準分子放電燈的制作方法
【專利摘要】提供一種能夠緩和由于外側(cè)電極的固定方法而發(fā)生的應(yīng)力集中、能夠可靠地得到期望的燈壽命的準分子放電燈。一種準分子放電燈，具備在內(nèi)部封入有發(fā)光氣體、且形成有經(jīng)由縮徑部而與管狀的發(fā)光部的一端連續(xù)的密封部的發(fā)光管，在該發(fā)光管的外周面配設(shè)有網(wǎng)狀的外側(cè)電極，該準分子放電燈構(gòu)成為，外側(cè)電極的一端部經(jīng)由在密封部的外表面設(shè)置的外側(cè)電極固定用部件而被固定。
【專利說明】
準分子放電燈
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及例如在光清潔處理或殺菌處理等中使用的準分子放電燈。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，作為例如光清潔處理裝置或殺菌處理裝置等各種裝置的光源而使用準分子放電燈。
[0003]作為準分子放電燈，例如廣泛地使用在由具有透光性的電介質(zhì)材料構(gòu)成的發(fā)光管的外表面配設(shè)電極(外側(cè)電極)、在發(fā)光管的內(nèi)部配置內(nèi)側(cè)電極而成的結(jié)構(gòu)(例如參照專利文獻I)。
[0004]圖6是概略地表示以往的準分子放電燈的一例的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖7是將圖6所示的準分子放電燈的主要部的結(jié)構(gòu)放大表示的長度方向剖視圖。
[0005]該準分子放電燈具備在內(nèi)部封入有發(fā)光氣體的發(fā)光管60。在發(fā)光管60的一個端部形成有密封部63。密封部63例如是埋設(shè)金屬箔68并氣密密封的所謂箔密封構(gòu)造(例如夾封(pinch seal)構(gòu)造)，經(jīng)由彎曲的縮徑部62而與圓管狀的發(fā)光部61的另一端連續(xù)。此外，在發(fā)光管的另一個端部，設(shè)有末端(tip)部65，該末端部65是用來在燈的制造過程中將發(fā)光管60內(nèi)排氣的排氣路徑的殘留部。
[0006]在發(fā)光管60的外表面，以與發(fā)光管60的外表面密接的狀態(tài)配設(shè)有外側(cè)電極80。夕卜側(cè)電極80例如由通過具有導(dǎo)電性的多根金屬細線形成的網(wǎng)狀電極構(gòu)成。
[0007]此外，在發(fā)光管60的內(nèi)部，以沿著發(fā)光管的長度方向延伸的狀態(tài)配置有內(nèi)側(cè)電極70。內(nèi)側(cè)電極70由其主要部分卷繞為螺旋狀而形成的線圈電極構(gòu)成，另一端部位于末端部65內(nèi)，一端部與埋設(shè)在密封部63中的金屬箔68電連接。金屬箔68與比發(fā)光管60的另一端更向外方突出而延伸的外部引線75電連接。
[0008]在這樣的結(jié)構(gòu)的準分子放電燈中，外側(cè)電極80被固定成不會隨便移動。對外側(cè)電極80的固定方法具體地說明如下，在發(fā)光管60的外表面上的縮徑部62與密封部63間的邊界部分附近，卷繞例如軟Ni線等金屬線85，由此將外側(cè)電極80的一端部相對于發(fā)光管60固定。
[0009]專利文獻1:特開2014 —154274號公報
[0010]但是，在上述結(jié)構(gòu)的準分子放電燈中，密封部63通過將構(gòu)成發(fā)光管60的例如由石英玻璃形成的發(fā)光管形成材料的端部加熱并用鉗子(Pincher)壓扁而形成。此時，發(fā)光管形成材料在被加熱后急冷，所以在密封部殘留因溫度帶來的應(yīng)變(熱應(yīng)變)。
[0011]此外，在產(chǎn)生真空紫外光的準分子放電燈中，在點燈中對發(fā)光管60的內(nèi)面照射波長較短的真空紫外光，結(jié)果除了上述應(yīng)變以外還積蓄紫外線應(yīng)變。
[0012]特別是，在發(fā)光管60的縮徑部62，由于構(gòu)成發(fā)光管60的玻璃的變形較大，所以熱應(yīng)變?nèi)菀讱埩簦⑶以诳s徑部62所處的區(qū)域中也在內(nèi)側(cè)電極70與外側(cè)電極80之間發(fā)生放電，發(fā)生因被照射真空紫外光引起的紫外線應(yīng)變，所以應(yīng)變的殘留或積蓄較顯著。
[0013]在這樣的容易殘留或積蓄應(yīng)變的區(qū)域中，如果如以往那樣用卷繞Ni線等金屬線85的方法將外側(cè)電極80固定，則在該區(qū)域中容易發(fā)生應(yīng)力集中，有發(fā)光管60有可能在規(guī)定的壽命前損壞的問題。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0014]本發(fā)明是基于以上那樣的情況而做出的，目的是提供一種能夠緩和由外側(cè)電極的固定方法引起的應(yīng)力集中、能夠可靠地得到期望的燈壽命的準分子放電燈。
[0015]本發(fā)明的準分子放電燈，具備在內(nèi)部封入有發(fā)光氣體、且形成有經(jīng)由縮徑部而與管狀的發(fā)光部的一端連續(xù)的密封部的發(fā)光管，在該發(fā)光管的外周面配設(shè)有網(wǎng)狀的外側(cè)電極，其特征在于，上述外側(cè)電極的一端部經(jīng)由在上述密封部的外表面設(shè)置的外側(cè)電極固定用部件而被固定。
[0016]此外，本發(fā)明的準分子放電燈，具備在內(nèi)部封入有發(fā)光氣體、且形成有經(jīng)由縮徑部而與管狀的發(fā)光部的一端連續(xù)的密封部的發(fā)光管，在該發(fā)光管的外周面配設(shè)有網(wǎng)狀的外側(cè)電極，其特征在于，上述外側(cè)電極的一端部在位于上述密封部的外表面的狀態(tài)下，被使該外側(cè)電極的一端部與該密封部的外表面接觸的保持部件保持固定。
[0017]在本發(fā)明的準分子放電燈中，上述外側(cè)電極固定用部件可以由安裝于上述密封部的基礎(chǔ)部件構(gòu)成。
[0018]在本發(fā)明的準分子放電燈中，構(gòu)成為外側(cè)電極延伸到與容易積蓄在燈的制造過程中發(fā)生的熱應(yīng)變及因放電帶來的紫外線應(yīng)變的縮徑部相比靠發(fā)光管的管軸方向外方側(cè)的位置，外側(cè)電極的一端部在密封部上的位置處被固定。因而，根據(jù)本發(fā)明的準分子放電燈，能夠減小作用于縮徑部的機械應(yīng)力，能夠避免在縮徑部引起應(yīng)力集中。此外，能夠成為外側(cè)電極位于從縮徑部的外表面離開的位置的狀態(tài)，所以能夠抑制縮徑部的真空紫外光的發(fā)生而緩和紫外線應(yīng)變積蓄到縮徑部的情況。結(jié)果，能夠可靠地防止燈壽命末期的燈損壞，能夠可靠地得到期望的燈壽命。
【附圖說明】
[0019]圖1A是表示本發(fā)明的準分子放電燈的一例的結(jié)構(gòu)的概略的俯視圖。
[0020]圖1B是表不圖1A的A—A線截面的一部分的放大剖視圖。
[0021 ]圖2A是表示本發(fā)明的準分子放電燈的另一例的結(jié)構(gòu)的概略的俯視圖。
[0022 ]圖2B是將圖2A所不的準分子放電燈以省略了一部分的狀態(tài)表不的、從長度方向一端側(cè)外方觀察的側(cè)視圖。
[0023]圖2C是表示圖2A中的B—B線截面的一部分的放大剖視圖。
[0024]圖3是表示本發(fā)明的準分子放電燈的再另一例的結(jié)構(gòu)的一部分的放大剖視圖。
[0025]圖4是將本發(fā)明的準分子放電燈的再另一例的結(jié)構(gòu)的概略以省略了一部分的狀態(tài)表示的從長度方向一端側(cè)外方觀察的側(cè)視圖。
[0026]圖5是表示本發(fā)明的準分子放電燈的再另一例的結(jié)構(gòu)的一部分的放大剖視圖。
[0027]圖6是概略地表示以往的準分子放電燈的一例的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0028]圖7是將圖6所示的準分子放電燈的主要部的結(jié)構(gòu)放大表示的長度方向剖視圖。
[0029]標號說明
[0030]10發(fā)光管[0031 ] 11發(fā)光部
[0032]12縮徑部
[0033]13 密封部
[0034]15末端部
[0035]18金屬箔
[0036]20內(nèi)側(cè)電極
[0037]21線圈狀部分
[0038]22 一方的引線部分
[0039]23另一方的引線部分
[0040]25外部引線[0041 ]30外側(cè)電極
[0042]31網(wǎng)狀電極形成部件
[0043]32金屬單線部分
[0044]35 布線
[0045]40 一方的基礎(chǔ)部件
[0046]41另一方的基礎(chǔ)部件
[0047]42 槽部
[0048]45電極固定用線材(Ni線)
[0049]50保持部件
[0050]55夾子部件[0051 ]56夾持部
[0052]57連結(jié)部
[0053]60發(fā)光管
[0054]61發(fā)光部
[0055]62縮徑部
[0056]63 密封部
[0057]65末端部
[0058]68金屬箔
[0059]70內(nèi)側(cè)電極
[0060]75外部引線
[0061]80外側(cè)電極
[0062]85金屬線
[0063]C 發(fā)光管的管軸
【具體實施方式】
[0064]以下，對本發(fā)明的實施方式詳細地說明。
[0065]〈第I實施方式〉
[0066]圖1A是表示本發(fā)明的準分子放電燈的一例的結(jié)構(gòu)的概略的俯視圖。圖1B是表不圖1A的A—A線截面的一部分的放大剖視圖。
[0067]該準分子放電燈具備例如由合成石英玻璃等電介質(zhì)材料構(gòu)成的具有紫外線透射性的發(fā)光管10。發(fā)光管10具有圓管狀的發(fā)光部11、和經(jīng)由縮徑部12而與該發(fā)光部11的一端連續(xù)的密封部13。在發(fā)光管10的另一端，形成有末端部15，該末端部15是用來在燈的制造過程中將發(fā)光管10內(nèi)排氣的排氣路徑的殘留部。密封部13是將金屬箔18埋設(shè)并氣密密封的所謂箔密封構(gòu)造，例如通過將構(gòu)成發(fā)光管10的發(fā)光管形成材料的端部加熱并用鉗子壓扁而形成(夾封構(gòu)造)。這里，縮徑部12在將發(fā)光管形成材料的端部壓扁密封時形成，具有從發(fā)光部11朝向密封部13連續(xù)的斜面，以使發(fā)光管10的直徑(外徑)隨著朝向密封部13而逐漸減小。在縮徑部12，發(fā)光管10的內(nèi)壁隨著朝向密封部13而向后述的內(nèi)側(cè)電極20接近。
[0068]在發(fā)光管1的兩端部的各個端部，設(shè)有例如由無機絕緣性的陶瓷(例如氧化鋁)等構(gòu)成的筒狀的基礎(chǔ)部件40、41?；A(chǔ)部件40、41例如通過無機粘接劑相對于發(fā)光管10固定。在基礎(chǔ)部件40、41的外周面，形成有遍及周向的全周延伸的槽部42。
[0069]在發(fā)光管10的內(nèi)部封入有發(fā)光氣體，并且內(nèi)側(cè)電極20以沿著發(fā)光管10的管軸C延伸的方式配置。
[0070]作為發(fā)光氣體，例如使用氙氣(Xe)、氬氣(Ar)、氪氣(Kr)等通過準分子放電形成準分子的具有作為放電介質(zhì)的作用的稀有氣體。此外，作為放電介質(zhì)，根據(jù)需要與稀有氣體一起使用氟氣(F)、氯氣(Cl)、碘氣體(I)及溴氣(Br)等鹵素氣體。
[0071]內(nèi)側(cè)電極20由例如鎢等的具有耐熱性的金屬構(gòu)成，具有將金屬單線卷繞為線圈狀而成的線圈狀部分21、和設(shè)在該線圈狀部分21的兩端的以大致直線狀延伸的引線部分22、23。該內(nèi)側(cè)電極20以線圈狀部分21的中心軸與發(fā)光管10的管軸C 一致的狀態(tài)配置，另一方的引線部分23的另一端部位于末端部15內(nèi)，一方的引線部分22的一端部與埋設(shè)在密封部13中的金屬箔18的另一端部電連接。
[0072]在金屬箔18的一端部，電連接著從密封部13的外端向管軸方向外方突出而延伸的外部引線25的另一端部。這樣，內(nèi)側(cè)電極20經(jīng)由金屬箔18而與外部引線25電連接。
[0073]在發(fā)光管10的外表面，沿著發(fā)光管10的管軸方向延伸而配設(shè)有網(wǎng)狀的外側(cè)電極30。外側(cè)電極30經(jīng)由將一方的基礎(chǔ)部件40貫通而延伸的布線35連接于未圖示的電源，例如作為接地電極發(fā)揮功能。
[0074]該例中的外側(cè)電極30例如由將具有導(dǎo)電性的多根金屬單線編成筒狀的形態(tài)而形成的網(wǎng)狀的電極形成部件(以下也稱作“網(wǎng)狀電極形成部件”)31構(gòu)成。構(gòu)成網(wǎng)狀電極形成部件31的金屬單線的單線徑例如是Φ0.01?Φ 1.0mm。
[0075]于是，在上述準分子放電燈中，外側(cè)電極30的一端部經(jīng)由在形成于發(fā)光管10的密封部13的外表面設(shè)置的外側(cè)電極固定用部件相對于發(fā)光管10固定。
[0076]對外側(cè)電極30的固定方法具體地說明如下，將構(gòu)成外側(cè)電極30的網(wǎng)狀電極形成部件31的一端部在金屬單線嵌入配置到被用作外側(cè)電極固定用部件的一方的基礎(chǔ)部件40的槽部42內(nèi)的狀態(tài)下，與布線35—起通過卷繞例如由Ni線構(gòu)成的電極固定用線材45來固定。
[0077]此外，將網(wǎng)狀電極形成部件31的另一端部在位于另一方的基礎(chǔ)部件41的槽部42內(nèi)的狀態(tài)下通過卷繞例如由Ni線構(gòu)成的電極固定用線材45來固定。電極固定用線材45的單線徑例如是Φ0.1?Φ 1.0mm。
[0078]通過這樣將構(gòu)成外側(cè)電極30的網(wǎng)狀電極形成部件31相對于發(fā)光管10固定，構(gòu)成網(wǎng)狀電極形成部件31的金屬單線成為相對于發(fā)光管10的發(fā)光部11的外表面密接、相對于發(fā)光管10的縮徑部12的外表面及密封部13的外周面隔開空隙而配置的狀態(tài)(從縮徑部12的外表面及密封部13的外周面離開的狀態(tài))。
[0079]在該準分子放電燈中，通過未圖示的電源向內(nèi)側(cè)電極20與外側(cè)電極30之間施加高頻高電壓，由此在發(fā)光管10的內(nèi)部空間中發(fā)生準分子放電。并且，通過準分子放電形成準分子，從該準分子釋放的真空紫外光透射發(fā)光管10，經(jīng)由構(gòu)成外側(cè)電極30的網(wǎng)狀電極形成部件31的網(wǎng)眼的間隙被放射。
[0080]如以上這樣，在上述準分子放電燈中，構(gòu)成為外側(cè)電極30延伸到與在燈的制造過程中產(chǎn)生的熱應(yīng)變或由放電帶來的紫外線應(yīng)變?nèi)菀追e蓄的縮徑部12相比靠發(fā)光管10的管軸方向外方側(cè)的位置，外側(cè)電極30的一端部在密封部13上的位置被固定。
[0081]因而，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的準分子放電燈，能夠減小因卷繞電極固定用線材45來固定外側(cè)電極30而引起的、作用于發(fā)光管10的縮徑部12的機械應(yīng)力，能夠避免在縮徑部12發(fā)生應(yīng)力集中。此外，構(gòu)成外側(cè)電極30的網(wǎng)狀電極形成部件31的金屬單線位于相對于縮徑部12的外表面隔開間隔的位置，由此能夠抑制縮徑部12的真空紫外光的發(fā)生而緩和紫外線應(yīng)變積蓄到縮徑部12中的情況。結(jié)果，能夠可靠地防止燈壽命末期的燈損壞，能夠可靠地得到期望的燈壽命。
[0082]〈第2實施方式〉
[0083]圖2A是表示本發(fā)明的準分子放電燈的另一例的結(jié)構(gòu)的概略的俯視圖。圖2B是將圖2A所示的準分子放電燈以省略了一部分的狀態(tài)表示的從長度方向一端側(cè)外方觀察的側(cè)視圖。圖2C是表示圖2A的B—B線截面的一部分的放大剖視圖。
[0084]該準分子放電燈除了外側(cè)電極30的固定方法不同以外，具有與圖1A及圖1B所示的準分子放電燈相同的結(jié)構(gòu)。在圖2A至圖2C中，對于與圖1A及圖1B所示的準分子放電燈相同的構(gòu)成部件賦予相同的標號而省略說明。
[0085]在該準分子放電燈中，外側(cè)電極30的一端部在位于形成于發(fā)光管10的密封部13的外表面上的狀態(tài)下，被使外側(cè)電極30的一端部與密封部13的外表面面接觸的面狀的保持部件保持固定。對外側(cè)電極30的固定方法具體地說明如下，構(gòu)成外側(cè)電極30的網(wǎng)狀電極形成部件31的一端部以金屬單線密接于密封部13的外表面的狀態(tài)，位于比縮徑部12的一端靠發(fā)光管10的管軸方向外方側(cè)的位置、即密封部13的外表面上的位置。并且，通過在與密封部13的外表面密接的金屬單線部分32上卷繞由具有規(guī)定的寬度尺寸的金屬帶或樹脂帶構(gòu)成的保持部件50，將外側(cè)電極30的一端部相對于密封部13固定。此外，網(wǎng)狀電極形成部件31的一端部在末端部15的外周面上的位置處通過卷繞例如由Ni線構(gòu)成的電極固定用線材45而被固定。
[0086]與密封部13的外表面密接的金屬單線部分32的內(nèi)端(在圖2C中位于最內(nèi)側(cè)的金屬單線的配置位置)、和縮徑部12與密封部13間的邊界位置的軸向距離的大小dl優(yōu)選的是Imm以上，例如I?15mm。如果該軸向距離的大小dl比Imm小，則經(jīng)由發(fā)光管1的縮徑部12，在內(nèi)側(cè)電極20與外側(cè)電極30之間發(fā)生放電，有可能在該縮徑部12中積蓄因被照射真空紫外線帶來的紫外線應(yīng)變。
[0087]此外，與密封部13的外表面密接的金屬單線部分32的外端(在圖2C中位于最外側(cè)的金屬單線的配置位置)與密封部13的外端的軸向距離的大小d2優(yōu)選的是Imm以上，例如I?3mm。如果該軸向距離的大小d2比Imm小，則外側(cè)電極30與內(nèi)側(cè)電極20的沿面距離不足，有可能在密封部13上通過沿面放電而絕緣破壞、燈不點亮。
[0088]作為構(gòu)成保持部件50的材料，例如可以例示鉬、鋁、銅、氟類樹脂、硅樹脂等。
[0089]保持部件50的寬度(管軸方向尺寸)優(yōu)選的是5mm以上，例如5?10mm。由此，能夠確保與構(gòu)成外側(cè)電極30的網(wǎng)狀電極形成部件31面接觸的狀態(tài)，通過接觸面積變大，能夠減小外側(cè)電極30的固定時的機械應(yīng)力。
[0090]此外，在將外側(cè)電極30固定時，如圖3所示，也可以在保持部件50的外周面上再卷繞例如由Ni線構(gòu)成的電極固定用線材45。
[0091]于是，在上述結(jié)構(gòu)的準分子放電燈中，也能夠得到與有關(guān)第I實施方式的準分子放電燈同樣的效果。即，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的準分子放電燈，能夠減小因卷繞面狀的保持部件50來固定外側(cè)電極30而引起的、作用于發(fā)光管10的縮徑部12的機械應(yīng)力，能夠避免在縮徑部12發(fā)生應(yīng)力集中。此外，構(gòu)成外側(cè)電極30的網(wǎng)狀電極形成部件31的金屬單線位于相對于縮徑部12的外表面隔開間隔的位置，由此抑制縮徑部12的真空紫外光的發(fā)生而能夠緩和紫外線應(yīng)變積蓄到縮徑部12中的情況。結(jié)果，能夠可靠地防止燈壽命末期的燈損壞，能夠可靠地得到期望的燈壽命。
[0092]以上，作為使外側(cè)電極30的一端部與密封部13的外表面面接觸的面狀的保持部件，并不限定于金屬帶或樹脂帶，也可以例如如圖4所示通過將外側(cè)電極30及密封部13夾壓并保持的夾子部件55構(gòu)成。
[0093]該例的夾子部件55的側(cè)面形狀是=字形，具有相互對置而延伸的一對板狀的夾持部56、56、和將各個夾持部56、56連結(jié)的板狀的連結(jié)部57。
[0094]作為構(gòu)成夾子部件55的材料，只要具有彈性就可以，例如可以例示不銹鋼、鉬、鋁等金屬材料及例如氟類樹脂等樹脂材料。
[0095]對這樣的通過夾子部件55實現(xiàn)的外側(cè)電極30的固定方法具體地說明如下，構(gòu)成外側(cè)電極30的網(wǎng)狀電極形成部件31的一端部以金屬單線與密封部13的外表面密接的狀態(tài)位于比縮徑部12的一端靠發(fā)光管10的管軸方向外方側(cè)的位置、即密封部13的外表面上的位置(參照圖2C)。并且，通過在與密封部13的外表面密接的金屬單線部分32安裝夾子部件55，將例如通過夾封法形成的密封部13和網(wǎng)狀電極形成部件31被一對夾持部56、56夾壓保持，由此，外側(cè)電極30的一端部以相對于密封部13面接觸的狀態(tài)被固定。
[0096]夾子部件55的寬度(管軸方向尺寸)優(yōu)選的是5mm以上，例如5?10mm。由此，能夠確保與構(gòu)成外側(cè)電極30的網(wǎng)狀電極形成部件31面接觸的狀態(tài)，通過接觸面積變大，能夠可靠地減小外側(cè)電極30的固定時的機械應(yīng)力。
[0097]以上，對本發(fā)明的實施方式進行了說明，但本發(fā)明并不限定于上述實施方式，能夠加以各種變更。
[0098]例如，如圖5所不，也可以將外側(cè)電極30的一端部在密封部13的外表面上的位置，在金屬單線與密封部13的外表面密接而配置的狀態(tài)下，向與密封部13的外表面密接的金屬單線部分32卷繞例如由Ni線構(gòu)成的電極固定用線材45來固定。在這樣的固定方法中，也通過使與密封部13的外表面密接的金屬單線部分32的內(nèi)端(在圖5中的位于最內(nèi)側(cè)的金屬單線的配置位置)、和縮徑部12與密封部13間的邊界位置的軸向距離的大小dl為一定以上的大小，能夠得到同樣的效果。
[0099]此外，在上述實施例中，對在發(fā)光管的一端形成有夾封構(gòu)造的密封部的結(jié)構(gòu)的準分子放電燈進行了說明，但也可以是例如在發(fā)光管的兩端的各自上形成有夾封構(gòu)造的密封部的結(jié)構(gòu)。
[0100]密封部的構(gòu)造并不限于夾封構(gòu)造，也可以采用從發(fā)光管形成材料的外周的全周方向縮徑而密封的收縮密封(shrink seal)構(gòu)造。在這樣的密封構(gòu)造的準分子放電燈中，也通過將外側(cè)電極的端部固定在密封部的外周面上，能夠避免在發(fā)光管的縮徑部發(fā)生應(yīng)力集中，此外，能夠成為構(gòu)成外側(cè)電極的網(wǎng)狀電極形成部件的金屬單線位于相對于縮徑部的外表面隔開間隔的位置的狀態(tài)，所以抑制縮徑部處的真空紫外光的發(fā)生而能夠緩和紫外線應(yīng)變積蓄到縮徑部中。
[0101 ]進而，本發(fā)明的準分子放電燈也可以在發(fā)光管的內(nèi)表面形成有焚光體層。
【主權(quán)項】
1.一種準分子放電燈，具備在內(nèi)部封入有發(fā)光氣體、且形成有經(jīng)由縮徑部而與管狀的發(fā)光部的一端連續(xù)的密封部的發(fā)光管，在該發(fā)光管的外周面配設(shè)有網(wǎng)狀的外側(cè)電極，其特征在于， 上述外側(cè)電極的一端部經(jīng)由在上述密封部的外表面設(shè)置的外側(cè)電極固定用部件而被固定。2.—種準分子放電燈，具備在內(nèi)部封入有發(fā)光氣體、且形成有經(jīng)由縮徑部而與管狀的發(fā)光部的一端連續(xù)的密封部的發(fā)光管，在該發(fā)光管的外周面配設(shè)有網(wǎng)狀的外側(cè)電極，其特征在于， 上述外側(cè)電極的一端部在位于上述密封部的外表面的狀態(tài)下，被保持部件保持固定，該保持部件使該外側(cè)電極的一端部與該密封部的外表面接觸。3.如權(quán)利要求1所述的準分子放電燈，其特征在于， 上述外側(cè)電極固定用部件由安裝于上述密封部的基礎(chǔ)部件構(gòu)成。
【文檔編號】H01J61/06GK105845541SQ201610075245
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年2月3日
【發(fā)明人】今村篤史
【申請人】優(yōu)志旺電機株式會社