手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及裝載平臺，尤其涉及一種晶圓裝載平臺。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體科技的發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備的自動(dòng)化和半自動(dòng)化也得到了廣泛的提高。對于晶圓裝載平臺自動(dòng)化也算是比較成熟的技術(shù)了，但是由于其技術(shù)規(guī)格的壟斷性，其裝載平臺極其昂貴。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]以下給出一個(gè)或多個(gè)方面的簡要概述以提供對這些方面的基本理解。此概述不是所有構(gòu)想到的方面的詳盡綜覽，并且既非旨在指認(rèn)出所有方面的關(guān)鍵性或決定性要素亦非試圖界定任何或所有方面的范圍。其唯一的目的是要以簡化形式給出一個(gè)或多個(gè)方面的一些概念以為稍后給出的更加詳細(xì)的描述之序。
[0004]本發(fā)明的目的在于解決上述問題，提供了一種手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，對于不要求高度自動(dòng)化的設(shè)備，可極大降低生產(chǎn)成本。
[0005]本發(fā)明的技術(shù)方案為:本發(fā)明揭示了一種手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，包括上罩和固定的側(cè)罩，上罩和側(cè)罩通過設(shè)置在兩側(cè)的轉(zhuǎn)軸連接，上罩可繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而達(dá)到打開和閉合裝載機(jī)構(gòu)的狀態(tài)。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)的一實(shí)施例，上罩上方有一把手，通過該把手控制上罩。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)的一實(shí)施例，上罩上設(shè)有可視窗口。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)的一實(shí)施例，可視窗口開設(shè)在上罩的上方和兩個(gè)側(cè)面。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)的一實(shí)施例，裝載機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置于機(jī)構(gòu)底部的固定架，裝載機(jī)構(gòu)通過該固定架安裝在其他設(shè)備上。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)的一實(shí)施例，側(cè)罩固定在固定架上。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)的一實(shí)施例，側(cè)罩的正前方和兩側(cè)面均為開口設(shè)計(jì)。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)的一實(shí)施例，裝載機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)多組花籃卡點(diǎn)。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)的一實(shí)施例，裝載機(jī)構(gòu)的銜接處設(shè)有密封圈。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)的一實(shí)施例，裝載機(jī)構(gòu)的底板上設(shè)有傳感器，檢測是否有晶圓盒。
[0015]本發(fā)明對比現(xiàn)有技術(shù)有如下的有益效果:本發(fā)明可以在不要求高度自動(dòng)化的情況下，有效節(jié)約成本。裝載機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)簡單，很方便的實(shí)現(xiàn)打開和閉合的狀態(tài)，便于載片花籃的放置和取出，并有一定的密封防護(hù)作用。
【附圖說明】
[0016]圖1示出了本發(fā)明的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)的較佳實(shí)施例的正視圖。
[0017]圖2示出了圖1所示裝載機(jī)構(gòu)實(shí)施例的側(cè)視圖。
[0018]圖3示出了圖1所示裝載機(jī)構(gòu)實(shí)施例的斜視圖。
[0019]圖4示出了圖1所示裝載機(jī)構(gòu)實(shí)施例的上罩打開的斜視圖。
[0020]圖5示出了圖1所示裝載機(jī)構(gòu)實(shí)施例的內(nèi)部視圖。
[0021]附圖標(biāo)記:
[0022]I 上罩
[0023]2 側(cè)罩
[0024]3 轉(zhuǎn)軸
[0025]4固定架
[0026]5 晶圓
[0027]6 開口
[0028]7花籃卡點(diǎn)
[0029]10上罩把手
[0030]11可視窗口
【具體實(shí)施方式】
[0031]在結(jié)合以下附圖閱讀本公開的實(shí)施例的詳細(xì)描述之后，能夠更好地理解本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)。在附圖中，各組件不一定是按比例繪制，并且具有類似的相關(guān)特性或特征的組件可能具有相同或相近的附圖標(biāo)記。
[0032]圖1示出了本發(fā)明的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)的較佳實(shí)施例的正視圖，圖2和圖3分別示出了裝載結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖和斜視圖。請同時(shí)參見圖1至圖3，本實(shí)施例的裝載機(jī)構(gòu)包括上罩I和固定的側(cè)罩2，上罩I和側(cè)罩2通過設(shè)置在兩側(cè)的轉(zhuǎn)軸3連接。上罩I可繞轉(zhuǎn)軸3旋轉(zhuǎn)，從而達(dá)到打開和閉合裝載機(jī)構(gòu)的狀態(tài)。
[0033]較佳的，在上罩I的上方設(shè)置一個(gè)上罩把手10，通過上罩把手10可以控制上罩的運(yùn)作。上罩I的兩個(gè)側(cè)面和頂面共有3個(gè)可視窗口 11，可以通過可視窗口 11觀察裝載機(jī)構(gòu)的內(nèi)部狀況。當(dāng)然，也可以在側(cè)罩2上設(shè)置把手，以方便提取裝載機(jī)構(gòu)。
[0034]此外，還可以在裝載機(jī)構(gòu)底部設(shè)置固定架4，側(cè)罩2固定在固定架4上，且裝載機(jī)構(gòu)可以通過固定架4安裝在其他的設(shè)備上。
[0035]如圖4，其示出了裝載機(jī)構(gòu)處于打開狀態(tài)，在側(cè)罩2的正前方為開口 6，設(shè)備側(cè)面同樣也是開口，這樣就達(dá)到了裝載機(jī)構(gòu)與設(shè)備內(nèi)部連接的目的。
[0036]較佳的，在裝載機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)多組花籃卡點(diǎn)7(圖示為4組)，載片花籃是業(yè)內(nèi)通用花籃，尺寸和結(jié)構(gòu)固定，這4組花籃卡點(diǎn)設(shè)置好后，載片花籃可以很方便的放置并固定在裝載機(jī)構(gòu)的內(nèi)部，也可以很方便的取出。
[0037]此外，為了防止污染物產(chǎn)生并污染晶圓5，可以在裝載機(jī)構(gòu)的各個(gè)銜接處設(shè)置密封圈。并在裝載機(jī)構(gòu)的底板上安裝傳感器，用于檢測是否有晶圓盒。
[0038]初始如圖2所示,上罩I和側(cè)罩2處于閉合狀態(tài),接著如圖4所示,通過上罩I上的把手10打開上罩1，打開的方式是上罩I繞著兩側(cè)的軸3向外拉，上罩打開的狀態(tài)請參見圖4。載片花籃通過上罩打開的開口放置在裝載機(jī)構(gòu)中。較佳的，載片花籃通過機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)的四組花籃卡點(diǎn)7固定位置。操作者可通過上罩I的位于兩個(gè)側(cè)面和頂面的這3個(gè)可視窗口11，觀察內(nèi)部情況。在裝載結(jié)束后，合上上蓋1，上蓋I繞著轉(zhuǎn)軸3閉合側(cè)罩2。
[0039]提供對本公開的先前描述是為使得本領(lǐng)域任何技術(shù)人員皆能夠制作或使用本公開。對本公開的各種修改對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說都將是顯而易見的，且本文中所定義的普適原理可被應(yīng)用到其他變體而不會脫離本公開的精神或范圍。由此，本公開并非旨在被限定于本文中所描述的示例和設(shè)計(jì)，而是應(yīng)被授予與本文中所公開的原理和新穎性特征相一致的最廣范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括上罩和固定的側(cè)罩，上罩和側(cè)罩通過設(shè)置在兩側(cè)的轉(zhuǎn)軸連接，上罩可繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而達(dá)到打開和閉合裝載機(jī)構(gòu)的狀態(tài)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，上罩上方有一把手，通過該把手控制上罩。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，上罩上設(shè)有可視窗□。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，可視窗口開設(shè)在上罩的上方和兩個(gè)側(cè)面。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，裝載機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置于機(jī)構(gòu)底部的固定架，裝載機(jī)構(gòu)通過該固定架安裝在其他設(shè)備上。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，側(cè)罩固定在固定架上。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，側(cè)罩的正前方和兩側(cè)面均為開口設(shè)計(jì)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，裝載機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)多組花籃卡點(diǎn)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，裝載機(jī)構(gòu)的銜接處設(shè)有密封圈。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，裝載機(jī)構(gòu)的底板上設(shè)有傳感器，檢測是否有晶圓盒。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種手動(dòng)的載片花籃裝載機(jī)構(gòu)，對于不要求高度自動(dòng)化的設(shè)備，可極大降低生產(chǎn)成本。其技術(shù)方案為：裝載機(jī)構(gòu)包括上罩和固定的側(cè)罩，上罩和側(cè)罩通過設(shè)置在兩側(cè)的轉(zhuǎn)軸連接，上罩可繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而達(dá)到打開和閉合裝載機(jī)構(gòu)的狀態(tài)。
【IPC分類】H01L21/677, H01L21/673
【公開號】CN105225993
【申請?zhí)枴緾N201410236012
【發(fā)明人】雷強(qiáng), 代迎偉, 張懷東, 王堅(jiān), 王暉
【申請人】盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
【公開日】2016年1月6日
【申請日】2014年5月30日