一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，屬于太陽能電池制造技術領域。
【背景技術】
[0002]太陽能是人類取之不盡用之不竭的可再生能源，也是清潔能源，不產(chǎn)生任何的環(huán)境污染。在太陽能的有效利用當中；大陽能光電利用是近些年來發(fā)展最快，最具活力的研宄領域，是其中最受矚目的項目之一。為此，人們研制和開發(fā)了太陽能電池。制作太陽能電池主要是以半導體材料為基礎，其工作原理是利用光電材料吸收光能后發(fā)生光電于轉換反應，根據(jù)所用材料的不同。
[0003]太陽能電池轉換效率的高低是評價一塊太陽能電池的重要指標。而太陽能電池轉換效率的高低不僅與太陽能電池的材料、結構有關，還與太陽能電池的生產(chǎn)工藝有重要的聯(lián)系。

【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術問題在于提供一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，它工藝流程簡單、合理，生產(chǎn)效率高，能有效提高太陽能電池轉換效率。
[0005]本發(fā)明所要解決的技術問題采取以下技術方案來實現(xiàn):
一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，它包括以下幾個步驟:
(1)清洗、制絨:用化學堿或酸腐蝕硅片，以去除硅片表面機械損傷層，并進行硅片表面織構化，形成金字塔結構的絨面從而減少光反射；
(2)擴散、刻蝕:先將清洗后的硅片使用離心甩干機進行甩干，再將甩干后的硅片放置在擴散設備上進行擴散，最后用腐蝕磷硅玻璃和等離子刻蝕邊緣電流通路；
(3)檢測:對擴散、刻蝕后的硅片進行檢測，看是否滿足工藝要求，剔出不合格產(chǎn)品；
(4)減反射膜沉積:采用等離子體增強型化學氣相沉積技術在電池表面沉積一層氮化硅減反射膜，不僅可以減少光的反射，而且有大量的氫原子進入，因此也起到了很好的表面鈍化和體鈍化的效果；
(5)印刷、燒結:為了從電池上獲取電流，一般在電池的正、背兩面制作電極。正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有高的透過率，另一方面要保證柵網(wǎng)電極有一個盡可能低的接觸電阻。背面做成BSF結構，以減小表面電子復合，印刷后要進行高溫燒結；
(6)檢測分選:為了保證產(chǎn)品質量的一致性，通常要對每個電池片測試，并按電流和功率大小進行分類，也可根據(jù)電池效率進行分級；
(7)包裝入庫:將分選好的電池片一部分可以進行包裝，入庫。
[0006]上述步驟(2)中對硅片進行離心甩干，是在真空條件下進行的。
[0007]上述步驟(2)中擴散設備工作溫度為800-900°C。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明工藝流程簡單、合理，能有效提高產(chǎn)品質量及成品率，節(jié)約資源；降低了對制作太陽能電池材料的要求，提高了電池短路電流和開路電壓。
【附圖說明】
[0009]圖1為本發(fā)明工藝流程圖。
【具體實施方式】
[0010]為了對本發(fā)明的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本發(fā)明。
[0011]如圖1所示，一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，它包括以下幾個步驟:
(1)清洗、制絨:用化學堿或酸腐蝕硅片，以去除硅片表面機械損傷層，并進行硅片表面織構化，形成金字塔結構的絨面從而減少光反射；
(2)擴散、刻蝕:先將清洗后的硅片使用離心甩干機進行甩干，再將甩干后的硅片放置在擴散設備上進行擴散，最后用腐蝕磷硅玻璃和等離子刻蝕邊緣電流通路；
(3)檢測:對擴散、刻蝕后的硅片進行檢測，看是否滿足工藝要求，剔出不合格產(chǎn)品；
(4)減反射膜沉積:采用等離子體增強型化學氣相沉積技術在電池表面沉積一層氮化硅減反射膜，不僅可以減少光的反射，而且有大量的氫原子進入，因此也起到了很好的表面鈍化和體鈍化的效果；
(5)印刷、燒結:為了從電池上獲取電流，一般在電池的正、背兩面制作電極。正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有高的透過率，另一方面要保證柵網(wǎng)電極有一個盡可能低的接觸電阻。背面做成BSF結構，以減小表面電子復合，印刷后要進行高溫燒結；
(6)檢測分選:為了保證產(chǎn)品質量的一致性，通常要對每個電池片測試，并按電流和功率大小進行分類，也可根據(jù)電池效率進行分級；
(7)包裝入庫:將分選好的電池片一部分可以進行包裝，入庫。
[0012]上述步驟(2)中對硅片進行離心甩干，是在真空條件下進行的。
[0013]上述步驟(2)中擴散設備工作溫度為800-900°C。
[0014]本發(fā)明工藝流程簡單、合理，能有效提高產(chǎn)品質量及成品率，節(jié)約資源；降低了對制作太陽能電池材料的要求，提高了電池短路電流和開路電壓。
[0015]以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點。本行業(yè)的技術人員應該了解，本發(fā)明不受上述實施例的限制，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本發(fā)明范圍內。本發(fā)明要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【主權項】
1.一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，其特征在于:它包括以下幾個步驟:(1)清洗、制絨:用化學堿或酸腐蝕硅片，以去除硅片表面機械損傷層，并進行硅片表面織構化，形成金字塔結構的絨面從而減少光反射；(2)擴散、刻蝕:先將清洗后的硅片使用離心甩干機進行甩干，再將甩干后的硅片放置在擴散設備上進行擴散，最后用腐蝕磷硅玻璃和等離子刻蝕邊緣電流通路；(3)檢測:對擴散、刻蝕后的硅片進行檢測，看是否滿足工藝要求，剔出不合格產(chǎn)品；(4)減反射膜沉積:采用等離子體增強型化學氣相沉積技術在電池表面沉積一層氮化硅減反射膜，不僅可以減少光的反射，而且有大量的氫原子進入，因此也起到了很好的表面鈍化和體鈍化的效果；(5)印刷、燒結:為了從電池上獲取電流，一般在電池的正、背兩面制作電極，正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有高的透過率，另一方面要保證柵網(wǎng)電極有一個盡可能低的接觸電阻，背面做成BSF結構，以減小表面電子復合，印刷后要進行高溫燒結；(6)檢測分選:為了保證產(chǎn)品質量的一致性，通常要對每個電池片測試，并按電流和功率大小進行分類，也可根據(jù)電池效率進行分級；(7)包裝入庫:將分選好的電池片一部分可以進行包裝、入庫。2.根據(jù)權利要求1所述的一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，其特征在于:所述步驟(2)中對硅片進行離心甩干，是在真空條件下進行的。3.根據(jù)權利要求1所述的一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，其特征在于:所述步驟(2)中擴散設備工作溫度為800-900 °C。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，它包括以下幾個步驟：（1）清洗、制絨；（2）擴散、刻蝕；（3）檢測；（4）減反射膜沉積；（5）印刷、燒結；（6）檢測分選；（7）包裝入庫；為了保證產(chǎn)品質量的一致性，通常要對每個電池片測試，并按電流和功率大小進行分類，也可根據(jù)電池效率進行分級；對硅片進行離心甩干，是在真空條件下進行的；擴散設備工作溫度為800-900℃。本發(fā)明工藝流程簡單、合理，能有效提高產(chǎn)品質量及成品率，節(jié)約資源；降低了對制作太陽能電池材料的要求，提高了電池短路電流和開路電壓。
【IPC分類】H01L31/18
【公開號】CN104900761
【申請?zhí)枴緾N201510287576
【發(fā)明人】楊道祥, 楊波, 李偉業(yè), 王娜
【申請人】安徽旭能光伏電力有限公司
【公開日】2015年9月9日
【申請日】2015年5月29日