2的分散液撒布或涂布于轉(zhuǎn)印模10A的開口部11的 形成面上，接著使用刷子或布等擦拭開口部11的形成面。該擦拭是沿著所述方向X'，由開 口部11的傾斜的側(cè)壁llb的底部向上部方向進(jìn)行，由此可以將導(dǎo)電顆粒2順暢地送入開口 部11內(nèi)。
[0104] 作為導(dǎo)電顆粒2的填充方法，還可以是首先使其分散在轉(zhuǎn)印模10A的開口部11的 形成面上，接著利用磁場(chǎng)等外力將導(dǎo)電顆粒2移動(dòng)至開口部11中。
[0105] 接著如圖4A所示，在填充了導(dǎo)電顆粒2的開口部11上，使形成于剝離膜7上的絕 緣性樹脂層3相向而層合，以開口部11底部角落未有絕緣性樹脂層3擠入的程度加壓，如 圖4B所示，以導(dǎo)電顆粒2埋入絕緣性樹脂層3的方式將導(dǎo)電顆粒2保持于絕緣性樹脂層3。 將其從轉(zhuǎn)印模10A取出，則如圖4C所示，可在剝離膜7上獲得導(dǎo)電顆粒排列層4,其中，按照 轉(zhuǎn)印模10A的開口部11的排列而排列成四方點(diǎn)陣的導(dǎo)電顆粒2保持于絕緣性樹脂層3。
[0106] 導(dǎo)電顆粒排列層4中，導(dǎo)電顆粒2可以未完全埋入絕緣性樹脂層3內(nèi)，也可以完全 埋入。為了使導(dǎo)電顆粒2完全埋入絕緣性樹脂層3,可以將位于轉(zhuǎn)印模10A底部的導(dǎo)電顆粒 2移動(dòng)至轉(zhuǎn)印模10A的開口面一側(cè)。該移動(dòng)可以使用磁力等外力進(jìn)行。
[0107] 接著如圖4D所示，優(yōu)選對(duì)導(dǎo)電顆粒排列層4的具有表面凹凸的面照射紫外線UV。 由此可以將導(dǎo)電顆粒2固定于絕緣性樹脂層3。另外，由于UV照射被導(dǎo)電顆粒2遮擋，因此 導(dǎo)電顆粒2正下方的絕緣性樹脂層區(qū)域3"的固化率比其周圍相對(duì)降低。因此在進(jìn)行各向 異性導(dǎo)電連接時(shí)，導(dǎo)電顆粒2不發(fā)生水平方向的位置偏移而容易壓入。因此可以使顆粒捕 捉效率提高，使導(dǎo)通電阻值降低，實(shí)現(xiàn)良好的導(dǎo)通可靠性。
[0108] 接著如圖4E所示，在導(dǎo)電顆粒排列層4的具有表面凹凸的面（即絕緣性樹脂層3 的導(dǎo)電顆粒2轉(zhuǎn)印面）上層合第2絕緣性樹脂層5,如圖4F所示，將剝離膜7剝離除去，如 圖4G所示，在剝離了剝離膜7后的面（即與絕緣性樹脂層3的導(dǎo)電顆粒2轉(zhuǎn)印面相反一側(cè) 的面）上層合第3絕緣性樹脂層6,這樣即可制造圖1A、圖1B和圖1C所示的各向異性導(dǎo)電 膜1A。
[0109] (2-3)各向異性導(dǎo)電膜的制造方法2 圖1A、圖1B和圖1C所示的各向異性導(dǎo)電膜1A的制造方法并不限于上述例子。例如在 上述制造方法中，可以形成第3絕緣性樹脂層6來代替剝離膜7。
[0110] S卩，首先如圖3A、圖3B所示，在轉(zhuǎn)印模10A的開口部11填充導(dǎo)電顆粒2,接著如圖 5A所示，將預(yù)先貼合了第3絕緣性樹脂層6的絕緣性樹脂層3相向于開口部11中填充了導(dǎo) 電顆粒2的轉(zhuǎn)印模10A的開口部11上層合。
[0111] 接著如圖5B所示，在轉(zhuǎn)印模10A的開口部11的形成面上壓入絕緣性樹脂層3,使 導(dǎo)電顆粒2保持于絕緣性樹脂層3,形成導(dǎo)電顆粒排列層4。
[0112] 然后，如圖5C所示，將導(dǎo)電顆粒排列層4和第3絕緣性樹脂層6的層合體從轉(zhuǎn)印 模10A取出，如圖f5D所示，由絕緣性樹脂層3的凹凸面一側(cè)照射UV，將導(dǎo)電顆粒2固定于絕 緣性樹脂層3。
[0113] 接著如圖5E所示，在絕緣性樹脂層3的凹凸面上層合第2絕緣性樹脂層5。這樣 可制造圖1A、圖1B和圖1C所示的各向異性導(dǎo)電膜1A。
[0114] (2-4)各向異性導(dǎo)電膜的制造方法3 在圖1A、圖1B和圖1C所示的各向異性導(dǎo)電膜1A的制造方中，在使用紫外線透過性轉(zhuǎn) 印模10A'時(shí)，可以穿過轉(zhuǎn)印模10A'對(duì)保持有導(dǎo)電顆粒2的絕緣性樹脂層3進(jìn)行紫外線照 射。紫外線透過性轉(zhuǎn)印模10A'可由紫外線透過性玻璃等無機(jī)材料、或聚甲基丙烯酸酯等有 機(jī)材料形成。
[0115] 該方法中，首先如圖3A、圖3B所示，在紫外線透過性轉(zhuǎn)印模10A'的開口部填充導(dǎo) 電顆粒2,接著如圖6A所示，使形成于剝離膜7上的光聚合性的絕緣性樹脂層3相向于開口 部11中填充了導(dǎo)電顆粒2的轉(zhuǎn)印模10A'的開口部11上，將其加壓至絕緣性樹脂層3未擠 入開口部11底部的角落的程度，如圖6B所示，以導(dǎo)電顆粒2埋入絕緣性樹脂層3的方式使 導(dǎo)電顆粒2保持于絕緣性樹脂層3,形成導(dǎo)電顆粒排列層4。這種情況下，可以使導(dǎo)電顆粒 2完全埋入絕緣性樹脂層3,也可以不完全埋入。
[0116] 接著如圖6C所示，自轉(zhuǎn)印模10A' 一側(cè)對(duì)絕緣性樹脂層3照射紫外線UV。由此可 使光聚合性的絕緣性樹脂層3聚合，將導(dǎo)電顆粒2固定于絕緣性樹脂層3,并且可以使紫外 線UV被導(dǎo)電顆粒2遮擋的絕緣性樹脂層的區(qū)域3"的固化率比其周圍的絕緣性樹脂層的區(qū) 域3"的固化率相對(duì)低。因此在各向異性導(dǎo)電連接時(shí)，可防止導(dǎo)電顆粒2水平方向的位置偏 移，同時(shí)提高導(dǎo)電顆粒2的壓入性。由此可以提高顆粒捕捉效率，降低導(dǎo)通電阻值，實(shí)現(xiàn)良 好的導(dǎo)通可靠性。
[0117] 接著如圖6D所示，從絕緣性樹脂層3除去剝離膜7。然后，如圖6E所示，在除去了 剝離膜7的絕緣性樹脂層3的面上層合第3絕緣性樹脂層6,如圖6F所示，將該層合體從轉(zhuǎn) 印模10A'取下，如圖6G所示，在導(dǎo)電顆粒排列層4具有表面凹凸的面上層合第2絕緣性樹 脂層5。這樣可以制造圖1A、圖1B和圖1C所示的各向異性導(dǎo)電膜1A。
[0118] (3)變形方案 (3-1)導(dǎo)電顆粒周圍的絕緣性樹脂層厚度分布呈非對(duì)稱的方向。
[0119] 本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜中，關(guān)于以規(guī)定的排列直接保持有多個(gè)導(dǎo)電顆粒2的絕 緣性樹脂層3,各導(dǎo)電顆粒2周圍的絕緣性樹脂層3的厚度分布可具有多個(gè)相對(duì)于導(dǎo)電顆粒 2的中心軸L1呈非對(duì)稱的方向。例如如圖7A、圖7B和圖7C所示的各向異性導(dǎo)電膜1A'， 可以使各個(gè)導(dǎo)電顆粒2周圍的絕緣性樹脂層3的俯視形狀大致為扇形。根據(jù)該扇形的張角 α，非對(duì)稱性可以取任意的形狀，可以為α=90°的扇形（圖7A)、α=180°的半圓形等。而 且，如圖8所示，也可以是包含圓心角α(例如α=270°)的圓弧和弦的部分圓。
[0120] 更具體地說，例如圖7Α、圖7Β和圖7C所示的各向異性導(dǎo)電膜1Α'的情形，在圖7Α 所示的X方向和Υ方向各自中，導(dǎo)電顆粒2周圍的絕緣性樹脂層3的厚度分布相對(duì)于導(dǎo)電 顆粒2的中心軸L1呈非對(duì)稱。使用該各向異性導(dǎo)電膜1Α'安裝電子部件時(shí)的加熱加壓中， 導(dǎo)電顆粒2容易向保持該導(dǎo)電顆粒2的樹脂量少的兩個(gè)方向Xa、Ya流動(dòng)。因此通過安裝時(shí) 的加熱加壓，導(dǎo)電顆粒不規(guī)則流動(dòng)，可以降低產(chǎn)生導(dǎo)電顆粒集中的部位所導(dǎo)致的電極間導(dǎo) 電顆粒的連接、或電極間不存在導(dǎo)電顆粒而導(dǎo)致的導(dǎo)通不良。
[0121] 圖8的各向異性導(dǎo)電膜1A''的情形，導(dǎo)電顆粒2容易沿箭頭方向流動(dòng)。
[0122] 本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜中，可以使各個(gè)導(dǎo)電顆粒2周圍的絕緣性樹脂層3的厚 度分布在各向異性導(dǎo)電膜的整個(gè)區(qū)域一致，在各向異性導(dǎo)電連接時(shí)，使導(dǎo)電顆粒2容易流 動(dòng)的方向?qū)λ械膶?dǎo)電顆粒2而言是一致的；也可以使各個(gè)導(dǎo)電顆粒2周圍的絕緣性樹脂 層3的厚度分布在各向異性導(dǎo)電膜內(nèi)的每個(gè)規(guī)定區(qū)域均不同，在各向異性導(dǎo)電連接時(shí)使導(dǎo) 電顆粒2容易流動(dòng)的方向在各向異性導(dǎo)電膜的每個(gè)規(guī)定區(qū)域均不同。
[0123] 而且，各個(gè)導(dǎo)電顆粒2周圍的絕緣性樹脂層3的厚度分布具有相對(duì)于導(dǎo)電顆粒2 的中心軸L1呈非對(duì)稱的方向，由此，在各向異性導(dǎo)電連接時(shí)，使導(dǎo)電顆粒2容易向特定方向 流動(dòng)之際，只要該流動(dòng)方向不被相鄰的導(dǎo)電顆粒覆蓋，則在各向異性導(dǎo)電膜的整個(gè)區(qū)域，導(dǎo) 電顆粒2周圍的絕緣性樹脂層3的厚度分布可以不一致。
[0124] (3-2)導(dǎo)電顆粒周圍的絕緣性樹脂層的具體形狀 本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜中，為了使將多個(gè)導(dǎo)電顆粒2保持規(guī)定排列的絕緣性樹脂層 3的厚度分布在各個(gè)導(dǎo)電顆粒2的周圍以特定的方向呈非對(duì)稱，絕緣性樹脂層3可以采取 各種形狀。因此，為了形成絕緣樹脂層3而使用的轉(zhuǎn)印模也可以制成各種形狀，以使開口部 11的深度分布具有相對(duì)于通過開口部11的最深部的中心R的鉛垂線L1'呈非對(duì)稱的方向 X'。
[0125] 例如，在圖2A、圖2B和圖2C所示的轉(zhuǎn)印模10A中，可以在具有小凹凸的粗糙面上 形成開口部11的底面。由此，導(dǎo)電顆粒2與轉(zhuǎn)印模10A相接觸的面積減小，將導(dǎo)電顆粒排 列層從轉(zhuǎn)印模10A取下的操作變得容易。
[0126] 在圖2A、圖2B和圖2C所示的轉(zhuǎn)印模10A中，在以通過開口部11的最深部的中心 R的方向X'切斷該轉(zhuǎn)印模10A時(shí)的截面（圖2C)中，開口部11的底面具有規(guī)定的寬度W2， 但如圖9A所示的轉(zhuǎn)印模10B，也可以使開口部11的底面寬度W2為0。通過使用該轉(zhuǎn)印模 10B，可以獲得具有圖9B所示截面的各向異性導(dǎo)電膜1B。
[0127] 在圖2A、圖2B和圖2C所示的轉(zhuǎn)印模10A中，在以通過開口部11的最深部的中心 R的方向X'切斷該轉(zhuǎn)印模10A時(shí)的截面（圖2C)中，在轉(zhuǎn)印模10A的上面，相鄰的開口部 11相接，但如圖10A所示的轉(zhuǎn)印模10C，在轉(zhuǎn)印模的上面，相鄰的開口部之間可以具有規(guī)定 的距離W3。通過使用該轉(zhuǎn)印模10C，可以獲得具有圖10B所示截面的各向異性導(dǎo)電膜1C。
[0128] 如圖11A所示的轉(zhuǎn)印模10D，在以通過開口部11的最深部的中心R的方向X'切斷 轉(zhuǎn)印模時(shí)的截面中，可以使開口部11的相向的側(cè)壁中的一方沿著轉(zhuǎn)印模10D的厚度方向豎 起為懸崖狀，使另一方為階梯狀。通過使用該轉(zhuǎn)印模10D，可以獲得具有圖11B所示截面的 各向異性導(dǎo)電膜1D。
[0129] 轉(zhuǎn)印模的開口部11的側(cè)壁形成階梯狀時(shí)，可以適當(dāng)改變其階數(shù)，例如如圖12A所 示的轉(zhuǎn)印模10E，可以為3階。通過使用該轉(zhuǎn)印模10E，可以獲得具有圖12B所示截面的各 向異性導(dǎo)電膜1E。
[0130] 并且在上述各方案的各向異性導(dǎo)電膜中，導(dǎo)電顆粒2可以部分從絕緣性樹脂層3 露出。
[0131] 作為在本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造中使用的轉(zhuǎn)印模，可以使用各開口部的 深度分布在包含通過開口部最深部的中心的鉛垂線的任意方向的截面中均對(duì)稱的轉(zhuǎn)印模 (例如開口部側(cè)壁全周均為沿轉(zhuǎn)印模厚度方向豎起的懸崖狀）。這種情況下，可通過調(diào)節(jié)在 填充于開口部中的導(dǎo)電顆粒上層合的絕緣性樹脂的粘度、對(duì)該絕緣性樹脂的按壓分布、對(duì) 該絕緣性樹脂的照射時(shí)間安排或照射方向等，在各向異性導(dǎo)電膜中，使保持導(dǎo)電顆粒的絕 緣性樹脂層的厚度分布相對(duì)于導(dǎo)電顆粒呈非對(duì)稱。
[0132] 上述本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜分別進(jìn)行各向異性導(dǎo)電連接時(shí)導(dǎo)電顆粒2容易向 特定方向流動(dòng)。與此相對(duì)，如圖13A所示，轉(zhuǎn)印模10X的開口部11在任意方向上左右對(duì)稱， 則如圖13B所示，所得各向異性導(dǎo)電膜IX中，保持有導(dǎo)電顆粒2的絕緣性樹脂層3周圍的 厚度分布在以導(dǎo)電顆粒2為中心的任意方向上左右對(duì)稱，各向異性導(dǎo)電連接時(shí)導(dǎo)電顆粒的 流動(dòng)方向不確定。因此無法避免電極間由于導(dǎo)電顆粒連接導(dǎo)致的短路、或電極間由于不存 在導(dǎo)電顆粒而導(dǎo)致的導(dǎo)通不良的