兩端密封型短弧閃光燈的制作方法
【專利摘要】一種兩端密封型短弧閃光燈，在發(fā)光管內具有啟動輔助電極和一對主電極、在上述發(fā)光管的第1密封管中，第1主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管外；在上述第2密封管上熔接著密封用玻璃管、第2主電極的芯線被密封在該密封用玻璃管中并被導出到發(fā)光管外；在上述第2密封管與上述密封用玻璃管的熔接作業(yè)時能得到上述啟動輔助電極的內部引線、外部引線、金屬箔等的正確的固定位置、能夠使封接作業(yè)極大地簡單化。在上述密封用玻璃管的與上述第2密封管的熔接區(qū)域的外周面上，以將上述內部引線、外部引線及金屬箔覆蓋的方式熔接著一次密封用玻璃部件。
【專利說明】
兩端密封型短弧閃光燈
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及兩端密封型短弧閃光燈，特別涉及一方的密封管部分為雙重管構造的兩端密封型短弧閃光燈。
【背景技術】
[0002]進行閃光點亮的放電燈廣泛地用于以半導體制造工序中的閃光退火為代表的產(chǎn)業(yè)用途中，本發(fā)明的燈特別在使用了真空紫外光的曝光工序中使用。
[0003]在上述曝光工序中，要求使用能夠對小區(qū)域將高密度的光在短時間中照射、在光的方向性及分布中不均勻比較少的接近于平行光的光。
[0004]為此，希望將閃光燈通過凹面反射鏡等聚光而形成平行光，為了提高聚光效率，密封部的直徑較小的兩端密封型短弧閃光燈是有利的。
[0005]在日本特許第5360033號公報中公開了這樣的兩端密封型短弧閃光燈。
[0006]在圖4中表示其概略構造，在兩端密封型短弧閃光燈中，在發(fā)光管I的兩端連設有第I密封管2和第2密封管3。并且，在上述第2密封管3中插入著密封用玻璃管4，兩者被熔接。
[0007]在發(fā)光管I內對置配置有一對第I主電極5和第2主電極6。上述第I主電極5的芯線7通過接續(xù)玻璃等的單元單元被支承、密封在第I密封管2中并被向其外方導出，另一方面，上述第2主電極6其芯線8通過接續(xù)玻璃等的單元被支承、密封在上述密封用玻璃管4中并被向其外方導出。
[0008]在發(fā)光管I內的主電極5、6之間，配設有一對第I啟動輔助電極10和第2啟動輔助電極11，各個內部引線12、15和外部引線13、16在上述第2密封管3與密封用玻璃管4之間的熔接區(qū)域中經(jīng)由金屬箔14、17電地連接。
[0009]并且，在發(fā)光管部I內，作為發(fā)光氣體例如封入有氙氣。
[0010]該兩端密封型短弧閃光燈為以下結構:通過被施加規(guī)定的電壓，首先在啟動輔助電極1、11間預放電，使發(fā)光管I內產(chǎn)生輔助主電極5、6間的放電的帶電粒子。
[0011]這樣的兩端密封型短弧閃光燈構成為，通過例如使燈的發(fā)光點(亮點)與拋物面反射面鏡的焦點一致而配置，將從燈放射的光作為平行光照射的光源裝置。
[0012]可是，在采取這樣的雙重管構造的第2密封部側，在其熔接工序中，進行以下這樣的作業(yè):在密封用玻璃管4的外周面配置啟動輔助電極10、11的內部引線12、15和外部引線
13、16以及金屬箔14、17，將其插入到第2密封管3內并從其外周用燃燒器加熱，將密封用玻璃管4和第2密封管熔接。
[0013]在這樣的熔接作業(yè)中，存在如下的問題:難以在將密封用玻璃管4的外周的內部引線12、15、外部引線13、16及金屬箔14、17保持在正確的位置的狀態(tài)下進行熔接、在熔接后不能得到正確的位置處的組裝構造。
[0014]專利文獻1:日本特許第5360033號公報

【發(fā)明內容】

[0015]本發(fā)明要解決的課題是，鑒于上述以往技術的問題，提供一種兩端密封型短弧閃光燈，在玻璃制的發(fā)光管的內部具有一對主電極和啟動輔助電極，在該發(fā)光管的兩端具備第I密封管和第2密封管;在上述第I密封管中，第I主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管夕卜、在上述第2密封管上熔接著插入到上述第2密封管的內部的密封用玻璃管，在該密封玻璃管中，第2主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管外，在上述第2密封管與上述密封用玻璃管的熔接作業(yè)時能夠得到上述啟動輔助電極的內部引線、外部引線、金屬箔等的正確的固定位置，能夠使封裝作業(yè)非常簡單化。
[0016]為了解決上述課題，有關本發(fā)明的兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，在上述密封用玻璃管的與上述第2密封管的熔接區(qū)域的外周面上，以將上述內部引線、外部引線及金屬箔覆蓋的方式熔接著一次密封用玻璃部件。
[0017]此外，兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，上述一次密封用玻璃部件的材料是無水石英玻璃，上述第2密封管的玻璃是有水石英玻璃。
[0018]發(fā)明的效果
[0019]根據(jù)本發(fā)明的兩端密封型短弧閃光燈，由于在被插入熔接于第2密封管的密封用玻璃管的外周面上覆蓋并熔接著一次密封用玻璃部件，所以處于密封用玻璃管的外周的啟動輔助電極的內部引線、外部引線及金屬箔被該一次密封用玻璃部件正確地定位并覆蓋，當將該狀態(tài)的密封用玻璃管熔接到第2密封管上時，使該熔接作業(yè)非常簡單化。因此，在最終成形為燈形狀時，將內部引線、外部引線、金屬箔正確地定位固定。
[0020]此外，通過使一次密封用玻璃部件為無水石英玻璃，使第2密封管為有水石英玻璃，從而在熔接后的熔接部的界面上作用壓縮應力，所以即使是封入例如0.1MPa以上即大致大氣壓以上那樣的高壓的惰性氣體的情況，也起到提高密封部的耐壓性、降低燈的破裂的危險性那樣的效果。
【附圖說明】
[0021]圖1是本發(fā)明的兩端密封型短弧閃光燈的剖視圖。
[0022]圖2是圖1的主要部的分解放大剖視圖。
[0023]圖3是本發(fā)明的燈的制造工序圖。
[0024]圖4是以往的兩端密封型短弧閃光燈的剖視圖。
[0025]附圖標記說明
[0026]I發(fā)光管；
[0027]2第I密封管；
[0028]3第2密封管；
[0029]4密封用玻璃管；
[0030]5第I主電極；
[0031]6第2主電極；
[0032]7第I主電極的芯線；
[0033]8第2主電極的芯線；
[0034]10第I啟動輔助電極；
[0035]11第2啟動輔助電極；
[0036]12第I啟動輔助電極的內部引線；
[0037]13第I啟動輔助電極的外部引線；
[0038]14金屬箔；
[0039]15第2啟動輔助電極的內部引線；
[0040]16第2啟動輔助電極的外部引線；
[0041]17金屬箔；
[0042]20 一次密封用玻璃部件；
[0043]21陰極固定件；
[0044]22 閥。
【具體實施方式】
[0045]圖1是本發(fā)明的固定了燈頭的兩端密封型短弧閃光燈的整體的剖視圖，圖2是圖1的主要部的分解放大剖視圖。
[0046]該短弧型閃光燈是所謂的兩端密封型，關于其基本的結構與圖4所示的以往例是同樣的。即，具有形成發(fā)光空間的例如橢圓球形狀的發(fā)光管1、連接在該發(fā)光管I的一端上并沿著管軸方向向外方延伸的第I密封管2、和連接在發(fā)光管I的另一端上并沿著管軸方向向外方延伸的第2密封管3，在上述第2密封管3中插入著密封用玻璃管4，在其重疊區(qū)域中將兩者熔接。
[0047]在上述發(fā)光管I內，對置配置有一對第I主電極5和第2主電極6。上述第I主電極5的芯線7通過接續(xù)玻璃等的單元被封裝在第I密封管2上并被向外方氣密地導出，另一方面，上述第2主電極6的芯線8通過接續(xù)玻璃等的單元被封裝在上述密封用玻璃管4上并被向外方氣密地導出。
[0048]并且，在上述發(fā)光管I內的一對主電極5、6之間配設有一對第I啟動輔助電極10和第2啟動輔助電極11，各個內部引線12、15和外部引線13、16在上述第2密封管3與密封用玻璃管4之間的熔接區(qū)域中經(jīng)由金屬箔14、17被電連接。
[0049]另外，在該實施例中，上述密封用玻璃管4在被插入到上述第2密封管4內并被重疊熔接的區(qū)域中，其外徑被縮徑，來自指導輔助電極10、11的外部引線13、16被從該縮徑的區(qū)域導出到第2密封管3的外部。
[0050]根據(jù)圖2的分解放大圖也可知，在密封用玻璃管4的前端側的與第2密封管3的重疊區(qū)域即熔接區(qū)域中，在其外周上以將上述內部引線12、15、外部引線13、16及金屬箔14、17覆蓋的方式熔接著一次密封用玻璃部件20。
[0051]這樣，將在前端區(qū)域中熔接著一次密封用玻璃部件20的密封用玻璃管4向第2密封管4內插入，將該第2密封管4與密封用玻璃管4熔接。
[0052]此外，在本發(fā)明的說明中，第I主電極5構成陽極，第2主電極6構成陰極，但在與第I密封管2及第2密封管3的關系中也可以是相反的關系，也可以是將作為陰極的第2主電極6的芯線8從第I密封管2側導出、將作為陽極的第I主電極5的芯線7從熔接在第2密封管3上的密封用玻璃管4側導出的結構。
[0053]換言之，表示了將啟動輔助電極10、11的內部引線12、15及外部引線13、16從陰極6側導出的結構，但也可以是從相反的陽極側5側導出的結構。
[0054]并且，優(yōu)選的是使用有水石英玻璃作為上述第2密封管3的材料，使用無水石英玻璃作為上述一次密封用玻璃部件20的材料。
[0055]另外，這里所謂有水石英玻璃，通常是指含有水，S卩OH基50重量ppm以上的石英玻璃，所謂無水石英玻璃，是指含有OH基小于50ppm的石英玻璃。
[0056]已知石英玻璃越多含有OH基則玻璃的軟化溫度越低、膨脹率越大，通過做成上述那樣的組合，通過熱膨脹率較大的第2密封管3與熱膨脹率較小的一次密封用玻璃部件20的熱膨脹率的差，從而在冷卻時在其熔接界面上在一次密封用玻璃部件20側作用壓縮應力。
[0057]通過向該一次密封用玻璃部件20作用壓縮應力，即使是在發(fā)光管I內封入大氣壓以上的高壓的惰性氣體的情況下，也提高熔接部的耐壓性，使燈的破裂的危險性下降。
[0058]通過圖3說明本發(fā)明的兩端密封型短弧閃光燈的制造方法。
[0059](A)將陰極6的芯線8插通到密封用玻璃管4的內部，在其端部接續(xù)密封；
[0060](B)在密封用玻璃管4的前端側的熔接區(qū)域中，配置啟動輔助電極10、11的內部引線12、15和金屬箔14、17及外部引線13、16。
[0061](C)使一次密封用玻璃部件20嵌合在密封用玻璃管4的熔接區(qū)域上。將其加熱熔接并一次密封。
[0062](D)由此，在密封用玻璃管4的熔接區(qū)域中，形成以將內部引線12、15、金屬箔14、17、外部引線13、16覆蓋的方式熔接著一次密封用玻璃部件20的陰極固定件21。
[0063]另一方面，在發(fā)光管I上連接設置第I密封管2和第2密封管3而成的閥22中插通陽極5的芯線7，在第I密封管2的端部被接續(xù)密封。
[0064]向該閥22的第2密封管3內插入上述陰極固定件21，使一次密封用玻璃部件20位于第2密封管3的端部。
[0065](E)接著，從第2密封管3的外周通過氫氧燃燒器等加熱，將該第2密封管3與密封用玻璃管4的一次密封用玻璃部件20熔接(收縮密封)。
[0066]如以上說明，在有關本發(fā)明的兩端密封型短弧閃光燈中，通過做成在密封用玻璃管的前端側的熔接區(qū)域中熔接一次密封用玻璃部件、將其熔接到第2密封管內的結構，將位于密封用玻璃管的外周的啟動輔助電極的內部引線、外部引線及金屬箔正確地定位，將其熔接到第2密封管上，所以其熔接作業(yè)被極大地簡單化，并且能正確地進行內部引線、外部引線、金屬箔的定位。
[0067]另外，在向密封用玻璃管熔接作為簡單的圓筒管的一次密封用玻璃部件的情況、和熔接由陽極被密封的長條狀的發(fā)光管、第I密封管、第2密封管構成的閥的情況中，顯然如本發(fā)明那樣熔接一次密封用玻璃部件的情況時作業(yè)更容易。并且，熔接了一次密封用玻璃部件的密封用玻璃管的上述內部引線、外部引線金屬箔被正確地定位固定，能夠容易地熔接到第2密封管上。
【主權項】
1.一種兩端密封型短弧閃光燈， 在玻璃制的發(fā)光管的內部具有啟動輔助電極和一對主電極，在該發(fā)光管的兩端具備第I密封管和第2密封管； 在上述第I密封管中，第I主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管外； 在上述第2密封管上熔接有被插入在該第2密封管的內部的密封用玻璃管，在該密封用玻璃管中，第2主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管外； 在上述第2密封管與上述密封用玻璃管之間，密封著上述啟動輔助電極的內部引線和外部引線、以及將它們電連接的金屬箔； 該兩端密封型短弧閃光燈特征在于， 在上述密封用玻璃管的與上述第2密封管的熔接區(qū)域的外周面上，以將上述內部引線、外部引線及金屬箔覆蓋的方式熔接著一次密封用玻璃部件。2.如權利要求1所述的兩端密封型短弧閃光燈，其特征在于， 上述一次密封用玻璃部件的材料是無水石英玻璃； 上述第2密封管的玻璃是有水石英玻璃。
【文檔編號】H01J61/36GK105914127SQ201610027987
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年1月15日
【發(fā)明人】加瀨征彥, 平石隆之
【申請人】優(yōu)志旺電機株式會社