開一觀察孔，用厚石英玻璃密封，用于觀察銅肩或銅粉的氧化程度，當(dāng)銅肩或銅粉大部分被氧化時應(yīng)及時更換，更換該部件時只需要關(guān)閉其前后閥門即可將其拆卸更換。
[0032]本發(fā)明干燥冷卻過濾器有冷卻水進(jìn)水口和冷卻水出水口，用于對工作氣體進(jìn)行降溫，降溫目標(biāo)為20~25°C，并帶有溫度傳感器用于檢測冷卻后的工作氣體溫度；設(shè)有排氣排污閥，在更換該部件時只需要關(guān)閉其前后閥門即可將其拆卸更換。由于工作氣體中含水極少，故采用硅膠吸水，另為防止CuO等固體小顆粒進(jìn)入工作氣體中，此處需要進(jìn)行過慮處理。
[0033]本發(fā)明低壓側(cè)抽真空電磁閥，其孔徑較大，在剛開機(jī)時用于迅速降低軸快流0)2激光器工作主體的絕對壓強(qiáng)，以達(dá)到快速啟動的目的；羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱抽真空電磁閥，目的是維持齒輪箱的絕對壓強(qiáng)低于循環(huán)系統(tǒng)的絕對壓強(qiáng)，這樣就可以避免大量的潤滑油進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng)，但它同時也使經(jīng)過羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱抽真空電磁閥的工作氣體含有大量的潤滑油蒸汽；在正常工作時羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱抽真空電磁閥是常開的，而低壓側(cè)抽真空電磁閥根據(jù)情況可適當(dāng)開啟或不開。
[0034]本發(fā)明真空泵排空電磁閥用于真空泵向大氣排空，在剛開機(jī)前，由于因長時間未開機(jī)的系統(tǒng)泄漏而造成的循環(huán)系統(tǒng)中含有雜質(zhì)氣體相對較多，故在剛開機(jī)時，循環(huán)系統(tǒng)應(yīng)在剛開機(jī)的0.5~1小時之內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)換氣，具體由氣體單元輸出電磁閥與真空泵排空電磁閥配合進(jìn)行；一般若循環(huán)系統(tǒng)在未開機(jī)期間總泄漏在5mbar以內(nèi)時，可不進(jìn)行換氣，當(dāng)儲氣罐一輸入電磁閥開啟時，工作氣體進(jìn)入儲氣罐一就開始了工作氣體凈化流程，并最終經(jīng)儲氣罐二輸出電磁閥進(jìn)入軸快流002激光器工作主體；真空泵排空電磁閥與儲氣罐一輸入電磁閥都是通徑很大阻力很小的大通徑電磁閥，在真空泵開啟時必須有一個是開啟的，也只能有一個是開啟的，當(dāng)然操作者可根據(jù)工作氣體情況隨時進(jìn)行切換。
[0035]本發(fā)明在工作氣體凈化回收再利用過程中，儲氣罐二輸出電磁閥的開啟與關(guān)閉是由控制系統(tǒng)根據(jù)軸快流0)2激光器工作主體中的工作壓強(qiáng)高低來決定的，這還涉及到齒輪箱抽真空電磁閥和低壓側(cè)抽真空電磁閥，它們?nèi)吖餐浜弦员ＷC軸快流CO2激光器工作主體工作在一穩(wěn)定壓強(qiáng)附近。
[0036]本發(fā)明在工作氣體凈化回收再利用過程中，由于泄漏進(jìn)系統(tǒng)的氮氣經(jīng)過較長時間會使工作氣體中氮氣含量超過規(guī)定比例上限，這時就需要開啟特殊工作體更新程序，即先關(guān)閉儲氣罐一輸入電磁閥，同時打開真空泵排空電磁閥，系統(tǒng)向外排氣，當(dāng)排氣罐二壓強(qiáng)低于0.12MPa時，先關(guān)閉真空泵排空電磁閥同時打開儲氣罐一輸入電磁閥，再停用儲氣罐二輸出電磁閥同時啟用氣體單元輸出電磁閥，通過氣體單元輸出電磁閥按比例向系統(tǒng)中送0)2和He，這樣就可以降低工作氣體中的氮氣含量，直到工作氣體中氮氣含量降到規(guī)定比例下限附近或排氣罐二壓強(qiáng)達(dá)到0.1SMPa上限時，再停用氣體單元輸出電磁閥同時啟用儲氣罐二輸出電磁閥；一般當(dāng)循環(huán)系統(tǒng)漏率一定時，開啟特殊工作氣體更新程序周期也就定下來了。
[0037]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非是對本發(fā)明作任何其他形式的限制，而依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)所作的任何修改或等同變化，仍屬于本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO 2激光器，包括CO 2高壓氣瓶(12)、He高壓氣瓶(13)、隊高壓氣瓶(14)、氣體單元(15)、軸快流CO 2激光器工作主體(20)、真空泵、儲氣罐一(22)、油水分離冷卻過濾器(24)、加熱除氧器(25)、干燥冷卻過濾器(26)、儲氣罐二(28)和真空泵排空電磁閥(37)，其特征在于:所述軸快流0)2激光器工作主體(20)內(nèi)高壓側(cè)熱交換器(3)通過管道與氣體單元輸出電磁閥(16)和儲氣罐二輸出電磁閥(34)相連，所述氣體單元輸出電磁閥(16)通過管道與氣體單元(15)相連，所述氣體單元(15)通過管道與0)2高壓氣瓶減壓閥(17)、He高壓氣瓶減壓閥(18)和N 2高壓氣瓶減壓閥(19)相連，所述CO2高壓氣瓶減壓閥(17 )接CO 2高壓氣瓶(12 )，所述He高壓氣瓶減壓閥(18 )接He高壓氣瓶(13)，所述隊高壓氣瓶減壓閥(19)接N 2高壓氣瓶(14)，所述儲氣罐二輸出電磁閥(34)接儲氣罐二(28)，所述儲氣罐二(28)通過干燥冷卻過濾器輸出閥(33)接干燥冷卻過濾器(26)，所述干燥冷卻過濾器(26)下方有干燥冷卻過濾器進(jìn)水口(41)和干燥冷卻過濾器出水口(42)，所述干燥冷卻過濾器(26)通過干燥冷卻過濾器輸入閥(32)接加熱除氧器(25)，所述加熱除氧器(25)通過加熱除氧器輸入閥(31)接油水分離冷卻過濾器(24)，所述油水分離冷卻過濾器(24)下方有油水分離冷卻過濾器進(jìn)水口(39)和油水分離冷卻過濾器出水口(40)，所述油水分離冷卻過濾器(24)通過油水分離冷卻過濾器輸入閥(30)接儲氣罐一(22 )，所述儲氣罐一(22 )通過管道儲氣罐一輸入電磁閥(29 )接真空泵，所述儲氣罐一(22)與儲氣罐一輸入電磁閥(29)相連管道一側(cè)有真空泵排空電磁閥(37)，所述真空泵通過管道接低壓側(cè)抽真空電磁閥(8)和齒輪箱抽真空電磁閥(7)，所述軸快流CO2激光器工作主體(20)內(nèi)低壓側(cè)熱交換器(5)通過管道與低壓側(cè)抽真空電磁閥(8)相連，所述軸快流CO2激光器工作主體(20 )內(nèi)齒輪箱(11)通過管道與齒輪箱抽真空電磁閥(7 )相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述軸快流0)2激光器工作主體(20)包括羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)(1)、高壓側(cè)熱交換器(3)、放電管(4)、低壓側(cè)熱交換器(5)和羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱(11)，所述羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)(I)的羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)出風(fēng)口(2)通過管道與高壓側(cè)熱交換器(3)相連，所述羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)(I)的羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口( 6 )通過管道與低壓側(cè)熱交換器(5 )相連，所述放電管(4)在高壓側(cè)熱交換器(3)與低壓側(cè)熱交換器(5)之間，所述放電管(4)通過管道與高壓側(cè)熱交換器(3 )和低壓側(cè)熱交換器(5 )相連，所述羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)(I) 一側(cè)有羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱(11 )，所述高壓側(cè)熱交換器(3)通過管道與氣體單元輸出電磁閥(16)和儲氣罐二輸出電磁閥(34)相連，所述低壓側(cè)熱交換器(5)通過管道與低壓側(cè)抽真空電磁閥(8)相連，所述羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱(11)通過管道與齒輪箱抽真空電磁閥(7)相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述真空泵為正壓輸出真空泵(21)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述儲氣罐一(22)容積為3-5升，額定工作壓強(qiáng)為0.6MPa，所述儲氣罐二(28)容積為1-2升，額定工作壓強(qiáng)為0.6MPa?
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述儲氣罐一(22 )上有壓力傳感器一(23 )，所述儲氣罐二( 28 )上有壓力傳感器二(27)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述儲氣罐一(22 )上設(shè)有儲氣罐一排空取樣閥(36 )，所述儲氣罐二( 28 )上設(shè)有儲氣罐二排空取樣閥(35)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述油水分離冷卻過濾器(24)下方設(shè)有油水分離冷卻過濾器排氣排污閥(34)，所述干燥冷卻過濾器(26)下方設(shè)有干燥冷卻過濾器排氣排污閥(44)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述加熱除氧器(25)下方有加熱除氧器排氣閥(43)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述加熱除氧器(25)內(nèi)有銅粉或銅肩，加熱維持溫度為600°C -700°C。
【專利摘要】一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，本申請工作主體與氣體單元輸出電磁閥和儲氣罐二輸出電磁閥相連，氣體單元輸出電磁閥與氣體單元相連，氣體單元與CO2高壓氣瓶、He高壓氣瓶和N2高壓氣瓶相連，儲氣罐二輸出電磁閥接儲氣罐二，儲氣罐二接干燥冷卻過濾器，干燥冷卻過濾器接加熱除氧器，加熱除氧器接油水分離冷卻過濾器，油水分離冷卻過濾器接儲氣罐一，儲氣罐一接真空泵，真空泵接低壓側(cè)抽真空電磁閥和齒輪箱抽真空電磁閥，工作主體內(nèi)低壓側(cè)熱交換器與低壓側(cè)抽真空電磁閥相連，工作主體內(nèi)齒輪箱與齒輪箱抽真空電磁閥相連。本發(fā)明對現(xiàn)有軸快流CO2激光器配以相應(yīng)的回收再利用裝置，以實現(xiàn)對工作氣體的回收再利用。
【IPC分類】H01S3-036
【公開號】CN104821476
【申請?zhí)枴緾N201510291261
【發(fā)明人】司立眾, 劉旭明, 鞠全勇, 鄭李明, 高峰, 周洪
【申請人】金陵科技學(xué)院
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年6月1日