減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔及機(jī)臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制備工藝的設(shè)備，具體涉及一種減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔及機(jī)臺。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，半導(dǎo)體制備流程中常用的美國泛林公司(Lam)生產(chǎn)的Lam9400DFM型和Lam9600DFM型反應(yīng)腔,在閘閥(gate valve)關(guān)閉的時候會負(fù)載制動(load lock),由于制動力非常大，會對反應(yīng)腔造成振動。并且如果其他反應(yīng)腔正在進(jìn)行工藝過程中，其很容易會由于振動而導(dǎo)致反應(yīng)腔壓力變化，并導(dǎo)致工藝停止。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供一種減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔及機(jī)臺，可減小閘閥開閉時對反應(yīng)腔及其所在機(jī)臺造成的振動。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔，該反應(yīng)腔與其它腔室的連接口處設(shè)有閘閥，所述閘閥的開閉為氣動控制，其設(shè)有用于控制該閘閥打開的第一氣路和用于控制閘閥關(guān)閉的第二氣路；其特點是，
上述閘閥的第一氣路和第二氣路上分別設(shè)有控制氣體流量的針閥，延長閘閥開閉時間。
[0005]上述第一氣路上設(shè)有氣壓計，實時檢測控制閘閥打開的氣路的氣壓。
[0006]上述氣壓計采用數(shù)字壓力計。
[0007]控制上述閘閥開閉的氣路內(nèi)傳輸清潔干燥的壓縮空氣。
[0008]上述反應(yīng)腔通過閘閥連接傳輸腔。
[0009]一種半導(dǎo)體制備機(jī)臺，其特點是，該機(jī)臺設(shè)有上述的反應(yīng)腔。
[0010]本發(fā)明減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔及機(jī)臺和現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體反應(yīng)腔相比，其優(yōu)點在于，本發(fā)明中控制閘閥開閉的氣路加設(shè)針閥，調(diào)節(jié)控制閘閥開閉氣路的氣體流量，控制閘閥的開閉速度，用來延長閘閥的開閉時間，可從小于I秒延長至3秒，從而減少閘閥開閉做造成的振動，保證機(jī)臺上其他腔室的正常工作；
本發(fā)明中控制閘閥打開的氣路上設(shè)有壓力計，可實時檢測控制閘閥打開的氣路內(nèi)的氣體壓力，由操作人員實時勘察，保證閘閥正常工作。
【附圖說明】
[0011]圖1為本發(fā)明減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0012]以下結(jié)合附圖，進(jìn)一步說明本發(fā)明的具體實施例。
[0013]如圖1所示，本發(fā)明公開一種實現(xiàn)減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔，其包含有用于制備半導(dǎo)體器件的反應(yīng)腔1，該反應(yīng)腔I與其它腔室的連接口處設(shè)有閘閥(gate value) 2。本實施例中，閘閥2設(shè)置在反應(yīng)腔I與傳輸腔3之間的連接口處。
[0014]該閘閥2的開閉為氣動控制，其設(shè)有用于控制該閘閥2打開的第一氣路5和用于控制閘閥2關(guān)閉的第二氣路6。該第一氣路5和第二氣路6中傳輸?shù)臍怏w為清潔干燥的壓縮空氣(CDA)。
[0015]閘閥2的第一氣路5和第二氣路6上分別設(shè)有控制氣體流量的針閥4，該針閥4可用于調(diào)節(jié)第一氣路5和第二氣路6的氣體流速和流量，從而控制閘閥進(jìn)行開閉操作的動作時間，此處為了降低閘閥開閉所造成的振動，即通過針閥4延長閘閥2的開閉時間，實現(xiàn)將閘閥開閉時間從小于I秒延長至大約3秒。
[0016]第一氣路5上設(shè)有氣壓計7，用于實時檢測控制閘閥打開的氣路內(nèi)清潔干燥的壓縮空氣(CDA)的氣壓。該氣壓計采用數(shù)字壓力計(digital pressure gauge),可實時檢測控制閘閥打開的氣路內(nèi)的氣體壓力，由操作人員實時勘察，保證閘閥正常工作。
[0017]本發(fā)明還公開了一種半導(dǎo)體制備機(jī)臺，該機(jī)臺設(shè)有以上所描述的減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔。
[0018]盡管本發(fā)明的內(nèi)容已經(jīng)通過上述優(yōu)選實施例作了詳細(xì)介紹，但應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到上述的描述不應(yīng)被認(rèn)為是對本發(fā)明的限制。在本領(lǐng)域技術(shù)人員閱讀了上述內(nèi)容后，對于本發(fā)明的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)由所附的權(quán)利要求來限定。
【主權(quán)項】
1.一種減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔，該反應(yīng)腔與其它腔室的連接口處設(shè)有閘閥，所述閘閥的開閉為氣動控制，其設(shè)有用于控制該閘閥打開的第一氣路和用于控制閘閥關(guān)閉的第二氣路；其特征在于， 所述閘閥的第一氣路和第二氣路上分別設(shè)有控制氣體流量的針閥，延長閘閥開閉時間。2.如權(quán)利要求1所述的減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔，其特征在于，所述第一氣路上設(shè)有氣壓計，實時檢測控制閘閥打開的氣路的氣壓。3.如權(quán)利要求2所述的減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔，其特征在于，所述氣壓計采用數(shù)字壓力計。4.如權(quán)利要求1所述的減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔，其特征在于，控制所述閘閥開閉的氣路內(nèi)傳輸清潔干燥的壓縮空氣。5.如權(quán)利要求1所述的減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔，其特征在于，所述反應(yīng)腔通過閘閥連接傳輸腔。6.一種半導(dǎo)體制備機(jī)臺，其特征在于，該機(jī)臺設(shè)有如權(quán)利要求1至5中任意一項權(quán)利要求所述的反應(yīng)腔。
【專利摘要】本發(fā)明公開一種減小閘閥開閉時振動的反應(yīng)腔，該反應(yīng)腔與其它腔室的連接口處設(shè)有閘閥，所述閘閥的開閉為氣動控制，其設(shè)有用于控制該閘閥打開的第一氣路和用于控制閘閥關(guān)閉的第二氣路；閘閥的第一氣路和第二氣路上分別設(shè)有控制氣體流量的針閥，延長閘閥開閉時間。本發(fā)明中控制閘閥開閉的氣路加設(shè)針閥，調(diào)節(jié)控制閘閥開閉氣路的氣體流量，控制閘閥的開閉速度，用來延長閘閥的開閉時間，可從小于1秒延長至3秒，從而減少閘閥開閉做造成的振動，保證機(jī)臺上其他腔室的正常工作。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN104934343
【申請?zhí)枴緾N201410099788
【發(fā)明人】張軍, 包中誠
【申請人】上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2014年3月18日