基板處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示裝置制造領(lǐng)域，具體地，涉及一種基板處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在制造顯示裝置時(shí)，需要對(duì)基板進(jìn)行清洗、顯影等工藝。在執(zhí)行上述工藝時(shí)，將基板送入基板處理設(shè)備的處理腔中，然后利用噴淋機(jī)構(gòu)朝基板噴涂處理液。通常，基板處理設(shè)備的處理腔內(nèi)設(shè)置有傳感器，該傳感器用于感應(yīng)基板是否進(jìn)入處理腔。
[0003]由于傳感器設(shè)置在處理腔內(nèi)部，因此，向基板噴涂處理液時(shí)有可能會(huì)將處理液噴灑在傳感器上，導(dǎo)致傳感器失靈。
[0004]因此，如何避免傳感器失靈成為本領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種基板處理裝置，所述基板感應(yīng)裝置用于感應(yīng)基板，且不易失靈。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種基板處理裝置，包括處理腔和基板感知組件，其中，所述基板處理裝置還包括:
[0007]轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的一部分設(shè)置在所述處理腔內(nèi)，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的兩個(gè)端部中的至少一個(gè)延伸至所述處理腔外部，所述基板感知組件設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，且位于所述處理腔的外部;和
[0008]驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件固定在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸位于所述處理腔內(nèi)的部分上；
[0009]所述驅(qū)動(dòng)組件能夠在接觸到待處理的基板時(shí)帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸繞自身軸線沿第一方向轉(zhuǎn)動(dòng)，且當(dāng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸沿所述第一方向轉(zhuǎn)過預(yù)定角度時(shí)，所述基板感知組件能夠發(fā)出判定所述基板進(jìn)入所述處理腔的第一感知信號(hào)；
[0010]所述驅(qū)動(dòng)組件能夠在基板離開所述驅(qū)動(dòng)組件時(shí)帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸繞自身軸線沿與所述第一方向相反的第二方向轉(zhuǎn)動(dòng)，且當(dāng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸沿所述第二方向轉(zhuǎn)過所述預(yù)定角度時(shí)，所述基板感知組件停止發(fā)出所述第一感知信號(hào)。
[0011]優(yōu)選地，所述基板感知組件包括基板感知傳感器和感應(yīng)片，所述基板感知傳感器和所述感應(yīng)片中的一者安裝在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，所述基板感知傳感器和所述感應(yīng)片中的另一者相對(duì)于所述處理腔靜止設(shè)置；
[0012]當(dāng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸沿所述第一方向轉(zhuǎn)過所述預(yù)定角度時(shí)，所述基板感知傳感器和所述感應(yīng)片互相接近至所述感應(yīng)片進(jìn)入所述基板感知傳感器的感知范圍，且所述基板感知傳感器發(fā)出所述第一感知信號(hào)；
[0013]當(dāng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸沿所述第二方向轉(zhuǎn)過所述預(yù)定角度時(shí)，所述基板感知傳感器和所述感應(yīng)片互相遠(yuǎn)離至所述感應(yīng)片離開所述基板感知傳感器的感知范圍，并且所述基板感知傳感器停止發(fā)出所述第一感知信號(hào)。
[0014]優(yōu)選地，所述基板感知組件還包括安裝架，所述安裝架相對(duì)于所述處理腔靜止設(shè)置，所述基板感知傳感器和所述感應(yīng)片中相對(duì)于所述處理腔靜止的一者固定設(shè)置在所述安裝架上。
[0015]優(yōu)選地，所述基板感知傳感器設(shè)置在所述安裝架上，所述感應(yīng)片設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上。
[0016]優(yōu)選地，所述基板處理裝置還把包括初始位置感應(yīng)傳感器，所述初始位置感應(yīng)傳感器設(shè)置在所述安裝架上，且所述初始位置感應(yīng)傳感器與所述基板感知傳感器分別位于所述感應(yīng)片的運(yùn)動(dòng)軌跡的兩端，當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)組件與所述基板脫離接觸時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)組件將所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定在使得所述感應(yīng)片位于所述初始位置感應(yīng)傳感器的感知范圍內(nèi)的初始位置，且當(dāng)所述感應(yīng)片位于所述初始位置傳感器的感知范圍內(nèi)時(shí)，所述初始位置傳感器能夠發(fā)出第二感知信號(hào)。
[0017]優(yōu)選地，所述基板感知傳感器包括第一凹槽，所述初始位置傳感器包括第二凹槽，所述感應(yīng)片的一端能夠進(jìn)入所述第一凹槽，所述感應(yīng)片的另一端能夠進(jìn)入所述第二凹槽。
[0018]優(yōu)選地，所述感應(yīng)片形成為扇環(huán)形，所述基板處理裝置還包括支撐桿，所述支撐桿的一端固定設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，所述感應(yīng)片固定設(shè)置在所述支撐桿的另一端，且所述支撐桿的延長線穿過所述旋轉(zhuǎn)軸的軸線，所述感應(yīng)片的圓心位于所述支撐桿上。
[0019]優(yōu)選地，所述驅(qū)動(dòng)組件包括固定在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的杠桿、設(shè)置在所述杠桿一端的配重和設(shè)置在所述杠桿的另一端的接觸件，所述杠桿用于當(dāng)所述接觸件與所述基板接觸時(shí)，隨所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸繞該轉(zhuǎn)動(dòng)軸的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0020]所述基板處理裝置還包括位于處理腔內(nèi)并設(shè)置在所述杠桿下方的配重止擋件，所述配重止擋件用于當(dāng)所述接觸件不與所述基板接觸時(shí)，止擋所述杠桿設(shè)置有配重的一端運(yùn)動(dòng)。
[0021]優(yōu)選地，所述配重到所述杠桿與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連處的距離小于所述杠桿的另一端到所述杠桿與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連處的距離。
[0022]優(yōu)選地，所述接觸件包括滾輪，所述滾輪能在所述基板接觸所述滾輪外表面并將所述杠桿壓下時(shí)滾動(dòng)。
[0023]優(yōu)選地，所述配重止擋件包括止擋桿，所述基板處理裝置還包括安裝桿，所述配重止擋件設(shè)置在所述安裝桿的一端，所述安裝桿的另一端用于安裝在所述處理腔內(nèi)，所述安裝桿和所述配重止擋件互相垂直。
[0024]優(yōu)選地，所述基板處理裝置還包括調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述安裝桿為可伸縮桿，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括操作部和執(zhí)行部，所述執(zhí)行部連接在所述安裝桿和所述操作部之間，所述操作部設(shè)置在所述處理腔外部，所述執(zhí)行部能夠?qū)⑹┘咏o所述操作部的動(dòng)作傳遞至所述安裝桿，并控制所述安裝桿伸長或縮短。
[0025]優(yōu)選地，所述基板處理裝置還包括控制器和噴淋機(jī)構(gòu)，所述噴淋機(jī)構(gòu)包括噴淋頭，所述噴淋頭設(shè)置在所述處理腔內(nèi)，所述控制器的輸出端與所述噴淋機(jī)構(gòu)的控制端相連，所述控制器的輸入端與所述基板感知組件的輸出端相連，當(dāng)所述控制器接收到所述基板感知組件的第一感知信號(hào)時(shí)，向所述噴淋機(jī)構(gòu)的控制端發(fā)出第一控制信號(hào)，以控制所述噴淋機(jī)構(gòu)開始噴淋。
[0026]優(yōu)選地，所述基板處理裝置還包括控制器和噴淋機(jī)構(gòu)，所述噴淋機(jī)構(gòu)包括噴淋頭，所述噴淋頭設(shè)置在所述處理腔內(nèi)，所述控制器的輸出端與所述噴淋機(jī)構(gòu)的控制端相連，所述控制器的輸入端與所述基板感知組件的輸出端相連，當(dāng)所述控制器接收到所述第二感知信號(hào)時(shí)，向所述噴淋機(jī)構(gòu)發(fā)出第二控制信號(hào)，以控制所述噴淋機(jī)構(gòu)停止噴淋。
[0027]優(yōu)選地，所述基板處理裝置包括設(shè)置在所述處理腔內(nèi)的多個(gè)傳輸軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸設(shè)置在相鄰兩根所述傳輸軸之間。
[0028]在本發(fā)明所提供給的基板處理裝置中，由于基板感知傳感器和感應(yīng)片均設(shè)置在處理腔的外部，因此，處理液不會(huì)對(duì)基板感知傳感器造成影響。除此之外，一旦基板感知傳感器發(fā)生故障，可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)，并且可以方便地對(duì)基板感知傳感器進(jìn)行更換，從而可以避免因基板感知傳感器故障造成的設(shè)備停運(yùn)、疊片、破片等現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0029]附圖是用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0030]圖1是本發(fā)明所提供的基板處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031 ]圖2是傳感器安裝架的示意圖，其中，所述感應(yīng)片處于初始狀體；
[0032]圖3是傳感器安裝架的示意圖，其中，所述感應(yīng)片處于最終狀體；
[0033]圖4是感應(yīng)片未進(jìn)入基板感知傳感器的感知范圍的示意圖；
[0034]圖5是感應(yīng)片進(jìn)入基板感知傳感器的感知范圍的示意圖；
[0035]圖6是展示本發(fā)明所提供的基板處理裝置中傳輸軸與轉(zhuǎn)動(dòng)軸之間位置關(guān)系的示意圖。
[0036]附圖標(biāo)記說明
[0037]110:基板感知傳感器120:初始位置感知傳感器
[0038]200:感應(yīng)片300:轉(zhuǎn)動(dòng)軸
[0039]400:驅(qū)動(dòng)組件410:杠桿
[0040]420:配重塊430:接觸件[0041 ]500:安裝架 600:配重止擋件
[0042]610:安裝桿700:調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
[0043]710:操作部720:執(zhí)行部
[0044]800:軸承900:傳輸軸
[0045]910:傳輸輪I 1a:第一凹槽
【具體實(shí)施方式】
[0046]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0047]作為本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種基板處理裝置，所述基板處理裝置包括處理腔(未示出)和基板感知組件，其中，如圖1所示，所述基板感應(yīng)裝置還包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸300和驅(qū)動(dòng)組件400。
[0048]轉(zhuǎn)動(dòng)軸300的一部分設(shè)置在所述處理腔內(nèi)(圖1中，兩條虛線所示的是處理腔的邊界，虛線之間的部分即為處理腔內(nèi)部)，轉(zhuǎn)動(dòng)軸300的兩個(gè)端部中的至少一個(gè)延伸至所述處理腔外部。所述基板感知組件設(shè)置在傳動(dòng)軸300上，且位于所述處理腔的外部。
[0049]如圖1中所示，驅(qū)動(dòng)組件400固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸300位于所述處理腔內(nèi)部的部分上。
[0050]驅(qū)動(dòng)組件400能夠在接觸到待處理的基板時(shí)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸300繞自身軸線沿第一方向轉(zhuǎn)動(dòng)，且當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸300沿所述第一方向轉(zhuǎn)過預(yù)定角度時(shí)，所述基板感知組件能夠發(fā)出判定所述基板進(jìn)入所述處理腔的第一感知信號(hào)。
[0051 ]除此之外，驅(qū)動(dòng)組件400還能夠在基板離開該驅(qū)動(dòng)組件4