一種教學用掃描電子顯微鏡的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種教學設備技術領域，特別是涉及一種教學用掃描電子顯微鏡。
【背景技術】
[0002]掃描電子顯微鏡是1965年發(fā)明的較現(xiàn)代的細胞生物學研究工具，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射，二次電子能夠產生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐點成像的方法獲得放大像。
[0003]掃描電鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀性貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像，掃描電鏡的優(yōu)點是，①有較高的放大倍數(shù)，20-20萬倍之間連續(xù)可調有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；③試樣制備簡單，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織性貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當今十分有用的科學研究儀器。
[0004]掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息，通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察，當一束極細的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時，被激發(fā)的區(qū)域將產生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產生的電磁輻射，同時可產生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等離子體)，目前現(xiàn)有的電子掃描電子顯微鏡結構復雜，操作不方便，不容易維護，不適合教學使用。

【發(fā)明內容】

[0005]本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種操作方便，顯示效果好，方便維護，非常適合教學使用的教學用掃描電子顯微鏡。
[0006]為解決上述問題，本發(fā)明采用如下技術方案:一種教學用掃描電子顯微鏡，包括殼體、電子槍、散光像差補償器和樣品臺，所述電子槍設在殼體頂部，電子槍能夠產生掃描電子束，作為信號的激發(fā)源，所述電子槍下方依次設置有陽極和會聚光圈，所述會聚光圈內依次設置有聚光鏡頭一和聚光鏡頭二，聚光鏡一、聚光鏡二和聚光鏡三能夠縮小束斑的直徑，散光像差補償器可以提升電子束的亮度，所述散光像差補償器設在聚光鏡頭二下方，所述散光像差補償器一側設置有一側設置有調節(jié)手柄，調節(jié)手柄保持調節(jié)操作方便，所述散光像差補償器下方設置有偏轉線圈，所述樣品臺上設置有聚光鏡頭三，所述聚光鏡頭三呈傾角設置，所述殼體底部設置有真空裝置，真空裝置防止樣品污染，提供高的真空度，所述真空裝置與殼體無縫連接，呈一體式設置，方便維護使用。
[0007]作為優(yōu)選，所述聚光鏡頭三一側設置有二次電子探測器，能夠收集產生的物理信號，放大作為顯像系統(tǒng)的調制信號。
[0008]作為優(yōu)選，所述二次電子探測器與殼體固定連接，保持結構穩(wěn)定可靠。
[0009]作為優(yōu)選，所述樣品臺為電動樣品臺，方便進行操控。
[0010]作為優(yōu)選，所述樣品臺與殼體固定連接，保持結構穩(wěn)定可靠。
[0011 ] 該技術方案具有操作方便，顯示效果好，方便維護，非常適合教學使用的特點。
[0012]本發(fā)明的有益效果是:設置的電子槍能夠產生掃描電子束，作為信號的激發(fā)源，聚光鏡一、聚光鏡二和聚光鏡三能夠縮小束斑的直徑，散光像差補償器可以提升電子束的亮度，調節(jié)手柄保持調節(jié)操作方便，真空裝置防止樣品污染，提供高的真空度，二次電子探測器能夠收集產生的物理信號，放大作為顯像系統(tǒng)的調制信號。
【附圖說明】
[0013]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1為本發(fā)明的一種教學用掃描電子顯微鏡的結構圖。
【具體實施方式】
[0015]參閱圖1所不，一種教學用掃描電子顯微鏡，包括殼體1、電子槍2、散光像差補償器3和樣品臺4，所述電子槍2設在殼體I頂部，所述電子槍2下方依次設置有陽極5和會聚光圈6，所述會聚光圈6內依次設置有聚光鏡頭一 7和聚光鏡頭二 8，所述散光像差補償器3設在聚光鏡頭二 8下方，所述散光像差補償器3 —側設置有一側設置有調節(jié)手柄9，所述散光像差補償器3下方設置有偏轉線圈10，所述樣品臺4上設置有聚光鏡頭三11，所述聚光鏡頭三11呈傾角設置，所述殼體I底部設置有真空裝置12，所述真空裝置12與殼體I無縫連接。
[0016]所述聚光鏡頭三11 一側設置有二次電子探測器13，在使用時，能夠收集產生的物理信號，放大作為顯像系統(tǒng)的調制信號。
[0017]所述二次電子探測器13與殼體I固定連接，在使用時，保持結構穩(wěn)定可靠。
[0018]所述樣品臺4為電動樣品臺，在使用時，方便進行操控。
[0019]所述樣品臺4與殼體I固定連接，在使用時，保持結構穩(wěn)定可靠。
[0020]在使用時，將樣品放置在樣品臺4上，啟動電子槍2放射電子束，經過聚光鏡頭一7、聚光鏡頭二 8和聚光鏡頭三11聚光，同時通過散光像差補償器3進行補償，電子束在樣品上產生物理信號被二次電子探測器13檢測，放大作為顯像系統(tǒng)的調制信號，即可顯示觀測。
[0021]本發(fā)明的有益效果是:設置的電子槍能夠產生掃描電子束，作為信號的激發(fā)源，聚光鏡一、聚光鏡二和聚光鏡三能夠縮小束斑的直徑，散光像差補償器可以提升電子束的亮度，調節(jié)手柄保持調節(jié)操作方便，真空裝置防止樣品污染，提供高的真空度，二次電子探測器能夠收集產生的物理信號，放大作為顯像系統(tǒng)的調制信號。
[0022]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何不經過創(chuàng)造性勞動想到的變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內，因此，本發(fā)明的保護范圍應該以權利要求書所限定的保護范圍為準。
【主權項】
1.一種教學用掃描電子顯微鏡，其特征在于:包括殼體、電子槍、散光像差補償器和樣品臺，所述電子槍設在殼體頂部，所述電子槍下方依次設置有陽極和會聚光圈，所述會聚光圈內依次設置有聚光鏡頭一和聚光鏡頭二，所述散光像差補償器設在聚光鏡頭二下方，所述散光像差補償器一側設置有一側設置有調節(jié)手柄，所述散光像差補償器下方設置有偏轉線圈，所述樣品臺上設置有聚光鏡頭三，所述聚光鏡頭三呈傾角設置，所述殼體底部設置有真空裝置，所述真空裝置與殼體無縫連接。2.根據(jù)權利要求1所述的教學用掃描電子顯微鏡，其特征在于:所述聚光鏡頭三一側設置有二次電子探測器。3.根據(jù)權利要求1所述的教學用掃描電子顯微鏡，其特征在于:所述二次電子探測器與殼體固定連接。4.根據(jù)權利要求1所述的教學用掃描電子顯微鏡，其特征在于:所述樣品臺為電動樣P Ζλ叩□ °5.根據(jù)權利要求1所述的教學用掃描電子顯微鏡，其特征在于:所述樣品臺與殼體固定連接。
【專利摘要】本發(fā)明公開一種教學用掃描電子顯微鏡，包括殼體、電子槍、散光像差補償器和樣品臺，所述電子槍設在殼體頂部，所述電子槍下方依次設置有陽極和會聚光圈，所述會聚光圈內依次設置有聚光鏡頭一和聚光鏡頭二，所述散光像差補償器設在聚光鏡頭二下方，所述散光像差補償器一側設置有調節(jié)手柄，所述散光像差補償器下方設置有偏轉線圈，所述樣品臺上設置有聚光鏡頭三，所述聚光鏡頭三呈傾角設置，所述殼體底部設置有真空裝置，所述真空裝置與殼體無縫連接，該教學用掃描電子顯微鏡操作方便，顯示效果好，方便維護，非常適合教學使用。
【IPC分類】H01J31/28
【公開號】CN105097391
【申請?zhí)枴緾N201510498386
【發(fā)明人】曾玥
【申請人】成都格瑞思文化傳播有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2015年8月14日