti02作為減反膜的太陽能電池的開路電壓較低，效率難以提高。因此漸漸 地被同時具有很好減反效果和鈍化作用的SiNx減反膜所取代。因此在目前的太陽能電池 生產(chǎn)中大多使用SiNx作為減反膜。但SiNx減反膜生產(chǎn)成本較高，而且使用SiNx作為減 反膜的組件在封裝之后的反射率較高。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004] 本發(fā)明為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，提供了一種生產(chǎn)成本低、工藝簡單、減反效果好 的太陽能電池的多層減反膜。
[0005] 本發(fā)明所述的一種太陽能電池的多層減反膜，包括太陽能電池層，在太陽能電池 層上、下均設(shè)置有Si02膜，在太陽能電池層上、下的Si02膜上均設(shè)置減反膜；所述Si02膜 厚度為3~60nm;所述減反膜厚度為30~120nm，并且是折射率為2. 3~2.5的透光 膜。
[0006] 進一步改進，所述減反膜是Ti02/Si02雙層膜。
[0007] 進一步改進，所述減反膜是MgF2/Ti02/Si02、SiC/Ti02/Si02、SiNx/Ti02/Si02、ZnO/ Ti02/Si02、Al20x/Ti02/Si02三層膜的形式中的一種。
[0008] 進一步改進，所述上下的減反膜上面覆蓋EVA、玻璃封裝。
[0009] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明有益效果在于：本發(fā)明采用Si02加1102或其它折射率 在2. 3-2. 5左右的單層或多層光學減反膜，使Ti02為基礎(chǔ)的減反膜具有鈍化作用，同時又 能兼顧組件封裝后的減反效果。本發(fā)明能夠?qū)ふ倚碌募夹g(shù)途徑代替當前工業(yè)常用的SiNx 單層減反膜，采用上述多層膜結(jié)構(gòu)，同時實現(xiàn)光學匹配和電學鈍化作用，減反鈍化效果可以 與SiNx媲美。而且該多層膜結(jié)構(gòu)的制備工藝簡單，設(shè)備造價低，是一種比較理想的結(jié)構(gòu)。 另外，該多層膜的結(jié)構(gòu)是一種復合結(jié)構(gòu)，其上下結(jié)構(gòu)一樣，增加了鈍化作用以及減反效果。
【附圖說明】
[0010] 圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0011] 如圖1所示，一種太陽能電池的多層減反膜，包括太陽能電池層1，在太陽能電池 層1上、下均設(shè)置有Si02膜2,在太陽能電池層1上、下的Si02膜2上均設(shè)置減反膜3 ;所 述5102膜2厚度為3~6011111;所述減反膜3厚度為30~12011111，并且是折射率為2.3~ 2. 5的透光膜；所述的太陽能電池層1為電池的P+或者N+。
[0012] 從光學原理考慮，對于單層減反膜，當如義=入時，反射率有最小值：
【主權(quán)項】
1. 一種太陽能電池的多層減反膜，其特征在于，包括太陽能電池層（1)，在太陽能電池 層（1)上、下均設(shè)置有Si化膜（2)，在太陽能電池層（1)上、下的Si化膜（2)上均設(shè)置減反 膜（3);所述Si〇2膜（2)厚度為3~60皿；所述減反膜（3)厚度為30~120皿，并且是折 射率為2. 3~2. 5的透光膜。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池的多層減反膜，其特征在于：所述減反膜 (3)是Ti化/Si化雙層膜。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池的多層減反膜，其特征在于：所述減反膜 (3)是 M評2/Ti〇2/Si〇2、SiC/Ti〇2/Si〇2、SiNx/Ti〇2/Si〇2、&iO/Ti〇2/Si〇2、Al2〇x/Ti〇2/Si〇2H 層膜的形式中的一種。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池的多層減反膜，其特征在于；所述上下的減 反膜（3)上面覆蓋EVA、玻璃封裝（4)。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種太陽能電池的多層減反膜，包括太陽能電池層，在電池窗口層上、下均設(shè)置有SiO2 膜，在電池窗口層上、下的SiO2 膜上均設(shè)置減反膜；所述SiO2 膜厚度為3～60nm ；所述減反膜厚度為30～120nm，并且是折射率為2.3～2.5 的透光膜。本發(fā)明能夠?qū)ふ倚碌募夹g(shù)途徑代替當前工業(yè)常用的SiNx 單層減反膜，采用上述多層膜結(jié)構(gòu)，同時實現(xiàn)光學匹配和電學鈍化作用，減反鈍化效果可以與SiNx 媲美。而且該多層膜結(jié)構(gòu)的制備工藝簡單，設(shè)備造價低，是一種比較理想的結(jié)構(gòu)。另外，該多層膜的結(jié)構(gòu)是一種復合結(jié)構(gòu)，其上下結(jié)構(gòu)一樣，增加了鈍化作用以及減反效果。
【IPC分類】H01L31-0216
【公開號】CN104659118
【申請?zhí)枴緾N201510040360
【發(fā)明人】蔣建寶
【申請人】無錫賽晶太陽能有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2015年1月27日