一種多晶硅制絨機(jī)的純水噴淋系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種多晶硅制絨機(jī)的純水噴淋系統(tǒng)，屬于太陽(yáng)電極技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片在經(jīng)過(guò)切片、研磨、倒角、拋光等加工工序后，表面已吸附了各種雜質(zhì)，如顆粒、金屬粒子、硅粉粉塵及有機(jī)雜質(zhì)，在進(jìn)行擴(kuò)散前需要進(jìn)行清洗，以消除各類污染物。清洗的潔凈程度直接影響著電池片的成品率和可靠率。清洗主要是利用NaOH、HF、HCL等化學(xué)液對(duì)硅片進(jìn)行腐蝕處理，一方面去除硅片表面的機(jī)械損傷層以及硅片表面的硅酸鈉、氧化物、油污、金屬離子等雜質(zhì)，另一方面通過(guò)腐蝕在硅片的表面形成凹凸面(金字塔絨面)，增加光在太陽(yáng)電池片表面的折射次數(shù)，利于太陽(yáng)電池片對(duì)光的吸收，以達(dá)到電池片對(duì)太陽(yáng)能價(jià)值的最大利用率，這一過(guò)程被稱為制絨。在制絨的過(guò)程中，需要進(jìn)行多道純水噴淋工藝，以清除附著在硅片表面的污染物。傳統(tǒng)的制絨工藝中，每一道純水噴淋工藝中的純水都是單次使用，純水的消耗量大，在一定程度上造成資源的浪費(fèi)，提高了生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中，制絨工藝純水消耗量大、生產(chǎn)成本高的技術(shù)問(wèn)題，提供一種多晶硅制絨機(jī)的純水噴淋系統(tǒng)，在不影響制絨機(jī)清洗效果的前提下，節(jié)約制絨過(guò)程中純水的用量。
[0004]為此，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
一種多晶硅制絨機(jī)的純水噴淋系統(tǒng)，包括進(jìn)水管、出水管、連通進(jìn)水管與出水管的若干支管，沿制絨工藝的流程設(shè)置的若干組由噴淋管、清洗槽及副槽組成的噴淋單元，每組噴淋單元包括若干根噴淋管，副槽收集清洗槽的純水供噴淋管循環(huán)使用，其特征在于:在最末端的噴淋單元的清洗槽與起始端的噴淋單元的副槽之間設(shè)置有連通的支管，從而使最末端的噴淋單元的清洗槽的純水流入起始端的噴淋單元的副槽，起始端的噴淋單元的副槽供應(yīng)其噴淋單元內(nèi)全部噴淋管的純水。將最末端的噴淋單元的清洗槽排出的相對(duì)較干凈的水，再次利用，引入起始端的噴淋單元的副槽中，用于對(duì)制絨起始階段的硅片進(jìn)行噴淋，這樣就節(jié)省了起始端清洗槽循壞時(shí)需要補(bǔ)充的純水。
[0005]進(jìn)一步地，在所述進(jìn)水管處設(shè)置有水表。在進(jìn)水管加裝水表，進(jìn)行整個(gè)制絨機(jī)臺(tái)的純水噴淋系統(tǒng)的純水用量監(jiān)控，可以有效的監(jiān)控節(jié)水量。
[0006]進(jìn)一步地，在所述最末端的噴淋單元的噴淋管的進(jìn)水端上設(shè)置有流量計(jì)。對(duì)該噴淋單元的純水用量進(jìn)行監(jiān)控。
[0007]進(jìn)一步地，在中間噴淋單元的噴淋管的進(jìn)水端上設(shè)置有流量計(jì)。對(duì)該噴淋單元的純水用量進(jìn)行監(jiān)控。
[0008]因此，本發(fā)明通過(guò)水道管路的改造，大大節(jié)約了純水用量；在純水用量絕對(duì)降低的同時(shí)也不會(huì)導(dǎo)致擴(kuò)散不良片的增加；同時(shí)，對(duì)減少?gòu)U水的排放及廢水后續(xù)處理也是有很好的促進(jìn)作用。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為多晶太陽(yáng)電池整個(gè)制絨工藝的流程圖；
圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好的理解本發(fā)明方案，下面將結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述。
[0011]圖1為多晶太陽(yáng)電池整個(gè)制絨流程圖，制絨工藝的流程如圖中箭頭部分所示，硅片依次經(jīng)過(guò)制絨槽一清洗槽I —堿槽一清洗槽2 —酸槽一清洗槽3 —烘干段等步驟。具體如下:
O制絨槽:硅片首先經(jīng)過(guò)制絨槽，通過(guò)制絨槽中的HN03和HF腐蝕機(jī)理制作出腐蝕坑絨面；
2)清洗槽1:通過(guò)刻蝕槽后表面會(huì)存有一定的酸殘留，清洗槽I槽中的純水會(huì)將硅片表面多余的酸液洗凈；
3)堿槽:堿槽藥液為Κ0Η，制絨后表面會(huì)存有多孔硅，需用KOH堿液將多孔硅去掉；
4)清洗槽2:經(jīng)過(guò)堿槽中的KOH作用后雖然去除掉了多孔硅，但硅片表面會(huì)有部分堿殘留，需用清洗槽2純水將其洗掉；
5)酸槽:酸槽為HCL和HF，HF會(huì)將硅片表面存在的氧化層去掉，HCL會(huì)去掉金屬離子；
6)清洗槽3:將硅片表面殘留的酸液洗凈；
7)烘干:將經(jīng)過(guò)清洗槽3后硅片表面殘余的水烘干。
[0012]其中，三個(gè)清洗槽的純水循壞原理基本都相同，在機(jī)器正常運(yùn)轉(zhuǎn)前，各槽體(包括刻蝕槽、堿槽、酸槽、清洗槽)都需配好藥液，以待機(jī)臺(tái)開機(jī)自動(dòng)運(yùn)行。三個(gè)清洗槽無(wú)需配藥，但需要加入純水；三個(gè)清洗槽加入純水時(shí)是通過(guò)閥門①\③\⑤開啟后將外圍純水引入到副槽中。當(dāng)各槽體及清洗槽水槽配液完畢后，機(jī)臺(tái)可開啟自動(dòng)生產(chǎn)模式。此時(shí)三個(gè)清洗槽副槽中的純水，通過(guò)循壞栗將其打入到噴淋管A\B\C\、E\F\G、I\J\K (圖中黑色虛線部分)。其中從A\E\I在對(duì)硅片噴淋完后，其純水會(huì)直接通過(guò)A1\E1\I1管道排放出去；B\C、F\G、J\K噴淋管在對(duì)硅片噴淋后，其純水會(huì)通過(guò)B1\C1、F1\G1、J1\K1管道直接再回到副槽中；D\H\J噴淋管會(huì)通過(guò)外圍②\④\⑥三個(gè)閥門開啟，來(lái)直接引入外圍純水對(duì)硅片進(jìn)行噴淋，噴淋完后的純水也會(huì)流入到副槽中。此保證了三個(gè)清洗槽水槽通過(guò)排放和補(bǔ)充來(lái)保持清洗槽副槽中的純水足夠循壞。
[0013]如圖2所示，本發(fā)明的多晶硅制絨機(jī)的純水噴淋系統(tǒng)，包括進(jìn)水管、出水管、連通進(jìn)水管與出水管的若干支管，沿制絨工藝的流程設(shè)置的若干組由噴淋管、清洗槽及副槽組成的噴淋單元，每組噴淋單元包括若干根噴淋管，副槽收集清洗槽的純水供噴淋管循環(huán)使用，在本實(shí)施例中，與現(xiàn)有制絨機(jī)相適應(yīng)，依次在制絨槽、堿槽和酸槽之后配置噴淋單元，為描述方便，在此命名為第一噴淋單元、第二噴淋單元和第三噴淋單元，對(duì)應(yīng)地，其內(nèi)的噴淋管、清洗槽及副槽也分別命名為第一噴淋管、第二噴淋管、第三噴淋管；第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽；以及第一副槽、第二副槽、第三副槽。
[0014]在第三噴淋單元的清洗槽與第一噴淋單元的副槽之間設(shè)置有連通的支管，從而使第三噴淋單元的清洗槽的純水流入第一噴淋單元的副槽，第一噴淋單元的副槽供應(yīng)其噴淋單元內(nèi)全部噴淋管的純水。也即，第三清洗槽的純水流入第一副槽。
[0015]作為優(yōu)選，在所述進(jìn)水管處設(shè)置有水表，進(jìn)行整個(gè)制絨機(jī)臺(tái)的純水噴淋系統(tǒng)的純水用量監(jiān)控，有效地監(jiān)控節(jié)水量。在第二噴淋單元和第三噴淋單元的噴淋管的進(jìn)水端上設(shè)置有流量計(jì)，分別對(duì)該噴淋單元的純水用量進(jìn)行監(jiān)控。
[0016]具體地，如圖2所示，三個(gè)副槽中的純水，通過(guò)循壞栗將其打入到噴淋管A\B\C\、E\F\G、I\J\K (圖中黑色虛線部分)。其中從A\E\I在對(duì)硅片噴淋完后，其純水會(huì)直接通過(guò)A1\E1\I1管道排放出去；B\C、F\G、J\K噴淋管在對(duì)硅片噴淋后，其純水會(huì)通過(guò)B1\C1、F1\G1、J1\K1管道直接再回到對(duì)應(yīng)的副槽中；H\J噴淋管會(huì)通過(guò)外圍④\⑥三個(gè)閥門開啟，來(lái)直接引入外圍純水對(duì)硅片進(jìn)行噴淋，噴淋完后的純水也會(huì)流入到對(duì)應(yīng)副槽中。將閥門②關(guān)閉，第一清洗槽的D噴淋管的純水供應(yīng)由之前的外圍供應(yīng)變?yōu)橛傻谝桓辈酃?yīng)，而第一副槽的進(jìn)水則由第三清洗槽排出的純水來(lái)供應(yīng)；閥門④和閥門⑥加流量計(jì)用于監(jiān)控第二清洗槽和第三清洗槽的噴淋量。
[0017]本發(fā)明通過(guò)將第三清洗槽排出的相對(duì)較干凈的水，再次利用到第一副槽中，這樣就節(jié)省了第一清洗槽循壞時(shí)需要補(bǔ)充的純水。同時(shí)安裝的水表會(huì)對(duì)清洗槽槽用水量進(jìn)行監(jiān)控，可以有效的監(jiān)控節(jié)水量。
[0018]顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種多晶硅制絨機(jī)的純水噴淋系統(tǒng)，包括進(jìn)水管、出水管、連通進(jìn)水管與出水管的若干支管，沿制絨工藝的流程設(shè)置的若干組由噴淋管、清洗槽及副槽組成的噴淋單元，每組噴淋單元包括若干根噴淋管，副槽收集清洗槽的純水供噴淋管循環(huán)使用，其特征在于:在最末端的噴淋單元的清洗槽與起始端的噴淋單元的副槽之間設(shè)置有連通的支管，從而使最末端的噴淋單元的清洗槽的純水流入起始端的噴淋單元的副槽，起始端的噴淋單元的副槽供應(yīng)其噴淋單元內(nèi)全部噴淋管的純水。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅制絨機(jī)的純水噴淋系統(tǒng)，其特征在于:在所述進(jìn)水管處設(shè)置有水表。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅制絨機(jī)的純水噴淋系統(tǒng)，其特征在于:在所述最末端的噴淋單元的噴淋管的進(jìn)水端上設(shè)置有流量計(jì)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅制絨機(jī)的純水噴淋系統(tǒng)，其特征在于:在中間噴淋單元的噴淋管的進(jìn)水端上設(shè)置有流量計(jì)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種多晶硅制絨機(jī)的純水噴淋系統(tǒng)，屬于太陽(yáng)電池技術(shù)領(lǐng)域，包括進(jìn)水管、出水管、連通進(jìn)水管與出水管的若干支管，沿制絨工藝的流程設(shè)置的若干組由噴淋管、清洗槽及副槽組成的噴淋單元，每組噴淋單元包括若干根噴淋管，副槽收集清洗槽的純水供噴淋管循環(huán)使用，其特征在于：在最末端的噴淋單元的清洗槽與起始端的噴淋單元的副槽之間設(shè)置有連通的支管，從而使最末端的噴淋單元的清洗槽的純水流入起始端的噴淋單元的副槽，起始端的噴淋單元的副槽供應(yīng)其噴淋單元內(nèi)全部噴淋管的純水。本發(fā)明在不導(dǎo)致擴(kuò)散不良片的增加的前提下，大大節(jié)約了純水用量；同時(shí)，對(duì)減少?gòu)U水的排放及廢水后續(xù)處理也是有很好的促進(jìn)作用。
【IPC分類】H01L31/18
【公開號(hào)】CN105185869
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510539799
【發(fā)明人】肖斌
【申請(qǐng)人】常州天合光能有限公司, 湖北天合光能有限公司
【公開日】2015年12月23日
【申請(qǐng)日】2015年8月28日