小型化可變陶瓷真空電容器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種可變陶瓷真空電容器，尤其涉及一種小型化可變陶瓷真空電容器。
【背景技術(shù)】
[0002]如圖1所示，可變陶瓷真空電容器主要由密封在陶瓷絕緣外殼I中的電極組與實(shí)現(xiàn)容量調(diào)節(jié)的轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)兩部分組成。電極組2是由兩組同心的圓筒形電極環(huán)焊接在電極盤上組成，轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)包括拉桿6、導(dǎo)套7、轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿4與螺母5以及支撐轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿用的支撐套筒
3。目前，傳統(tǒng)的可變陶瓷真空電容器的支撐套筒一般放置在安裝板或安裝環(huán)的外部，中間穿過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿，并在支撐套筒與轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿之間放置平面球軸承8，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的轉(zhuǎn)動(dòng)，拉動(dòng)內(nèi)部拉桿，帶動(dòng)電極組運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)容量的調(diào)節(jié)。但由于其套筒放置在安裝板或安裝環(huán)的外部，增加了產(chǎn)品的總體高度。隨著可變陶瓷真空電容器在半導(dǎo)體制造設(shè)備中的推廣運(yùn)用，對(duì)可變電容器小型化提出了更高的要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種小型化可變陶瓷真空電容器，不僅能夠?qū)⒖勺兲沾烧婵针娙萜髯龅母?，而且降低了制造成本?br>[0004]本發(fā)明為了解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種小型化可變陶瓷真空電容器，包括密封的陶瓷外殼、設(shè)于該陶瓷外殼內(nèi)的電極組以及用于調(diào)節(jié)所述電極組容量的傳動(dòng)系統(tǒng)，所述傳動(dòng)系統(tǒng)包括支撐套筒、轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿、螺母、拉桿和導(dǎo)套，所述導(dǎo)套固定設(shè)置于所述陶瓷外殼的上端部?jī)?nèi)，所述支撐套筒固定于該導(dǎo)套的上端口內(nèi)；所述轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的上端能夠轉(zhuǎn)動(dòng)定位于該支撐套筒內(nèi)，該轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的下端容置于所述導(dǎo)套內(nèi)且其外周通過(guò)螺紋嚙合套設(shè)所述螺母；所述拉桿的上端與該螺母固連并活動(dòng)容置于所述導(dǎo)套內(nèi)，該拉桿下端與所述電極組的可調(diào)部分連接。
[0005]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述支撐套筒為環(huán)狀結(jié)構(gòu)。
[0006]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的上端通過(guò)軸承能夠轉(zhuǎn)動(dòng)固定于所述支撐套筒內(nèi)。
[0007]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述支撐套筒內(nèi)側(cè)面設(shè)有與所述軸承外側(cè)面匹配的臺(tái)階。
[0008]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿靠近所述軸承的上、下側(cè)面位置處分別設(shè)有上止擋圈和下止擋圈，所述軸承的下端面與該下止擋圈之間設(shè)有下彈性擋圈；所述軸承的上端面與該上止擋圈之間設(shè)有彈性墊圈，該彈性墊圈上側(cè)面上設(shè)有上彈性擋圈，該上彈性墊圈的外周卡合于所述導(dǎo)套上端口的內(nèi)側(cè)面上。
[0009]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述螺母設(shè)置于導(dǎo)套內(nèi)部。
[0010]本發(fā)明的有益效果是:該小型化可變陶瓷真空電容器采用環(huán)形支撐套筒，并內(nèi)置于導(dǎo)套的上端口內(nèi)，體積大大改小，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)縮短產(chǎn)品總高度約20%以上，同時(shí)降低產(chǎn)品的制造成本10%以上，滿足了用戶需求。同時(shí)，該小型化可變陶瓷真空電容器在軸承和支撐套筒的兩側(cè)，采用彈性擋圈與彈性墊圈固定軸承和支撐套筒，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，即使超過(guò)規(guī)定量程，也會(huì)被彈性墊圈擋住而無(wú)法旋出，具有防止軸承與轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿脫落的限位作用，因此結(jié)構(gòu)更加安全可靠。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為現(xiàn)有可變陶瓷真空電容器結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3為圖2中A部放大結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]結(jié)合附圖，作以下說(shuō)明:
[0015]I——陶瓷外殼2——電極組
[0016]3一一支撐套筒4一一轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿
[0017]5——螺母6——拉桿
[0018]7——導(dǎo)套8——軸承
[0019]10——彈性墊圈31——臺(tái)階
[0020]41——上止擋圈42——下止擋圈
[0021]91——上彈性擋圈92——下彈性擋圈
【具體實(shí)施方式】
[0022]以下結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例作詳細(xì)說(shuō)明。但本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于下述實(shí)施例，即但凡以本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍及說(shuō)明書(shū)內(nèi)容所作的簡(jiǎn)單的等效變化與修飾，皆仍屬本發(fā)明專利涵蓋范圍之內(nèi)。
[0023]參見(jiàn)圖1-3，一種小型化可變陶瓷真空電容器，包括密封的陶瓷外殼1、設(shè)于該陶瓷外殼內(nèi)的電極組2以及用于調(diào)節(jié)所述電極組容量的傳動(dòng)系統(tǒng)，該傳動(dòng)系統(tǒng)包括支撐套筒
3、轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿4、螺母5、拉桿6和導(dǎo)套7，所述導(dǎo)套固定設(shè)置于所述陶瓷外殼的上端部?jī)?nèi)，所述支撐套筒固定于該導(dǎo)套的上端口內(nèi)；所述轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的上端能夠轉(zhuǎn)動(dòng)定位于該支撐套筒內(nèi)，該轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的下端容置于所述導(dǎo)套內(nèi)且其外周通過(guò)螺紋嚙合套設(shè)所述螺母5 ;所述拉桿的上端與該螺母固連并活動(dòng)容置于所述導(dǎo)套內(nèi)，該拉桿下端與所述電極組的可調(diào)部分連接。
[0024]其中，所述支撐套筒為環(huán)狀結(jié)構(gòu)。所述轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的上端通過(guò)軸承8能夠轉(zhuǎn)動(dòng)固定于所述支撐套筒內(nèi)。所述支撐套筒內(nèi)側(cè)面設(shè)有與所述軸承外側(cè)面匹配的臺(tái)階31。所述螺母設(shè)置于導(dǎo)套內(nèi)部。
[0025]所述轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿靠近所述軸承的上、下側(cè)面位置處分別設(shè)有上止擋圈41和下止擋圈42，所述軸承的下端面與該下止擋圈之間設(shè)有下彈性擋圈92 ;所述軸承的上端面與該上止擋圈之間設(shè)有彈性墊圈10，該彈性墊圈上側(cè)面上設(shè)有上彈性擋圈91，該上彈性墊圈的外周卡合于所述導(dǎo)套上端口的內(nèi)側(cè)面上。
[0026]該小型化可變陶瓷真空電容器的支撐套筒為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，置于導(dǎo)套的上端口內(nèi)，不僅同樣起到支撐轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的作用，而且體積可以大大改小；同時(shí)，在軸承和支撐套筒的兩偵U，采用彈性擋圈與彈性墊圈固定軸承和支撐套筒，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，即使超過(guò)規(guī)定量程，也會(huì)被彈性墊圈擋住而無(wú)法旋出，具有防止軸承與轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿脫落的限位作用。
[0027]根據(jù)上述技術(shù)方案，該小型化可變陶瓷真空電容器在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，改進(jìn)傳動(dòng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，采用環(huán)狀支撐套筒，可以縮短真空電容器的高度約20%左右，同時(shí)降低產(chǎn)品的制造成本10%以上D
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種小型化可變陶瓷真空電容器，包括密封的陶瓷外殼(I)、設(shè)于該陶瓷外殼內(nèi)的電極組(2)以及用于調(diào)節(jié)所述電極組容量的傳動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于:所述傳動(dòng)系統(tǒng)包括支撐套筒(3)、轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿(4)、螺母(5)、拉桿(6)和導(dǎo)套(7)，所述導(dǎo)套固定設(shè)置于所述陶瓷外殼的上端部?jī)?nèi)，所述支撐套筒固定于該導(dǎo)套的上端口內(nèi)；所述轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的上端能夠轉(zhuǎn)動(dòng)定位于該支撐套筒內(nèi)，該轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的下端容置于所述導(dǎo)套內(nèi)且其外周通過(guò)螺紋嚙合套設(shè)所述螺母(5);所述拉桿的上端與該螺母固連并活動(dòng)容置于所述導(dǎo)套內(nèi)，該拉桿下端與所述電極組的可調(diào)部分連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型化可變陶瓷真空電容器，其特征在于:所述支撐套筒為環(huán)狀結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的小型化可變陶瓷真空電容器，其特征在于:所述轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的上端通過(guò)軸承(8)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)固定于所述支撐套筒內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的小型化可變陶瓷真空電容器，其特征在于:所述支撐套筒內(nèi)側(cè)面設(shè)有與所述軸承外側(cè)面匹配的臺(tái)階(31)。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的小型化可變陶瓷真空電容器，其特征在于:所述轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿靠近所述軸承的上、下側(cè)面位置處分別設(shè)有上止擋圈(41)和下止擋圈(42)，所述軸承的下端面與該下止擋圈之間設(shè)有下彈性擋圈(92);所述軸承的上端面與該上止擋圈之間設(shè)有彈性墊圈(10)，該彈性墊圈上側(cè)面上設(shè)有上彈性擋圈(91)，該上彈性墊圈的外周卡合于所述導(dǎo)套上端口的內(nèi)側(cè)面上。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型化可變陶瓷真空電容器，其特征在于:所述螺母設(shè)置于導(dǎo)套內(nèi)部。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種小型化可變陶瓷真空電容器，包括密封的陶瓷外殼、設(shè)于該陶瓷外殼內(nèi)的電極組以及用于調(diào)節(jié)電極組容量的傳動(dòng)系統(tǒng)，該傳動(dòng)系統(tǒng)包括支撐套筒、轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿、螺母、拉桿和導(dǎo)套，導(dǎo)套固定設(shè)置于陶瓷外殼的上端部?jī)?nèi)，支撐套筒固定于該導(dǎo)套的上端口內(nèi)；轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的上端能夠轉(zhuǎn)動(dòng)定位于支撐套筒內(nèi)，轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿的下端容置于導(dǎo)套內(nèi)且其外周通過(guò)螺紋嚙合套設(shè)螺母；拉桿的上端與該螺母固連并活動(dòng)容置于導(dǎo)套內(nèi)，該拉桿下端與電極組的可調(diào)部分連接。該小型化可變陶瓷真空電容器采用環(huán)形支撐套筒，并內(nèi)置于導(dǎo)套的上端口內(nèi)，體積大大改小，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)縮短產(chǎn)品總高度約20％以上，同時(shí)降低產(chǎn)品的制造成本10％以上，滿足了用戶需求。
【IPC分類】H01G5/01, H01G5/014, H01G5/12
【公開(kāi)號(hào)】CN105185590
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510409586
【發(fā)明人】賴萍南, 方濤, 王淮飛, 蔣慶
【申請(qǐng)人】昆山國(guó)力真空電器有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月23日
【申請(qǐng)日】2015年7月13日