工藝單元23之后，循環(huán)支管線中的管路壓力保持穩(wěn)定，此前已經達到設定流量的流量計的檢測值也不會再發(fā)生波動。另一方面，循環(huán)支管線內的化學藥液在循環(huán)過程中被加熱器26加熱至所需的工藝溫度，當三通閥23切換至工藝單元23之后，管路熱量損失較小，該化學藥液的溫度改變也較小。
[0039]綜上所述，本發(fā)明所提出的化學藥液分配系統(tǒng)及其流量控制方法，通過在需要向工藝單元輸出化學藥液時，提前將流量計與循環(huán)泵形成閉環(huán)控制，根據(jù)當前流量計檢測的流量調整循環(huán)泵的轉速直至流量設定值，之后再輸出化學藥液，由此即便在較寬的流量計設定值范圍內，也能夠使工藝單元輸入端的化學藥液工藝流量迅速穩(wěn)定地達到流量設定值；此外，由于化學藥液分配系統(tǒng)所采用的元器件功能簡單，價格低廉，也降低了整個系統(tǒng)的成本。
[0040]雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭示如上，然所述諸多實施例僅為了便于說明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領域的技術人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動與潤飾，本發(fā)明所主張的保護范圍應以權利要求書所述為準。
【主權項】
1.一種化學藥液分配系統(tǒng)，其特征在于，包括: 儲液罐，用于存儲化學藥液且具有回液入口和出液口； 化學藥液循環(huán)管線，其一端與所述回液入口相連，另一端與所述出液口相連；所述化學藥液循環(huán)管線上設有循環(huán)泵； 化學藥液輸出管線，其一端與所述化學藥液循環(huán)管線相連，另一端與工藝單元相連；所述化學藥液輸出管線上設有流量計及與該流量計相連的閥門元件，所述流量計用于檢測所述工藝單元輸入端的化學藥液流量； 控制器，用于控制所述循環(huán)泵的轉速； 其中，當需將所述化學藥液輸送到所述工藝單元、且所述閥門元件切換為使所述流量計與所述工藝單元的輸入端之間的傳輸路徑連通之前，所述控制器根據(jù)當前所述流量計檢測的化學藥液流量控制所述循環(huán)泵的轉速。
2.根據(jù)權利要求1所述的化學藥液分配系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器在無需將所述化學藥液輸送至所述工藝單元時控制所述循環(huán)泵的轉速為設定轉速。
3.根據(jù)權利要求1所述的化學藥液分配系統(tǒng)，其特征在于，所述化學藥液循環(huán)管線自所述出液口依次設有所述循環(huán)泵、加熱器、過濾器、壓力傳感器和節(jié)流閥。
4.根據(jù)權利要求3所述的化學藥液分配系統(tǒng)，其特征在于，所述流量計一端連接于所述壓力傳感器和所述節(jié)流閥之間、另一端連接所述閥門元件。
5.一種化學藥液分配系統(tǒng)，其特征在于，包括: 儲液罐，用于存儲化學藥液且具有回液入口和出液口； 循環(huán)主管線，其一端與所述回液入口相連，另一端與所述出液口相連；所述循環(huán)管線上設有循環(huán)泵； 循環(huán)支管線，其一端與所述循環(huán)主管線相連，另一端與所述回液入口相連；所述循環(huán)支管線上設有流量計及與該流量計相連的閥門元件，所述閥門元件與工藝單元相連，所述流量計用于檢測所述工藝單元輸入端的化學藥液流量； 控制器，其在需將所述化學藥液輸送到所述工藝單元、且所述閥門元件切換為使所述流量計與所述工藝單元的輸入端的傳輸路徑連通之前，根據(jù)當前所述流量計檢測的化學藥液流量控制所述循環(huán)泵的轉速。
6.根據(jù)權利要求1所述的化學藥液分配系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器在無需將所述化學藥液輸送至所述工藝單元時控制所述循環(huán)泵的轉速為設定轉速。
7.根據(jù)權利要求6所述的化學藥液分配系統(tǒng)，其特征在于，所述化學藥液循環(huán)管線自所述出液口依次設有所述循環(huán)泵、加熱器、過濾器、壓力傳感器和第一節(jié)流閥。
8.根據(jù)權利要求1所述的化學藥液分配系統(tǒng)，其特征在于，所述流量計一端連接于所述壓力傳感器和所述第一節(jié)流閥之間、另一端連接所述閥門元件。
9.根據(jù)權利要求1所述的化學藥液分配系統(tǒng)，其特征在于，所述閥門元件為三通閥，其輸入端與所述流量計相連，第一輸出端與所述工藝單元的輸入端相連，第二輸出端通過第二節(jié)流閥與所述回液口相連。
10.—種化學藥液分配系統(tǒng)的流量控制方法，其特征在于，所述化學藥液分配系統(tǒng)包括:儲液罐，用于存儲化學藥液且具有回液入口和出液口 ；化學藥液循環(huán)管線，其一端與所述回液入口相連，另一端與所述出液口相連，該化學藥液循環(huán)管線上設有循環(huán)泵；化學藥液輸出管線，其一端與所述化學藥液循環(huán)管線相連，另一端與工藝單元相連，該化學藥液輸出管線上設有流量計及與該流量計相連的閥門元件，所述流量計用于檢測所述工藝單元輸入端的化學藥液流量；以及控制所述循環(huán)泵轉速的控制器；所述流量控制方法包括: 當需將所述化學藥液輸送到所述工藝單元時，通過所述控制器根據(jù)當前所述流量計檢測的化學藥液流量控制所述循環(huán)泵的轉速； 之后當所述流量計檢測的流量達到設定流量時，將所述閥門元件切換為使所述流量計與所述工藝單元的輸入端之間的傳輸路徑連通。
11.根據(jù)權利要求10所述的流量控制方法，其特征在于，還包括:當無需將所述化學藥液輸送到所述工藝單元時，通過所述閥門元件切斷所述流量計與所述工藝單元的輸入端之間的傳輸路徑，通過所述控制器控制所述循環(huán)泵的轉速為設定轉速。
12.—種化學藥液分配系統(tǒng)的流量控制方法，其特征在于，所述化學藥液分配系統(tǒng)包括:儲液罐，用于存儲化學藥液且具有回液入口和出液口 ；循環(huán)主管線，其一端與所述回液入口相連，另一端與所述出液口相連，該循環(huán)管線上設有循環(huán)泵；循環(huán)支管線，其一端與所述循環(huán)主管線相連，另一端與所述回液入口相連；所述循環(huán)支管線上設有流量計及與該流量計相連的閥門元件，所述閥門元件與工藝單元相連，所述流量計用于檢測所述工藝單元輸入端的化學藥液流量；以及控制所述循環(huán)泵轉速的控制器； 所述流量控制方法包括: 當需將所述化學藥液輸送到所述工藝單元時，通過所述控制器根據(jù)當前所述流量計檢測的化學藥液流量控制所述循環(huán)泵的轉速； 之后當所述流量計檢測的流量達到設定流量時，將所述閥門元件切換為使所述流量計與所述工藝單元的輸入端之間的傳輸路徑連通。
13.根據(jù)權利要求12所述的流量控制方法，其特征在于，還包括:當無需將所述化學藥液輸送到所述工藝單元時，通過所述閥門元件切斷所述流量計與所述工藝單元的輸入端之間的傳輸路徑，通過所述控制器控制所述循環(huán)泵的轉速為設定轉速。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種化學藥液分配系統(tǒng)，包括：儲液罐，具有回液入口和出液口；化學藥液循環(huán)管線，一端與回液入口相連，另一端與出液口相連，該化學藥液循環(huán)管線上設有循環(huán)泵；化學藥液輸出管線，一端與化學藥液循環(huán)管線相連，另一端與工藝單元相連，該化學藥液輸出管線上設有流量計及閥門元件，該流量計用于檢測工藝單元輸入端的化學藥液流量；控制器，用于控制所述循環(huán)泵的轉速。其中，當需將化學藥液輸送到所述工藝單元、且所述閥門元件切換為使所述流量計與所述工藝單元之間的傳輸路徑連通之前，所述控制器根據(jù)當前流量計檢測的化學藥液流量控制所述循環(huán)泵的轉速。本發(fā)明能夠在寬范圍內調節(jié)工藝單元所需的工藝流量。
【IPC分類】H01L21-67
【公開號】CN104681470
【申請?zhí)枴緾N201510103514
【發(fā)明人】何金群, 王銳廷, 張豹
【申請人】北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
【公開日】2015年6月3日
【申請日】2015年3月10日