柔性顯示基板的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種柔性顯示基板的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在顯示技術(shù)領(lǐng)域，柔性顯示器的顯示技術(shù)種類較多，例如包括傳統(tǒng)的液晶顯示技術(shù)、雙穩(wěn)態(tài)液晶顯示技術(shù)、有機(jī)發(fā)光二極管(organic light-emitting d1de，0LED)顯示技術(shù)、電泳顯示技術(shù)、電致變色(Electrochromism，EC)顯示技術(shù)與電致發(fā)光(electroluminescent, EL)顯示技術(shù)等。其中柔性有機(jī)發(fā)光二極管(flexible organiclight-emitting d1de，F(xiàn)0LED)顯示器相比其他柔性顯示器具有更多的優(yōu)點(diǎn)，例如自發(fā)光顯示、響應(yīng)速度快、亮度高、視角寬、成本低等。而且，F(xiàn)0LED顯示器是基于柔性有機(jī)材料的顯示器，可以被卷曲、折疊、甚至作為可穿戴計(jì)算機(jī)的一部分，因此在顯示效果好的便攜產(chǎn)品和軍事等特殊領(lǐng)域有非常廣泛的應(yīng)用。
[0003]傳統(tǒng)的柔性顯示器主要采用厚度小于100微米的柔性基材例如超薄玻璃、不銹鋼薄膜以及塑料基材等。其柔性顯示基板的制備方法一般包括:在承載基板上形成柔性基底，然后再形成顯示單元，最后將柔性基底與硬質(zhì)的承載基板剝離。
[0004]將柔性基底上制備的顯示單元從承載基板上剝離下來(lái)后，得到質(zhì)輕和可彎折、可繞曲特性的顯示面板。在目前的工藝制程中，通常利用高能量的激光脈沖從承載基板(通常為玻璃載體)的背面入射的方法來(lái)剝離有機(jī)聚合物材料的柔性基底。在此過(guò)程中，激光的能量密度須足夠大，才能引起界面膜層的分離，但如果能量密度過(guò)大，則很容易引起元器件的損傷，目前的激光剝離(Laser-lift-off)制程同時(shí)也存在能量利用率低的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種柔性顯示基板的制造方法，通過(guò)在承載基板上形成單層的聚苯乙烯微球陣列膜，有效地降低后續(xù)剝離制程中高能量激光脈沖的平均能量密度，避免元器件的熱損傷，同時(shí)降低生產(chǎn)成本。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種柔性顯示基板的制造方法，包括如下步驟:
[0007]步驟1、提供承載基板，在所述承載基板上排布一單層的聚苯乙烯微球，得到聚苯乙烯微球陣列膜；
[0008]步驟2、在所述承載基板、及聚苯乙烯微球陣列膜上形成柔性基底；
[0009]步驟3、在所述柔性基底上形成顯示器件；
[0010]步驟4、從下方對(duì)所述承載基板進(jìn)行激光照射，將所述柔性基底從所述承載基板上剝尚下來(lái)。
[0011]所述步驟1中，采用提拉法、浮膜法、旋涂法、聚合法中的一種或其組合在所述承載基板上形成聚苯乙烯微球陣列膜。
[0012]所述聚苯乙烯微球的直徑為200-1000nm。
[0013]所述聚苯乙烯微球陣列膜內(nèi)聚苯乙烯微球均勻緊密排布、或者不規(guī)則地分散排布。
[0014]所述聚苯乙烯微球陣列膜內(nèi)相鄰聚苯乙烯微球之間的距離為0-10 μm。
[0015]步驟4中，在進(jìn)行激光照射前，在一定溫度下，對(duì)所述承載基板煅燒，以去除聚苯乙烯微球陣列膜。
[0016]所述柔性基底為單層有機(jī)聚合物膜。
[0017]所述柔性基底為聚酰亞胺膜。
[0018]所述柔性基底為疊層結(jié)構(gòu)。
[0019]所述承載基板為玻璃基板。
[0020]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明提供一種柔性顯示基板的制造方法，通過(guò)在承載基板上排布一層單層的聚苯乙烯微球，形成聚苯乙烯微球陣列膜，減少柔性基底與承載基板的直接接觸；同時(shí)利用聚苯乙烯微球容易被激光燒蝕、在一定溫度下能夠被煅燒去除的優(yōu)點(diǎn)，減少了激光剝離制程中高能量激光脈沖的使用頻率，使得柔性基底更容易地從承載基板上剝離，在提高了器件可靠性的同時(shí)，有效降低了生產(chǎn)成本。
[0021]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明與附圖，然而附圖僅提供參考與說(shuō)明用，并非用來(lái)對(duì)本發(fā)明加以限制。
【附圖說(shuō)明】
[0022]下面結(jié)合附圖，通過(guò)對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見。
[0023]附圖中，
[0024]圖1為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的流程圖；
[0025]圖2為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法形成的聚苯乙烯微球陣列膜的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖3為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法形成的柔性基底沿圖2中A-A’方向的剖面示意圖；
[0027]圖4為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法形成的柔性基底沿圖2中B-B’方向的剖面示意圖；
[0028]圖5為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的步驟4中對(duì)承載基板進(jìn)行激光照射的示意圖；
[0029]圖6為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的步驟4中將柔性基底從承載基板上剝離的示意圖；
[0030]圖7為本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法的步驟3后得到的柔性顯示基板的剖面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0031]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0032]請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明提供一種柔性顯示基板的制造方法，包括如下步驟:
[0033]步驟1、提供承載基板10，在所述承載基板10上排布一單層的聚苯乙烯微球，得到聚苯乙烯微球陣列膜20 ;
[0034]具體的，所述承載基板10為玻璃基板；
[0035]具體的，所述步驟1中可以采用物理或化學(xué)方法形成聚苯乙烯微球，具體可采用提拉法、浮膜法、旋涂法、聚合法中的一種或其組合在所述承載基板10上形成聚苯乙烯微球陣列膜20 ;
[0036]具體的，所述聚苯乙烯微球的直徑為200-1000nm ;具體的，如圖2所示，所述聚苯乙烯微球陣列膜20內(nèi)聚苯乙烯微球均勻緊密排布，或者，所述聚苯乙烯微球陣列膜20內(nèi)聚苯乙烯微球也可以不規(guī)則地分散排布；所述聚苯乙烯微球陣列膜20內(nèi)相鄰聚苯乙烯微球之間的距離為0-10 μ m。
[0037]步驟2、在所述承載基板10、及聚苯乙烯微球陣列膜20上形成柔性基底30 ;
[0038]具體的，由于聚苯乙烯微球陣列膜20的存在，該步驟中形成的柔性基底30面向承載基板10的底面上存在多個(gè)與聚苯乙烯微球表面相貼合的弧面，從而減小了柔性基底30與承載基板10的直接接觸面積，圖3為該步驟中形成的柔性基底的沿圖2中A-A’方向的剖面示意圖，圖4為該步驟中形成的柔性基底30的沿圖2中B-B’方向的剖面示意圖；
[0039]具體的，所述柔性基底30為單層有機(jī)聚合物膜，所述柔性基底為聚酰亞胺(Polyimide, PI)膜；或者，所述柔性基底30為疊層結(jié)構(gòu)。
[0040]步驟3、在所述柔性基底30上形成顯示器件40 ;
[0041 ] 步驟4、如圖5所示，從下方對(duì)所述承載基板10進(jìn)行激光照射，如圖6所示，將所述柔性基底30從所述承載基板10上剝離下來(lái)。
[0042]具體的，聚苯乙烯微球容易被激光燒蝕、以及在一定溫度下能夠通過(guò)煅燒去除；步驟4中，步驟3完成顯示器件40的制程后，即利用激光對(duì)承載基板10進(jìn)行照射，將柔性基底30從排布有聚苯乙烯微球的承載基板10上剝離；或者，首先在一定溫度下煅燒承載基板10以除掉其上的聚苯乙烯微球，再進(jìn)行激光剝離制程，利用激光照射承載基板10，并將柔性基底30從承載基板10上剝離。相較于傳統(tǒng)的直接采用激光剝離制程剝離柔性基底的方法，本發(fā)明有效地降低了高能量的激光脈沖的平均能量密度，更好地避免了元器件的熱損傷，同時(shí)降低了生產(chǎn)成本。
[0043]綜上所述，本發(fā)明提供一種柔性顯示基板的制造方法，通過(guò)在承載基板上排布一層單層的聚苯乙烯微球，形成聚苯乙烯微球陣列膜，減少柔性基底與承載基板的直接接觸；同時(shí)利用聚苯乙烯微球容易被激光燒蝕、在一定溫度下能夠被煅燒去除的優(yōu)點(diǎn)，減少了激光剝離制程中高能量激光脈沖的使用頻率，使得柔性基底更容易地從承載基板上剝離，在提高了器件可靠性的同時(shí)，有效降低了生產(chǎn)成本。
[0044]以上所述，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種柔性顯示基板的制造方法，其特征在于，包括如下步驟: 步驟1、提供承載基板(10)，在所述承載基板(10)上排布一單層的聚苯乙烯微球，得到聚苯乙烯微球陣列膜(20); 步驟2、在所述承載基板(10)、及聚苯乙烯微球陣列膜(20)上形成柔性基底(30); 步驟3、在所述柔性基底(30)上形成顯示器件(40); 步驟4、從下方對(duì)所述承載基板(10)進(jìn)行激光照射，將所述柔性基底(30)從所述承載基板(10)上剝尚下來(lái)。2.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示基板的制造方法，其特征在于，所述步驟1中，采用提拉法、浮膜法、旋涂法、聚合法中的一種或其組合在所述承載基板(10)上形成聚苯乙烯微球陣列膜(20)。3.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示基板的制造方法，其特征在于，所述聚苯乙烯微球的直徑為 200-1000nm。4.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示基板的制造方法，其特征在于，所述聚苯乙烯微球陣列膜(20)內(nèi)聚苯乙烯微球均勻緊密排布、或者不規(guī)則地分散排布。5.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示基板的制造方法，其特征在于，所述聚苯乙烯微球陣列膜(20)內(nèi)相鄰聚苯乙烯微球之間的距離為0-10 μπι。6.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示基板的制造方法，其特征在于，步驟4中，在進(jìn)行激光照射前，在一定溫度下，對(duì)所述承載基板(10)煅燒，以去除聚苯乙烯微球陣列膜(20)。7.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示基板的制造方法，其特征在于，所述柔性基底(30)為單層有機(jī)聚合物膜。8.如權(quán)利要求7所述的柔性顯示基板的制造方法，其特征在于，所述柔性基底(30)為聚酰亞胺膜。9.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示基板的制造方法，其特征在于，所述柔性基底(30)為疊層結(jié)構(gòu)。10.如權(quán)利要求1所述的柔性顯示基板的制造方法，其特征在于，所述承載基板(10)為玻璃基板。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種柔性顯示基板的制造方法。本發(fā)明的柔性顯示基板的制造方法，通過(guò)在承載基板上排布一層單層的聚苯乙烯微球，形成聚苯乙烯微球陣列膜，減少柔性基底與承載基板的直接接觸；同時(shí)利用聚苯乙烯微球容易被激光燒蝕、在一定溫度下能夠被煅燒去除的優(yōu)點(diǎn)，減少了激光剝離制程中高能量激光脈沖的使用頻率，使得柔性基底更容易地從承載基板上剝離，在提高了顯示器件可靠性的同時(shí)，有效降低了生產(chǎn)成本。
【IPC分類】H01L21/77
【公開號(hào)】CN105355591
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510658941
【發(fā)明人】劉哲
【申請(qǐng)人】武漢華星光電技術(shù)有限公司
【公開日】2016年2月24日
【申請(qǐng)日】2015年10月12日