一種機械掃描裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導體器件制造控制系統(tǒng)，即注入機，特別地，涉及一種用于離子注入機機械掃描裝置。
【背景技術】
[0002]隨著半導體工藝的發(fā)展，機械掃描能否穩(wěn)定對于離子注入系統(tǒng)愈發(fā)重要，對注入產(chǎn)品的質量和離子注入機的產(chǎn)業(yè)化有著很大的影響。如果離子注入機引出束流能量很低時，特別是大束流、傳輸路徑長的場合，由于空間電荷效應的影響，離子束發(fā)散嚴重，其傳輸效率極低，使得最后到達注入晶片的束流小，束品質差，不能滿足注入工藝要求；機械掃描裝置對于超低能大束流離子束的傳輸有著特殊的意義。
[0003]機械掃描裝置的精準度是最終得到高品質產(chǎn)品的基礎，已然成為離子注入機向前發(fā)展的必要因素。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明公開了一種機械掃描裝置，可用于離子注入機系統(tǒng)；其運動穩(wěn)定，對束流掃描精準，良好的控制上下運動，從而使靶臺接到的束流質量最為良好。
[0005]本發(fā)明通過以下技術方案實現(xiàn):
[0006]1.一種束流檢測及分析裝置，包括:轉驅動裝置(I)、側向調節(jié)連桿機構(2)、氣浮墊模塊(3)、氣浮軸模塊(4)，其特征在于:旋轉驅動裝置帶動氣浮軸上下運動從而實現(xiàn)機械掃描束流。
[0007]2.如權利要求1所述的一種機械掃描裝置，旋轉驅動裝置(I)包括一個伺服電機及一個諧波減速組件，一個角度限制塊，保證電極平穩(wěn)的運行，旋轉角度不會超過極限位置。
[0008]3.如權利要求1所述的一種機械掃描裝置，側向調節(jié)連桿機構(2)通過電機運動帶動氣浮軸運動。
[0009]4.如權利要求1所述的一種機械掃描裝置,氣浮墊模塊(3)由一氣浮墊及其安裝結構組成，其特征在于可保證軸承穩(wěn)定運動，也起到導向的作用。
[0010]5.如權利要求1所述的一種機械掃描裝置，氣浮軸模塊(4)由氣浮軸承及其氣浮軸套，其特征在于:氣浮軸套通過沖氣保證其本身在軸承上平穩(wěn)運動。
[0011]本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點:
[0012]1.噪音小，干凈無污染。
[0013]2.功能可靠，穩(wěn)定性好。
[0014]3.易于控制，不需經(jīng)常維護和更換。
【附圖說明】
[0015]圖1機械掃描裝置總結構圖
[0016]圖2氣浮墊模塊結構圖
[0017]圖3旋轉驅動機構結構圖
【具體實施方式】
[0018]下面結合附圖1、附圖2和附圖3對本發(fā)明作進一步的介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。
[0019]參見圖1、圖2和圖3，一種機械掃描裝置分四部分，旋轉驅動裝置(I)、側向調節(jié)連桿機構(2)、氣浮墊模塊(3)、氣浮軸模塊(4)。其中旋轉驅動裝置(I)帶動側向調節(jié)連桿機構(2)運動，從而使氣浮軸模塊(4)上下穩(wěn)定運動，而氣浮墊模塊(3)保證軸承穩(wěn)定運動，也起到導向的作用。
[0020]在該實施方式中，旋轉驅動裝置(I)由一個伺服電機和一個諧波減速器主要部件構成，電機為驅動部件，來驅動側向調節(jié)連桿機構(2)進行運動，采用諧波減速器是為了更好地保障側向調節(jié)連桿機構(2)的平穩(wěn)運動。
[0021]在該實施方式中，氣浮墊模塊(3)由一氣浮墊及其安裝結構組成，其特征在于可保證軸承穩(wěn)定運動，也起到導向的作用。
[0022]在該實施方式中，氣浮軸模塊(4)由氣浮軸承及其氣浮軸套，其特征在于:氣浮軸套通過沖氣保證其本身在軸承上平穩(wěn)運動。
[0023]本發(fā)明專利的特定實施例已對本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
【主權項】
1.一種機械掃描裝置，包括:旋轉驅動裝置(I)、側向調節(jié)連桿機構(2)、氣浮墊模塊(3)、氣浮軸模塊(4)，其特征在于:旋轉驅動裝置帶動氣浮軸上下運動從而實現(xiàn)機械掃描束流。2.如權利要求1所述的一種機械掃描裝置，旋轉驅動裝置(I)包括一個伺服電機及一個諧波減速組件，一個角度限制塊，保證電極平穩(wěn)的運行，旋轉角度不會超過極限位置。3.如權利要求1所述的一種機械掃描裝置，側向調節(jié)連桿機構(2)通過電機運動帶動氣浮軸運動。4.如權利要求1所述的一種機械掃描裝置，氣浮墊模塊(3)由一氣浮墊及其安裝結構組成，其特征在于可保證軸承穩(wěn)定運動，也起到導向的作用。5.如權利要求1所述的一種機械掃描裝置，氣浮軸模塊(4)由氣浮軸承及其氣浮軸套，其特征在于:氣浮軸套通過沖氣保證其本身在軸承上平穩(wěn)運動。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種機械掃描裝置，包括：旋轉驅動裝置(1)、側向調節(jié)連桿機構(2)、氣浮墊模塊(3)、氣浮軸模塊(4)，其中旋轉驅動裝置(1)驅動側向調節(jié)連桿機構(2)帶動氣浮軸模塊(4)上下運動，其中氣浮墊模塊(3)在其中起導向作用。本發(fā)明涉及離子注入裝置，隸屬于半導體制造領域。
【IPC分類】H01J37/317, H01J37/20
【公開號】CN105097395
【申請?zhí)枴緾N201410209360
【發(fā)明人】梁旭
【申請人】北京中科信電子裝備有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2014年5月19日