一種石英舟的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種石英制品用到的設(shè)備，尤其涉及一種可存放硅片的石英舟。
【背景技術(shù)】
[0002]石英玻璃制品以其優(yōu)良的物理化學(xué)特性，被廣泛用于微電子產(chǎn)業(yè)集成電路芯片制造業(yè)。石英舟是擴(kuò)散時(shí)用到的工具。
[0003]授權(quán)公告號(hào)為CN202503019U，授權(quán)公告日為2012年10月24日的中國(guó)發(fā)明專利公開了一種能夠承載不同規(guī)格硅片的多功能石英舟，屬于石英制品技術(shù)領(lǐng)域。多功能石英舟，包括舟首、舟身和舟尾，所述舟身由縱向構(gòu)件形成，所述縱向構(gòu)件包括龍骨和龍筋，所述龍骨和龍筋上均設(shè)置有成排的卡槽，所述龍骨和龍筋上的卡槽均設(shè)置在內(nèi)上角。本發(fā)明創(chuàng)造性地采用“內(nèi)上角”技術(shù)固定了卡槽的位置，使得硅片的插槽方式較之以往發(fā)生了改變，使得原本石英舟只適應(yīng)一種規(guī)格大小的硅片變成了可以適應(yīng)多種大小規(guī)格的硅片。但是該發(fā)明存在如下不足之處:設(shè)置的卡槽為矩形槽，硅片在插入時(shí)不容易定位，容易破壞硅片兩邊的結(jié)構(gòu)，影響硅片的質(zhì)量;該發(fā)明雖然能夠存放不同規(guī)格大小的硅片，但是卻不能同時(shí)存放不同形狀的硅片，例如不同既存放矩形硅片又能存放圓形硅片，適用范圍較窄。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了克服上述石英舟存在的卡槽損壞硅片結(jié)構(gòu)的缺陷，本發(fā)明提供了一種石英舟，該石英舟改進(jìn)了卡槽的形狀，能夠快速放入娃片，定位娃片，且不會(huì)造成娃片結(jié)構(gòu)的破壞，不影響硅片的質(zhì)量。
[0005 ]本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
一種石英舟，包括兩個(gè)支座、上連接桿和下連接桿，兩個(gè)支座通過上連接桿和下連接桿連接成一個(gè)整體，上連接桿連接在支座的上半部，下連接桿連接在支座的下半部，上連接桿和下連接桿上均設(shè)置有多個(gè)卡槽，其特征在于:所述卡槽為矩形卡槽，矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過渡圓角。
[0006]所述支座上設(shè)置有上橫向滑槽和下橫向滑槽，上連接桿穿過上橫向滑槽，下連接桿穿過下橫向滑槽，上連接接桿和下連接桿上均套接有緊固螺母，緊固螺母能夠?qū)⑸线B接桿和下連接桿分別固定在上橫向滑槽內(nèi)和下橫向滑槽內(nèi)。
[0007]所述上連接桿至少有兩根，所述下連接桿至少有一根。
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果:
本發(fā)明包括兩個(gè)支座、上連接桿和下連接桿，兩個(gè)支座通過上連接桿和下連接桿連接成一個(gè)整體，上連接桿連接在支座的上半部，下連接桿連接在支座的下半部，上連接桿和下連接桿上均設(shè)置有多個(gè)卡槽，其特征在于:所述卡槽為矩形卡槽，矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過渡圓角。本發(fā)明的矩形卡槽上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過渡圓角，過渡圓角的優(yōu)點(diǎn)在于便于硅片準(zhǔn)確的插入到矩形卡槽內(nèi)，而且不會(huì)造成硅片的磨損，不會(huì)影響硅片的表面質(zhì)量。
[0009]本發(fā)明支座上設(shè)置有上橫向滑槽和下橫向滑槽，上連接桿穿過上橫向滑槽，下連接桿穿過下橫向滑槽，上連接接桿和下連接桿上均套接有緊固螺母，緊固螺母能夠?qū)⑸线B接桿和下連接桿分別固定在上橫向滑槽內(nèi)和下橫向滑槽內(nèi)。上連接桿至少有兩根，所述下連接桿至少有一根，通過調(diào)節(jié)上連接桿之間的距離以及下連接桿的在下橫向滑槽的位置，可以滿足不同規(guī)格和不同形狀的硅片的放置。適用范圍大大擴(kuò)大。
【附圖說明】
[0010]圖1是本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是圖1的側(cè)視圖；
圖3是本發(fā)明卡槽的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中標(biāo)記:1、支座，2、上連接桿，3、下連接桿，4、卡槽，5、過渡圓角，6、緊固螺母，7、上橫向滑槽，8、下橫向滑槽。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的描述，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，并不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的其他所用實(shí)施例，都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0013]實(shí)施例1
本實(shí)施例包括兩個(gè)支座1、上連接桿2和下連接桿3，兩個(gè)支座I通過上連接桿2和下連接桿3連接成一個(gè)整體，上連接桿2連接在支座I的上半部，下連接桿3連接在支座I的下半部，上連接桿2和下連接桿3上均設(shè)置有多個(gè)卡槽4，其特征在于:所述卡槽4為矩形卡槽，矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過渡圓角5。本實(shí)施例的矩形卡槽上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過渡圓角，過渡圓角的優(yōu)點(diǎn)在于便于硅片準(zhǔn)確的插入到矩形卡槽內(nèi)，而且不會(huì)造成硅片的磨損，不會(huì)影響硅片的表面質(zhì)量。上連接桿2有兩根，所述下連接桿3有一根。
[0014]實(shí)施例2
本實(shí)施例包括兩個(gè)支座1、上連接桿2和下連接桿3，兩個(gè)支座I通過上連接桿2和下連接桿3連接成一個(gè)整體，上連接桿2連接在支座I的上半部，下連接桿3連接在支座I的下半部，上連接桿2和下連接桿3上均設(shè)置有多個(gè)卡槽4，其特征在于:所述卡槽4為矩形卡槽，矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過渡圓角5。本實(shí)施例的矩形卡槽上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過渡圓角，過渡圓角的優(yōu)點(diǎn)在于便于硅片準(zhǔn)確的插入到矩形卡槽內(nèi)，而且不會(huì)造成硅片的磨損，不會(huì)影響硅片的表面質(zhì)量。上連接桿2有兩根，所述下連接桿3有一根。
[0015]本實(shí)施例支座I上設(shè)置有上橫向滑槽7和下橫向滑槽8，上連接桿2穿過上橫向滑槽7，下連接桿3穿過下橫向滑槽8，上連接接桿2和下連接桿3上均套接有緊固螺母6，緊固螺母6能夠?qū)⑸线B接桿2和下連接桿3分別固定在上橫向滑槽7內(nèi)和下橫向滑槽8內(nèi)。上連接桿2有兩根，所述下連接桿3有兩根，通過調(diào)節(jié)上連接桿之間的距離以及下連接桿的在下橫向滑槽的位置，可以滿足不同規(guī)格和不同形狀的硅片的放置。適用范圍大大擴(kuò)大。
[0016]實(shí)施例3
本實(shí)施例包括兩個(gè)支座1、上連接桿2和下連接桿3，兩個(gè)支座I通過上連接桿2和下連接桿3連接成一個(gè)整體，上連接桿2連接在支座I的上半部，下連接桿3連接在支座I的下半部，上連接桿2和下連接桿3上均設(shè)置有多個(gè)卡槽4，其特征在于:所述卡槽4為矩形卡槽，矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過渡圓角5。本實(shí)施例的矩形卡槽上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過渡圓角，過渡圓角的優(yōu)點(diǎn)在于便于硅片準(zhǔn)確的插入到矩形卡槽內(nèi)，而且不會(huì)造成硅片的磨損，不會(huì)影響硅片的表面質(zhì)量。上連接桿2有兩根，所述下連接桿3有兩根。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石英舟，包括兩個(gè)支座、上連接桿和下連接桿，兩個(gè)支座通過上連接桿和下連接桿連接成一個(gè)整體，上連接桿連接在支座的上半部，下連接桿連接在支座的下半部，上連接桿和下連接桿上均設(shè)置有多個(gè)卡槽，其特征在于:所述卡槽為矩形卡槽，矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過渡圓角。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英舟，其特征在于:所述支座上設(shè)置有上橫向滑槽和下橫向滑槽，上連接桿穿過上橫向滑槽，下連接桿穿過下橫向滑槽，上連接接桿和下連接桿上均套接有緊固螺母，緊固螺母能夠?qū)⑸线B接桿和下連接桿分別固定在上橫向滑槽內(nèi)和下橫向滑槽內(nèi)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種石英舟，其特征在于:所述上連接桿至少有兩根，所述下連接桿至少有一根。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種石英舟，包括兩個(gè)支座、上連接桿和下連接桿，兩個(gè)支座通過上連接桿和下連接桿連接成一個(gè)整體，上連接桿連接在支座的上半部，下連接桿連接在支座的下半部，上連接桿和下連接桿上均設(shè)置有多個(gè)卡槽，所述卡槽為矩形卡槽，矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過渡圓角。本發(fā)明能夠快速放入硅片，定位硅片，且不會(huì)造成硅片結(jié)構(gòu)的破壞，不影響硅片的質(zhì)量。
【IPC分類】H01L21/673, H01L21/68
【公開號(hào)】CN105514005
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610007466
【發(fā)明人】沈根法, 宋偉宏
【申請(qǐng)人】湖州奧博石英科技有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請(qǐng)日】2016年1月7日