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      一種過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜及其制備方法

      文檔序號(hào):10490287閱讀:673來(lái)源:國(guó)知局
      一種過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜及其制備方法
      【專利摘要】本發(fā)明涉及一種過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜及其制備方法,將過(guò)渡金屬醇鹽用醇溶解稀釋后旋涂在石墨烯表面對(duì)其進(jìn)行摻雜,經(jīng)過(guò)熱處理,得到過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜,所述過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜包括石墨烯層和沉積于石墨烯層上的過(guò)渡金屬氧化物層。本發(fā)明成本低廉、操作簡(jiǎn)便。摻雜處理后,石墨烯表面電阻顯著下降,且可以在較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持穩(wěn)定。摻雜處理之后石墨烯方阻能降低40~50%,并且表現(xiàn)出非常優(yōu)異的穩(wěn)定性和光透過(guò)率。本發(fā)明對(duì)拓展石墨烯透明導(dǎo)電薄膜應(yīng)用具有重要意義。本發(fā)明制備的石墨烯薄膜可望在太陽(yáng)能電池、觸摸屏、電加熱膜等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
      【專利說(shuō)明】
      一種過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜及其制備方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      [0001]本發(fā)明涉及一種一種過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜的制備方法,屬于薄膜材料技術(shù)領(lǐng)域。
      【背景技術(shù)】
      [0002]具有優(yōu)良導(dǎo)電性和透光性的透明導(dǎo)電薄膜被廣泛應(yīng)用到工業(yè)生產(chǎn)之中。至今為止,透明導(dǎo)電薄膜所使用的材料一直是ΙΤ0,但是ITO具有諸多缺點(diǎn),例如ITO在酸堿環(huán)境之中并不穩(wěn)定、在近紅外光區(qū)域透過(guò)率不高、缺乏彈性和因?yàn)镮n資源缺乏而導(dǎo)致其日益上漲的價(jià)格。石墨烯具有極高的強(qiáng)度、化學(xué)穩(wěn)定性、良好的柔性和導(dǎo)電性,使得石墨烯成為代替ITO制備透明導(dǎo)電薄膜的優(yōu)良材料。
      [0003]然而,現(xiàn)在基于CVD法制備的石墨烯依然存在大量的缺陷,導(dǎo)致了石墨烯的導(dǎo)電性依然不理想,即方阻較高(100-500 Ω/□)在85%的透過(guò)率下,是ITO透明導(dǎo)電薄膜的十幾倍,再加上由于石墨烯本身的性質(zhì)零帶隙,使其不能作為半導(dǎo)體應(yīng)用。另外,石墨烯功函數(shù)比較低(4.2?4.6eV)使得其作為電極的競(jìng)爭(zhēng)力較弱。這都是石墨烯在電子器件領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的阻礙。例如,石墨烯如果要作為太陽(yáng)能電池的陰極材料,電極的功函數(shù)最好在5.0eV左右,因此石墨烯為滿足作為太陽(yáng)能電池電極的需要就要調(diào)節(jié)導(dǎo)電性和功函數(shù)。
      [0004]通過(guò)慘雜提尚石墨稀載流子濃度,是提尚其電導(dǎo)率的最有效方法之一。石墨稀的摻雜主要分為化學(xué)(替位)摻雜與表面物理?yè)诫s。與化學(xué)摻雜不同,表面物理?yè)诫s不會(huì)破壞石墨烯的六元環(huán)結(jié)構(gòu),而僅是借助摻雜劑與石墨烯功函數(shù)的差異,實(shí)現(xiàn)對(duì)石墨烯的載流子注入。因而表面物理?yè)诫s可以在不降低載流子迀移率的條件下顯著提高其載流子數(shù)目,顯示出巨大的優(yōu)勢(shì)。目前已報(bào)道的石墨烯表面摻雜物質(zhì)主要包括,有機(jī)分子(tfsa,ddq,f4-TCNQ等)、無(wú)機(jī)鹽類/酸(圓03^11(:13,30(:12等)、金屬微粒以及氧化性氣體等(02,^)2)。然而,無(wú)機(jī)酸、有機(jī)分子及氣體摻雜劑等摻雜效果極不穩(wěn)定,如HN O 3摻雜的石墨稀電極在空氣中放置480小時(shí)后,電阻增加90%。而金屬微粒及AuCl3等則成本過(guò)高,很難大規(guī)模應(yīng)用。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0005]針對(duì)已有的石墨烯摻雜方法成本高、摻雜后電阻不穩(wěn)定的不足,本發(fā)明旨在提供一種過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜和一種簡(jiǎn)單方便、低成本摻雜石墨烯的方法,可以明顯提高石墨烯導(dǎo)電性、并保證電阻在較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持穩(wěn)定,從而解決石墨烯應(yīng)用的瓶頸問(wèn)題。
      [0006]為了解決上述問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜,將過(guò)渡金屬醇鹽用醇溶解稀釋后旋涂在石墨烯表面對(duì)其進(jìn)行摻雜,經(jīng)過(guò)熱處理,得到過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜,所述過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜包括石墨烯層和沉積于石墨烯層上的過(guò)渡金屬氧化物層。
      [0007]本發(fā)明將過(guò)渡金屬醇鹽用醇溶解稀釋后,旋涂在石墨烯表面,最后經(jīng)過(guò)熱處理,得到過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜。本發(fā)明在薄膜制備過(guò)程中完成了過(guò)渡金屬氧化物對(duì)石墨烯的摻雜,屬于表面物理?yè)诫s。當(dāng)石墨烯表面旋涂過(guò)渡金屬氧化物后,由于氧化物比石墨烯功函數(shù)高,二者界面處將產(chǎn)生能帶彎曲,從而使電子由石墨烯注入到金屬氧化物中,即石墨烯發(fā)生P型摻雜。與替位摻雜不同,過(guò)渡金屬氧化物對(duì)石墨烯的摻雜不會(huì)破壞石墨烯的六元環(huán)結(jié)構(gòu),因而可以在不降低載流子迀移率的條件下顯著提高石墨烯載流子數(shù)目,進(jìn)而顯著降低石墨烯的方阻,在提高石墨烯的導(dǎo)電性方面顯示出巨大的優(yōu)勢(shì)。過(guò)渡金屬氧化物的摻雜在保證一定光透過(guò)率的情況下顯著提高石墨烯的功函數(shù),降低石墨烯方阻,摻雜石墨烯功函數(shù)最大能夠提高0.3eV以上,方阻最多可下降50%以上。
      [0008]較佳地,所述過(guò)渡金屬氧化物層的組成為金屬M(fèi)o、V、W和Ni的氧化物中的至少一種,優(yōu)選為金屬V的氧化物。
      [0009]較佳地,所述過(guò)渡金屬氧化物層厚度為Inm?20nm,優(yōu)選為1nm0
      [0010]本發(fā)明還提供了一種過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜的制備方法,包括:
      (1)將過(guò)渡金屬醇鹽溶液旋涂到石墨烯表面;
      (2)將(I)所得旋涂后石墨烯置于在空氣氣氛中在25°C?800°C下,優(yōu)選100?500°C,煅燒0.5?24小時(shí),優(yōu)選I?5小時(shí),得到過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜。
      [0011]較佳地,所述過(guò)渡金屬醇鹽為異丙醇鹽,優(yōu)選為異丙醇鉬、異丙醇鎢、異丙醇釩、異丙醇鎳中的至少一種。
      [0012]較佳地,所述過(guò)渡金屬醇鹽溶液的溶劑為乙醇、正丙醇、異丙醇、丙三醇、正丁醇、乙二醇中的至少一種。
      [0013]較佳地,所述醇鹽溶液的濃度為大于0.0Olmol/L且在0.lmol/L以下,優(yōu)選為0.001mol/L 到 0.016mol/L 之間。
      [0014]較佳地,所述旋涂的旋涂速度為O到5000rpm之間,優(yōu)選為1000到5000rpm之間。
      [0015]較佳地,所述煅燒的氣氛為空氣氣氛。
      [0016]本發(fā)明采用金屬醇鹽為原料,用旋涂法成膜,在空氣中熱處理,成本低廉、操作簡(jiǎn)便。摻雜處理后,石墨烯表面電阻顯著下降,且可以在較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持穩(wěn)定。摻雜處理之后石墨烯方阻能降低40?50%,并且表現(xiàn)出非常優(yōu)異的穩(wěn)定性和光透過(guò)率。本發(fā)明對(duì)拓展石墨烯透明導(dǎo)電薄膜應(yīng)用具有重要意義。本發(fā)明制備的石墨烯薄膜可望在太陽(yáng)能電池、觸摸屏、電加熱膜等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
      【附圖說(shuō)明】
      [0017]圖1為實(shí)施例1中過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜的XRD衍射圖譜;
      圖2為實(shí)施例1中過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜的SEM照片;
      圖3為實(shí)施例1中過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜的拉曼圖譜;
      圖4為實(shí)施例1中過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜的方阻隨時(shí)間變化圖;
      圖5為實(shí)施例1中過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜在不同煅燒溫度下的光透過(guò)率-波長(zhǎng)曲線;
      圖6為不同氣氛下熱處理獲得的過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜的方阻變化趨勢(shì)圖;圖7為對(duì)比例I中不同物質(zhì)摻雜所得復(fù)合薄膜的方阻下降百分比隨熱處理溫度變化曲線(縱坐標(biāo)負(fù)號(hào)表示方阻升高);
      圖8為對(duì)比例2中所得復(fù)合薄膜的方阻下降百分比隨異丙醇釩溶液濃度的變化曲線。
      【具體實(shí)施方式】
      [0018]以下結(jié)合附圖和實(shí)施方式進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明,應(yīng)理解,下述實(shí)施方式僅用于說(shuō)明本發(fā)明,而非限制本發(fā)明。
      [0019]本發(fā)明以過(guò)渡金屬醇鹽的醇溶液為原料,在石墨烯表面沉積成膜,在空氣中熱處理,得到過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜。本發(fā)明在薄膜制備過(guò)程中完成了過(guò)渡金屬的摻雜,其中過(guò)渡金屬氧化物層的組成為金屬M(fèi)o、V、W和Ni的氧化物中的至少一種,優(yōu)選為金屬V的氧化物。金屬V的氧化物降低石墨烯電阻的效果最好,能夠降低石墨烯方阻達(dá)50%以上,并且能夠提尚石墨稀功函數(shù)0.3eV以上。
      [0020]以下示例的說(shuō)明本發(fā)明提供的過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜的制備方法。
      [0021]將過(guò)渡金屬醇鹽溶液旋涂到石墨烯表面。本發(fā)明所述醇鹽在石墨烯表面的沉積方法為旋涂法。因?yàn)樵摲椒ㄒ子诓僮髑夷芎妮^低。
      [0022]上述過(guò)渡金屬醇鹽醇鹽可為但不僅限于異丙醇鹽,優(yōu)選可為異丙醇鉬、異丙醇鎢、異丙醇釩、異丙醇鎳中的至少一種。本發(fā)明選擇過(guò)渡金屬異丙醇鹽因成本較低且易得。
      [0023]上述用于溶解異丙醇鹽的溶劑一般可為醇,其中醇包括但不限于乙醇、丙醇、異丙醇、丙三醇、正丁醇中的至少一種,優(yōu)選為異丙醇。因?yàn)楫惐純r(jià)格低廉、且與石墨烯浸潤(rùn)性良好,成膜效果較好。
      [0024]上述過(guò)渡金屬醇鹽溶液的濃度大于0.0Olmol/L且為0.lmol/L以下,優(yōu)選為介于0.0Olmol/L到0.016mol/L之間。濃度較高,成膜較厚,影響透過(guò)率;濃度較低,則摻雜效果不明顯。
      [°°25] 上述旋涂的旋涂速度介于O到5000rpm之間,優(yōu)選介于1000到5000rpm之間。旋涂速度過(guò)高或過(guò)低,薄膜厚度都不理想。
      [0026]在石墨烯表面旋涂成膜后進(jìn)行熱處理得到過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜。
      [0027]上述熱處理的溫度介于25°C到800°C之間,優(yōu)選為介于100°C到500°C之間。由于在熱處理過(guò)程中,氧化物薄膜會(huì)繼續(xù)發(fā)生化學(xué)或者物理變化。過(guò)低的溫度,反應(yīng)尚未進(jìn)行,摻雜效果提升不明顯,甚至?xí)陆怠囟冗^(guò)高,可能會(huì)破壞石墨烯薄膜導(dǎo)致?lián)诫s石墨烯導(dǎo)電性變差??傊词乖?5-100°C溫度下熱處理,與未摻雜石墨烯相比,摻雜石墨烯薄膜的電阻仍能明顯降低,因而本方法的成本更加低廉。
      [0028]上述所述熱處理的氣氛可為空氣。因?yàn)榭諝庵械难鯕鈺?huì)提高金屬氧化物功函數(shù),注入更多載流子到石墨烯之中,鞏固摻雜效果。
      [0029]上述所述熱處理的時(shí)間介于0.5小時(shí)到24小時(shí)之間,優(yōu)選為介于I小時(shí)到5小時(shí)之間。煅燒時(shí)間過(guò)短會(huì)影響石墨烯的摻雜程度,煅燒時(shí)間過(guò)長(zhǎng)會(huì)浪費(fèi)能源。
      [0030]本發(fā)明制備的過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜中過(guò)渡金屬氧化物層的厚度在1nm左右(見(jiàn)圖2)。復(fù)合薄膜的光透過(guò)率在85?92% (550nm)左右(見(jiàn)圖5),方阻為100?300Ω/sq左右(見(jiàn)圖4)。
      [0031]本發(fā)明制備的摻雜石墨烯薄膜,與未摻雜石墨烯薄膜相比,石墨烯功函數(shù)提高
      0.01-2.0eV左右,方阻降低40 %?50 %。放置于空氣中700h后,方阻僅上升20 %?60 %。
      [0032]下面進(jìn)一步例舉實(shí)施例以詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。同樣應(yīng)理解,以下實(shí)施例只用于對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明,不能理解為對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限制,本領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明的上述內(nèi)容作出的一些非本質(zhì)的改進(jìn)和調(diào)整均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。下述示例具體的工藝參數(shù)等也僅是合適范圍中的一個(gè)示例,即本領(lǐng)域技術(shù)人員可以通過(guò)本文的說(shuō)明做合適的范圍內(nèi)選擇,而并非要限定于下文示例的具體數(shù)值。
      [0033]實(shí)施例1
      將0.0lml異丙醇銀(純度99%,Sigma-Aldrich)用Iml異丙醇稀釋,滴在轉(zhuǎn)移至石英基底的未摻雜石墨烯表面,5000rpm轉(zhuǎn)速下旋涂I分鐘。上述石墨烯片置于管式爐中,以20°C/分鐘的速率升溫至300°C,并保溫30min,得到VOx摻雜的石墨烯透明導(dǎo)電薄膜。附圖1為其XRD衍射圖譜。可以看出在該溫度下,VOx呈一定晶化態(tài),其在20.26°和41.26°的衍射峰對(duì)應(yīng)于結(jié)晶態(tài)的¥205(凡?0?#41-1426),而在24.45°出現(xiàn)的小衍射峰則對(duì)應(yīng)于結(jié)晶態(tài)V3O7(JCPDF#27-0940)。薄膜表面SEM照片如附圖2a所示,可以看出VOx晶粒呈短棒狀,長(zhǎng)度小于lOOnm。截面SEM照片(附圖2b)表明,VOx層的厚度為1nm左右。摻雜前后石墨烯薄膜的拉曼光譜如附圖3所示,可以看出與未摻雜石墨烯相比,摻雜后石墨烯G峰出現(xiàn)了較大幅度的紅移,這表明石墨烯發(fā)生了 P型摻雜。摻雜前后石墨烯方阻變化及其穩(wěn)定性測(cè)試結(jié)果如附圖4所示,摻雜前石墨烯薄膜的方阻為400/sq,摻雜后石墨烯薄膜方阻為176/sq,下降幅度達(dá)到56%。從圖中還可以看出,樣品的穩(wěn)定性十分優(yōu)異,在空氣中放置700h之后,方阻僅上升59 %。附圖5為未摻雜和摻雜石墨烯的光透過(guò)率曲線,可見(jiàn)摻雜石墨烯在近紅外和可見(jiàn)光區(qū)具有優(yōu)異的光透過(guò)率,550nm處光透過(guò)率約為86%。
      [0034]實(shí)施例2
      將0.0lml異丙醇媽(純度99%,Sigma-Aldrich)用Iml異丙醇稀釋,滴到預(yù)先轉(zhuǎn)移至石英基底的石墨稀表面,5000rpm轉(zhuǎn)速下旋涂I分鐘,形成表面覆蓋薄層WOx的石墨稀薄膜。上述薄膜以200C/分鐘速率升至3000C,并保溫30min,獲得WOx摻雜的石墨烯透明導(dǎo)電薄膜。經(jīng)測(cè)定,摻雜后石墨烯薄膜的表面電阻為250/sq,與未摻雜石墨烯薄膜(400/sq)相比,電阻下降幅度達(dá)到37.5%。其在550nm處光透過(guò)率為92%。
      [0035]對(duì)比例I
      將0.0lml異丙醇釩和異丙醇鎢分別用Iml異丙醇稀釋,滴到預(yù)先轉(zhuǎn)移至石英基底的石墨稀表面,5000rpm轉(zhuǎn)速下旋涂I分鐘,形成表面分別覆蓋薄層VOx和WOx的石墨稀薄膜。上述薄膜置于管式爐中,在空氣氣氛下,以20°C/分鐘速率升溫至150°C、300°C、40(rC,并保溫30min,獲得摻雜石墨烯透明導(dǎo)電薄膜。摻雜后石墨烯薄膜方阻下降百分比如附圖7所示??梢钥闯觯惐尖C的摻雜效果要優(yōu)于異丙醇鎢。
      [0036]對(duì)比例2
      分別量取0.0035ml,0.005ml和0.015ml異丙醇釩用Iml異丙醇稀釋,滴到預(yù)先轉(zhuǎn)移至石英基底的石墨稀表面,5000rpm轉(zhuǎn)速下旋涂I分鐘,形成表面覆蓋VOx薄層的石墨稀薄膜。將上述石墨烯薄膜放置于管式爐中,在空氣中以20°C/分鐘速率升溫至一定溫度之后保溫30min,得到摻雜石墨烯透明導(dǎo)電薄膜。摻雜后石墨烯薄膜方阻下降百分比如附圖8所示??梢钥闯?,空氣中煅燒后,異丙醇釩的濃度越高摻雜效果越好。
      [0037]對(duì)比例3
      分別量取0.0lml異丙醇鹽溶液(釩和鎢)用Iml異丙醇稀釋,滴到預(yù)先轉(zhuǎn)移至石英基底的石墨稀表面,5000rpm轉(zhuǎn)速下旋涂I分鐘,形成表面分別覆蓋薄層VOx和WOx的石墨稀薄膜。將上述石墨烯薄膜放置于管式爐中,在空氣中以20°C/分鐘速率升溫至300°C之后,保溫30min、l小時(shí)和3小時(shí)。得到熱處理溫度不同的摻雜石墨烯。測(cè)試結(jié)果表明,摻雜薄膜的電阻和光透過(guò)率基本相同,表明熱處理時(shí)間對(duì)摻雜效果影響不大。
      [0038]測(cè)試方法:利用四探針?lè)y(cè)試摻雜石墨烯薄膜表面方阻,利用拉曼光譜儀測(cè)試石墨烯摻雜程度,利用紫外-可見(jiàn)-近紅外分光光度計(jì),測(cè)試薄膜光透過(guò)率。
      [0039]圖6為不同氣氛下熱處理獲得的摻雜石墨烯方阻變化趨勢(shì)圖。從圖6中可知,摻雜石墨烯薄膜在空氣中退火比在氬氣中退火效果更為顯著,摻雜石墨烯透明導(dǎo)電薄膜導(dǎo)電性提升更為明顯。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜,其特征在于,將過(guò)渡金屬醇鹽用醇溶解稀釋后旋涂在石墨烯表面對(duì)其進(jìn)行摻雜,經(jīng)過(guò)熱處理,得到過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜,所述過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜包括石墨烯層和沉積于石墨烯層上的過(guò)渡金屬氧化物層。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜,其特征在于,所述過(guò)渡金屬氧化物層的組成為金屬M(fèi)o、V、W和Ni的氧化物中的至少一種。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜,其特征在于,所述過(guò)渡金屬氧化物層厚度為I nm?20 nm。4.一種如權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述過(guò)渡金屬氧化物/石墨烯復(fù)合薄膜的制備方法,其特征在于,包括: (1)將過(guò)渡金屬醇鹽溶液旋涂到石墨烯表面; (2)將(I)所得旋涂后石墨烯在250C?8000C下,優(yōu)選100?500°C,煅燒0.5?24小時(shí),優(yōu)選I?5小時(shí),得到過(guò)渡金屬氧化物/石墨稀復(fù)合薄膜。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法,其特征在于,所述過(guò)渡金屬醇鹽為異丙醇鹽,優(yōu)選為異丙醇鉬、異丙醇鎢、異丙醇釩、異丙醇鎳中的至少一種。6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的制備方法,其特征在于,所述過(guò)渡金屬醇鹽溶液的溶劑為乙醇、正丙醇、異丙醇、丙三醇、正丁醇、乙二醇中的至少一種。7.根據(jù)權(quán)利要求4-6中任一項(xiàng)所述的制備方法,其特征在于,所述醇鹽溶液的濃度為大于0.001 mol/L 目在0.1 mol/L以下,優(yōu)選為0.001 mol/L 到0.016 mol/L之間。8.根據(jù)權(quán)利要求4-7中任一項(xiàng)所述的制備方法,其特征在于,所述旋涂的旋涂速度為O到5000 rpm之間,優(yōu)選為1000到5000 rpm之間。9.根據(jù)權(quán)利要求4-8中任一項(xiàng)所述的制備方法,其特征在于,所述煅燒的氣氛為空氣氣氛。
      【文檔編號(hào)】H05B3/14GK105845195SQ201610182599
      【公開(kāi)日】2016年8月10日
      【申請(qǐng)日】2016年3月28日
      【發(fā)明人】劉陽(yáng)橋, 紀(jì)慶華, 孫靜, 施良晶, 王焱
      【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所
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