基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器，由激光器(1)、偏振控制器(2)、馬赫曾德強(qiáng)度調(diào)制器(3)、RF放大器(4)、濾波器(5)、光電探測(cè)器(6)、多層膜回音壁模式光學(xué)微腔(7)和激光器鎖頻模塊(8)組成閉合光電反饋環(huán)路，該閉合光電反饋環(huán)路是光電振蕩器的主要結(jié)構(gòu)。本發(fā)明該光電振蕩器可以有效減小溫度波動(dòng)等外界環(huán)境因素對(duì)所產(chǎn)生微波頻率的影響，獲得高質(zhì)量、穩(wěn)定的微波信號(hào)，降低信號(hào)噪聲，并且尺寸小，重量輕，易于封裝、集成。
【專利說明】
基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于微波與光電子技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器。
【背景技術(shù)】
[0002]光電振蕩器(OEO)是一種高質(zhì)量微波發(fā)生裝置，在頻率合成、通信系統(tǒng)、航海系統(tǒng)、特別是微波光子學(xué)領(lǐng)域有著重要應(yīng)用。傳統(tǒng)的基于長(zhǎng)光纖光電振蕩器由Lute Maleki等人于1994年首次提出，這種OEO用幾公里的長(zhǎng)光纖進(jìn)行儲(chǔ)能，損耗小(0.2dB/km)，相位噪聲低(-140dBc/Hz)，突破了傳統(tǒng)微波發(fā)生器隨頻率增大相位噪聲升高的局限。盡管有以上優(yōu)勢(shì)，長(zhǎng)光纖OEO仍然存在一系列缺陷:(I)容易受外界機(jī)械振動(dòng)、溫度波動(dòng)影響；(2)體積大，笨重，對(duì)光電振蕩器在航天航空領(lǐng)域應(yīng)用帶來諸多不便；(3)光纖延遲線產(chǎn)生的環(huán)腔模式會(huì)產(chǎn)生大量頻率間隔很小的雜散模式，這些細(xì)小雜散模式難以被RF濾波器濾除。
[0003]為提高光電振蕩器的性能，彌補(bǔ)長(zhǎng)光纖光電振蕩器的不足，近些年來人們提出了許多新的結(jié)構(gòu)。如用多光纖環(huán)結(jié)構(gòu)抑制雜散模式，或者將振蕩器鎖定在原子諧振上等等。其中最有趣的一種結(jié)構(gòu)就是用一個(gè)高Q值回音壁模式光學(xué)微腔代替長(zhǎng)光纖延遲線，例如，CN104659637 A，CN 101911403 B,CN 104466620 A。在基于光學(xué)微腔的光電振蕩器系統(tǒng)中，光學(xué)微腔作為一個(gè)高Q值的儲(chǔ)能元件，產(chǎn)生的微波振蕩頻率等于回音壁模式微腔的自由光譜范圍(FSR)。這種結(jié)構(gòu)解決了長(zhǎng)光纖OEO的大多問題，可以產(chǎn)生穩(wěn)定、高效的微波振蕩，并且可以大大減小雜散模式。更重要的是，這種結(jié)構(gòu)緊湊，有利于光電振蕩器的小型化、集成化。然而，現(xiàn)已提出的基于光學(xué)微腔OEO仍舊存在一定的問題，由于產(chǎn)生的微波振蕩頻率與回音壁模式微腔的FSR相對(duì)應(yīng)，溫度波動(dòng)會(huì)影響微腔的FSR進(jìn)而導(dǎo)致輸出的微波頻率不穩(wěn)定。因此，為了進(jìn)一步提升器件的穩(wěn)定性，充分發(fā)揮超高Q值帶來的極窄線寬的優(yōu)勢(shì)，需要采取一定措施降低微腔模式對(duì)溫度、空氣流動(dòng)等外界環(huán)境因素的敏感程度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器。該光電振蕩器可以有效減小溫度波動(dòng)等外界環(huán)境因素對(duì)所產(chǎn)生微波頻率的影響，獲得高質(zhì)量、穩(wěn)定的微波信號(hào)，降低信號(hào)噪聲，并且尺寸小，重量輕，易于封裝、集成。
[0005]為實(shí)現(xiàn)一種對(duì)溫度不敏感、穩(wěn)定的微波發(fā)生器，本發(fā)明采取的技術(shù)解決方案是:一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器，由激光器、偏振控制器、馬赫曾德強(qiáng)度調(diào)制器、RF放大器、濾波器、光電探測(cè)器、多層膜回音壁模式光學(xué)微腔和激光器鎖頻模塊組成閉合光電反饋環(huán)路，該閉合光電反饋環(huán)路是光電振蕩器的主要結(jié)構(gòu);其中，激光器產(chǎn)生連續(xù)可調(diào)諧激光，可調(diào)諧激光作為輸入光，偏振控制器控制輸入光的偏振狀態(tài)，馬赫曾德強(qiáng)度調(diào)制器對(duì)來自所述激光器的光進(jìn)行強(qiáng)度調(diào)制產(chǎn)生邊帶;RF放大器用于放大環(huán)路中的射頻電信號(hào);濾波器用于濾除射頻信號(hào)的噪聲;光電探測(cè)器用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)化為射頻電信號(hào)；多層膜回音壁模式光學(xué)微腔作為高Q值儲(chǔ)能器件和濾波器件;激光器鎖頻模塊用于將激光器輸出頻率鎖定在多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的諧振頻率上。
[0006]進(jìn)一步，所述的多層膜回音壁模式光學(xué)微腔為三層膜結(jié)構(gòu)，膜層折射率從內(nèi)向外分別為高-低-高，若選取合適的中間層厚度和折射率，則兩個(gè)高折射率層能夠支持各自的回音壁模式(WGM)，即“內(nèi)層模式”和“外層模式”，其模式類似于兩個(gè)獨(dú)立的腔所支持的回音壁模式；內(nèi)層模式和外層模式經(jīng)過所述光電探測(cè)器后其頻率差為產(chǎn)生的微波頻率；由于內(nèi)層模式和外層模式對(duì)溫度的響應(yīng)幾乎相同，基本可以消除溫度波動(dòng)對(duì)RF頻率的影響。
[0007]進(jìn)一步，所述的多層膜回音壁模式光學(xué)微腔可以是球形、盤形、環(huán)形、柱形或者瓶口形狀。
[0008]進(jìn)一步，所述的多層膜回音壁模式光學(xué)微腔和輸入、輸出親合波導(dǎo)形成Add-drop濾波器結(jié)構(gòu)，耦合波導(dǎo)可以是錐形光纖、耦合棱鏡或集成波導(dǎo)。
[0009]進(jìn)一步，所述的激光器是連續(xù)可調(diào)諧激光器，其波長(zhǎng)和輸出功率均可調(diào)諧，用于為系統(tǒng)注入連續(xù)單頻光信號(hào)。
[0010]進(jìn)一步，所述的馬赫曾德強(qiáng)度調(diào)制器用反饋的射頻信號(hào)調(diào)制輸入光信號(hào)，產(chǎn)生所需邊帶，且栗浦光在微腔內(nèi)部模式(或外部模式)上諧振，邊帶光在與栗浦光不同的另一個(gè)模式上諧振。
[0011]進(jìn)一步，所述的RF放大器是工作在微波波段的低噪聲放大器，用于給振蕩環(huán)路提供合適的增益。
[0012]進(jìn)一步，所述的濾波器為工作于微波波段的帶通濾波器，用于濾除RF信號(hào)的噪聲，只保留所需振蕩頻率附近的RF信號(hào)，與所述的Add-drop結(jié)構(gòu)光學(xué)微腔配合使用，可以更好地抑制雜散模式，減小相位噪聲，提高輸出RF信號(hào)的質(zhì)量。
[0013]進(jìn)一步，所述的激光器鎖頻模塊使用Pound-Drever-Hal I (PDH)穩(wěn)頻模塊將激光器輸出頻率鎖定在多層膜回音壁模式光學(xué)微腔內(nèi)層模式或者外層模式上。
[0014]進(jìn)一步，所述的光電探測(cè)器的帶寬大于所產(chǎn)生微波的頻率，所述的閉合光電反饋環(huán)路的增益總和大于環(huán)路損耗總和。
[0015]上述基于多層膜光學(xué)微腔的光電振蕩器的工作原理為:首先環(huán)路微波部分的噪聲對(duì)輸入激光信號(hào)進(jìn)行強(qiáng)度調(diào)制，在馬赫曾德調(diào)制器的輸出端產(chǎn)生寬帶光譜;這種源自噪聲的寬帶光譜經(jīng)過多層膜光學(xué)微腔，微腔作為一個(gè)高Q值的儲(chǔ)能元件和濾波元件對(duì)寬帶光譜進(jìn)行窄帶濾波；由微腔輸出的內(nèi)層模式和外層模式經(jīng)過光電探測(cè)器轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，此RF信號(hào)為多層膜微腔內(nèi)層模式和外層模式的頻率差;RF濾波器對(duì)該電信號(hào)進(jìn)行選模濾波后輸入RF放大器進(jìn)行放大，之后反饋到馬赫曾德調(diào)制器的RF端口，作為調(diào)制器的驅(qū)動(dòng)電信號(hào)，由此形成閉合光電反饋環(huán)路。當(dāng)環(huán)路的增益總和大于損耗總和時(shí)，環(huán)路建立自激光電振蕩，此時(shí)振蕩的RF頻率等于微腔內(nèi)層模式和外層模式的頻率差，多次循環(huán)后，器件在很短的時(shí)間內(nèi)可以建立穩(wěn)定的光電振蕩。值得注意的是，產(chǎn)生的微波信號(hào)頻率對(duì)應(yīng)于多層膜微腔內(nèi)層模式和外層模式的差頻，而通過選擇合適的三層膜材料和厚度，可以使得內(nèi)層模式和外層模式對(duì)溫度的響應(yīng)完全相同(考慮熱光效應(yīng)和熱膨脹效應(yīng))。因此，這種結(jié)構(gòu)的光電振蕩器可以有效地減小甚至消除溫度波動(dòng)對(duì)輸出RF頻率的影響，產(chǎn)生穩(wěn)定、高質(zhì)量的微波信號(hào)。
[0016]本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0017](I)本發(fā)明用多層膜光學(xué)微腔內(nèi)層模式和外層模式的頻率差作為產(chǎn)生的微波頻率，有效地減小甚至消除了溫度波動(dòng)等外界環(huán)境因素對(duì)輸出RF頻率的影響，可以得到更加穩(wěn)定、高質(zhì)量的微波信號(hào)；
[0018](2)本發(fā)明中多層膜光學(xué)微腔和輸入波導(dǎo)、輸出波導(dǎo)為Add-drop濾波器結(jié)構(gòu)，可以更好地濾除RF信號(hào)中的雜散細(xì)小模式，相位噪聲小，頻譜純度高。
[0019](3)本發(fā)明用一個(gè)多層膜光學(xué)微腔耦合系統(tǒng)代替?zhèn)鹘y(tǒng)光電振蕩器中幾公里長(zhǎng)的光纖，體積小，重量輕，易于封裝、集成，給光電振蕩器在微波光子學(xué)領(lǐng)域特別是航天航空上的應(yīng)用提供了新的方法。
【附圖說明】
[0020]圖1為基于多層膜光學(xué)微腔的光電振蕩器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2為三層膜光學(xué)微球腔與輸入波導(dǎo)、輸出波導(dǎo)耦合系統(tǒng)的roTD仿真模型；
[0022]圖3為三層膜光學(xué)微腔耦合系統(tǒng)的諧振頻譜；
[0023]圖4為三層膜光學(xué)微球腔磁場(chǎng)Hz分布圖，其中，圖4(a)是內(nèi)層諧振時(shí)的磁場(chǎng)分布，圖4 (b)是外層諧振時(shí)的磁場(chǎng)分布。
[0024]圖中標(biāo)號(hào):1_激光器，2-偏振控制器，3-馬赫曾德強(qiáng)度調(diào)制器，4-RF放大器，5-濾波器，6-光電探測(cè)器，7-多層膜回音壁模式光學(xué)微腔，8-激光器鎖頻模塊，9-輸入波導(dǎo)，I O-輸山、、/由B
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【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)說明:
[0026]圖1是本發(fā)明提出的基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器的結(jié)構(gòu)示意圖。該光電振蕩器由激光器1、偏振控制器2、馬赫曾德強(qiáng)度調(diào)制器3、RF放大器4、濾波器5、光電探測(cè)器6、多層膜光學(xué)微腔7和激光器鎖頻模塊8組成閉合光電反饋環(huán)路，該環(huán)路是光電振蕩器的主要結(jié)構(gòu)；其中，激光器I經(jīng)過偏振控制器2后與馬赫曾德強(qiáng)度調(diào)制器3的輸入端連接，用于產(chǎn)生連續(xù)可調(diào)諧激光，偏振控制器控制輸入光的偏振狀態(tài)，馬赫曾德強(qiáng)度調(diào)制器對(duì)來自所述激光器的光進(jìn)行強(qiáng)度調(diào)制產(chǎn)生邊帶，且栗浦光和邊帶之間的頻率間距恰好等于微腔內(nèi)部模式和外部模式的頻率差；多層膜光學(xué)微腔7作為一個(gè)高Q值儲(chǔ)能器件和濾波器件，利用其特殊的模式結(jié)構(gòu)同時(shí)產(chǎn)生內(nèi)層模式和外層模式;光電探測(cè)器6用于接收來自多層膜光學(xué)微腔模塊的內(nèi)層模式和外層模式光信號(hào)，利用光學(xué)差頻效應(yīng)產(chǎn)生光生微波信號(hào);RF放大器4用于放大環(huán)路中的射頻電信號(hào);濾波器5用于濾除射頻信號(hào)的噪聲，獲得所需微波段信號(hào);激光器鎖頻模塊8使用Pound-Drever-HalKPDH)穩(wěn)頻模塊將激光器輸出頻率鎖定在多層膜光學(xué)微腔7內(nèi)層模式或者外層模式上。
[0027]進(jìn)一步，本實(shí)施例中，多層膜光學(xué)微腔為一個(gè)三層膜S12微球腔，球芯折射率nL=1.46;輸入波導(dǎo)9、輸出波導(dǎo)10為寬度如=30011111的單模波導(dǎo)，折射率111=1.8;周圍介質(zhì)層為空氣nc=l;微球腔加上三層膜的總半徑R = 3.6ym;內(nèi)、外高折射率層(Ti02，nH=2.38)厚度均為tH = 200nm，中間層(Si02，nL=l.46)厚度為tL = 400nm;微腔和波導(dǎo)之間間距g= 10nm；入射波為高斯脈沖，波長(zhǎng)范圍在700nm-900nmo
[0028]圖2為三層膜光學(xué)微球腔與輸入波導(dǎo)、輸出波導(dǎo)耦合系統(tǒng)的FDTD仿真模型，使用Fortran自編H)TD程序?qū)υ撊龑幽の⑶蚯获詈舷到y(tǒng)進(jìn)行FDTD仿真計(jì)算，并將其轉(zhuǎn)化為二維問題，仿真域?yàn)?2Μ?Χ12μπι的方形區(qū)域，將該區(qū)域劃分為600X600個(gè)網(wǎng)格，選擇完美匹配層(UPML)作為吸收邊界條件。在仿真過程中，輸入光波從輸入波導(dǎo)耦合到微球腔的外層膜，并通過外層膜耦合到內(nèi)層膜中，在微腔中循環(huán)的光每次經(jīng)過輸入波導(dǎo)或者輸出波導(dǎo)的耦合區(qū)時(shí)會(huì)有一部分光耦合出來，其余光繼續(xù)在微腔的兩個(gè)高折射率層中循環(huán)，在500,000步后光全部衰減完畢。對(duì)采樣數(shù)據(jù)進(jìn)行FFT變換，可以得到三層膜微球腔耦合系統(tǒng)的相對(duì)強(qiáng)度頻譜，如圖3所示。
[0029]從圖3中可以看出，兩個(gè)高折射率層(內(nèi)層和外層)可以分別支持各自的回音壁模式(內(nèi)層模式和外層模式)，它們的諧振模式分裂如同兩個(gè)獨(dú)立微腔中的回音壁模式，微球腔磁場(chǎng)Hz分布如圖4所示，其中，圖4(a)是內(nèi)層諧振時(shí)的磁場(chǎng)分布，圖4(b)是外層諧振時(shí)的磁場(chǎng)分布。通過改變?nèi)龑幽さ暮穸然蛘凵渎?，可以控制?nèi)層模式和外層模式的頻率差。將這兩種模式的光輸入至光電探測(cè)器中，利用光學(xué)差頻效應(yīng)獲得光生微波信號(hào)。而通過選擇合適的三層膜材料和厚度，能夠使得內(nèi)層模式和外層模式對(duì)溫度的響應(yīng)完全相同，即:產(chǎn)生的微波信號(hào)不受溫度波動(dòng)的影響。另外，若將多層膜光學(xué)微腔和輸入、輸出耦合波導(dǎo)封裝在低折射率光固膠中，并用紫外光完全固化該耦合系統(tǒng)，可以避免外界振動(dòng)、空氣流動(dòng)、環(huán)境折射率變化等因素對(duì)耦合系統(tǒng)造成的影響。因此，這種結(jié)構(gòu)的光電振蕩器可以有效地減小甚至消除溫度波動(dòng)等外界環(huán)境因素對(duì)輸出RF頻率的影響，產(chǎn)生穩(wěn)定、高質(zhì)量的微波信號(hào)。
[0030]其中，多層膜光學(xué)微腔的制備可以通過RF濺射鍍膜技術(shù)完成。使用微腔專用鍍膜機(jī)，將微腔夾持在一個(gè)可旋轉(zhuǎn)的主軸上，以此獲得均勻的膜層;通過控制濺射時(shí)間控制膜層厚度;通過選擇不同的濺射壓力、RF功率、和濺射溫度優(yōu)化膜層質(zhì)量，提高微腔的Q值。
[0031]綜上所述，本發(fā)明提出了一種基于多層膜光學(xué)微腔的光電振蕩器，可以有效地減小甚至消除溫度波動(dòng)等外界環(huán)境因素對(duì)產(chǎn)生微波頻率的影響，提高光電振蕩器的穩(wěn)定性。其實(shí)現(xiàn)途徑是利用三層膜微腔內(nèi)層模式和外層模式的差頻作為產(chǎn)生的微波頻率，通過選擇合適的三層膜材料和厚度，使得內(nèi)外層模式的頻率差對(duì)溫度不敏感。
[0032]本發(fā)明未詳細(xì)闡述部分屬于本領(lǐng)域技術(shù)人員的公知技術(shù)。以上所述的具體實(shí)施例并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器，其特征在于:由激光器(I)、偏振控制器(2)、馬赫曾德強(qiáng)度調(diào)制器(3)、RF放大器(4)、濾波器(5)、光電探測(cè)器(6)、多層膜回音壁模式光學(xué)微腔(7)和激光器鎖頻模塊(8)組成閉合光電反饋環(huán)路，該閉合光電反饋環(huán)路是光電振蕩器的主要結(jié)構(gòu)；其中，激光器(I)產(chǎn)生連續(xù)可調(diào)諧激光，可調(diào)諧激光作為輸入光，偏振控制器(2)控制輸入光的偏振狀態(tài)，馬赫曾德強(qiáng)度調(diào)制器(3)對(duì)來自所述激光器(I)的光進(jìn)行強(qiáng)度調(diào)制產(chǎn)生邊帶；多層膜光學(xué)微腔(7)作為高Q值儲(chǔ)能器件和濾波器件，對(duì)調(diào)制信號(hào)和邊帶產(chǎn)生諧振;光電探測(cè)器(6)用于將調(diào)制信號(hào)和邊帶產(chǎn)生的差頻信號(hào)轉(zhuǎn)化為射頻電信號(hào);RF放大器(4)用于放大環(huán)路中的射頻電信號(hào);濾波器(5)用于濾除射頻信號(hào)的噪聲；激光器鎖頻模塊(8)用于將激光器輸出頻率鎖定在多層膜回音壁模式光學(xué)微腔(7)內(nèi)層模式或外層模式的諧振頻率上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器，其特征在于:所述的多層膜回音壁模式光學(xué)微腔(7)為三層膜結(jié)構(gòu)，膜層折射率從內(nèi)向外分別為高-低-高，若選取合適的中間層厚度和折射率，則兩個(gè)高折射率層能夠支持各自的回音壁模式(WGM)JP “內(nèi)層模式”和“外層模式”，其模式類似于兩個(gè)獨(dú)立的腔所支持的回音壁模式；內(nèi)層模式和外層模式經(jīng)過所述光電探測(cè)器(6)后其頻率差為產(chǎn)生的微波頻率；由于內(nèi)層模式和外層模式對(duì)溫度的響應(yīng)幾乎相同，基本可以消除溫度波動(dòng)對(duì)RF頻率的影響。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器，其特征在于:所述的多層膜回音壁模式光學(xué)微腔(7)可以是球形、盤形、環(huán)形、柱形或者瓶口形狀。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器，其特征在于:所述的多層膜回音壁模式光學(xué)微腔(7)和輸入、輸出親合波導(dǎo)形成Add-drop濾波器結(jié)構(gòu)，耦合波導(dǎo)可以是錐形光纖、耦合棱鏡或集成波導(dǎo)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器，其特征在于:所述的激光器(I)是連續(xù)可調(diào)諧激光器，其波長(zhǎng)和輸出功率均可調(diào)諧，用于為系統(tǒng)注入連續(xù)單頻光信號(hào)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器，其特征在于:所述的馬赫曾德強(qiáng)度調(diào)制器(3)用外加射頻信號(hào)調(diào)制輸入光信號(hào)，產(chǎn)生所需邊帶，且栗浦光和邊帶之間的頻率間距恰好等于微腔內(nèi)部模式和外部模式的頻率差。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器，其特征在于:所述的RF放大器(4)是工作在微波波段的低噪聲放大器，用于給振蕩環(huán)路提供合適的增益。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器，其特征在于:所述的濾波器(5)為工作于微波波段的帶通濾波器，用于濾除RF信號(hào)的噪聲，只保留所需振蕩頻率附近的RF信號(hào)，與所述的Add-drop結(jié)構(gòu)光學(xué)微腔配合使用，可以更好地抑制雜散模式，減小相位噪聲，提高輸出RF信號(hào)的質(zhì)量。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器，其特征在于:所述的激光器鎖頻模塊(8)使用Pound-Drever-Hal I (I3DH)穩(wěn)頻模塊將激光器輸出頻率鎖定在多層膜回音壁模式光學(xué)微腔內(nèi)層模式或者外層模式上。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多層膜回音壁模式光學(xué)微腔的光電振蕩器，其特征在于:所述的光電探測(cè)器(6)的帶寬大于所產(chǎn)生微波的頻率，所述的閉合光電反饋環(huán)路的增 益總和大于環(huán)路損耗總和。
【文檔編號(hào)】H01S1/02GK105896235SQ201610422548
【公開日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2016年6月8日
【發(fā)明人】王克逸, 金雪瑩, 董永超, 柳勇
【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)