發(fā)光器件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種發(fā)光器件（1），其包括襯底（5）、透明陽(yáng)極層（7）、陰極層（9）、陽(yáng)極層與陰極層之間的發(fā)光層（8）、以及襯底與陽(yáng)極層之間的中間層（4）。導(dǎo)電元件被嵌入在中間層中使得導(dǎo)電元件與陽(yáng)極層接觸。而且，用于散射光的散射顆粒被嵌入在中間層中，從而提高器件的光外耦合效率。因?yàn)閷?dǎo)電元件被嵌入在中間層中并且例如不在陽(yáng)極層的頂部上，即不在陽(yáng)極層與陰極層之間，所以陽(yáng)極層的薄層電阻可以在不要求鈍化層的情況下被減小，該鈍化層可能不利地影響發(fā)光材料。此外，嵌入的導(dǎo)電元件允許透明陽(yáng)極層的厚度被減小為大約50 nm或者更小的厚度，由此最小化透明陽(yáng)極層的光吸收對(duì)光外耦合效率的影響。這允許改進(jìn)的光發(fā)射質(zhì)量。
【專利說明】
發(fā)光器件
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及發(fā)光器件、被用于制造發(fā)光器件的層結(jié)構(gòu)、以及用于制造層結(jié)構(gòu)的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)發(fā)光器件(OLED)包括比如玻璃襯底之類的襯底與陽(yáng)極層、陰極層和陽(yáng)極層與陰極層之間的有機(jī)發(fā)光層，其中有機(jī)發(fā)光層適配成在電壓被施加給陽(yáng)極層和陰極層的情況下發(fā)射光。此外，在陽(yáng)極層的頂部上，即在有機(jī)發(fā)光層內(nèi)，可以提供金屬網(wǎng)格(grid)，以便減小陽(yáng)極層的薄層電阻，其中在金屬網(wǎng)格的頂部上可以提供比如光刻膠層之類的鈍化層，以便抑制OLED中的電氣短路。然而，有機(jī)發(fā)光層可能不利地受到濕氣以及與形成鈍化層的鈍化材料的反應(yīng)的影響，由此降低OLED的光發(fā)射質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種具有改進(jìn)的光發(fā)射質(zhì)量的發(fā)光器件。本發(fā)明的另外目的是提供一種可以用于制造發(fā)光器件的層結(jié)構(gòu)，以及提供一種用于制造層結(jié)構(gòu)的制造方法。
[0004]在本發(fā)明的第一方面中，提出一種發(fā)光器件，該發(fā)光器件包括襯底、透明陽(yáng)極層、陰極層、以及陽(yáng)極層與陰極層之間的發(fā)光層，其中發(fā)光層適配成在電壓被施加給陽(yáng)極層和陰極層的情況下發(fā)射光。發(fā)光器件還包括襯底與透明陽(yáng)極層之間的中間層，其中中間層包括具有比襯底的折射率高的折射率的中間層材料。此外，導(dǎo)電元件被嵌入在中間層中使得導(dǎo)電元件與透明陽(yáng)極層接觸。用于散射光的散射顆粒被嵌入在中間層中，并且透明陽(yáng)極層具有大約50 nm或者更少的厚度，諸如20 nm的厚度。
[0005]嵌入在中間層中的散射顆粒提高器件的光外耦合效率。然而，如果向器件添加這樣的散射功能，則通過器件的另外層中的任何一層對(duì)光的吸收例如由于光路徑的增加長(zhǎng)度和散射過程而發(fā)揮大得多的作用，這對(duì)于透明陽(yáng)極層而言尤其如此。
[0006]因?yàn)閷?dǎo)電元件被嵌入在中間層中并且不在陽(yáng)極層的頂部上，即不在陽(yáng)極層與陰極層之間，所以在導(dǎo)電元件上不需要鈍化層用于抑制發(fā)光層內(nèi)的電氣短路，其中陽(yáng)極層的薄層電阻仍舊可以被減小，因?yàn)閷?dǎo)電元件與陽(yáng)極層接觸。同樣地，因?yàn)椴恍枰c發(fā)光層接觸的鈍化層，所以發(fā)光層不能不利地受到濕氣或者與鈍化層的鈍化材料的反應(yīng)的影響，由此允許改進(jìn)的光發(fā)射質(zhì)量。此外，因?yàn)殛?yáng)極層的薄層電阻主要由嵌入的導(dǎo)電元件確定，所以后者允許透明陽(yáng)極層的厚度被減小為大約50 nm或者更小的厚度(諸如20 nm的厚度)，由此最小化透明陽(yáng)極層的光吸收對(duì)光外耦合效率的影響，使得后者可以甚至進(jìn)一步增加。
[0007]導(dǎo)電元件優(yōu)先地是金屬元件并且襯底優(yōu)先地是玻璃或聚合物襯底。中間層優(yōu)先地由其中嵌入導(dǎo)電元件的電氣絕緣中間層材料制成。陰極層對(duì)于所發(fā)射的光可以是反射的。發(fā)光層優(yōu)先地包括有機(jī)發(fā)光材料使得發(fā)光器件優(yōu)先地是OLED。
[0008]優(yōu)選的是，中間層材料的折射率類似于(尤其是等于)透明陽(yáng)極層的折射率。還優(yōu)選的是，中間層材料的折射率類似于(尤其是等于)陽(yáng)極層和發(fā)光層的折射率的平均。在優(yōu)選實(shí)施例中，中間層材料的折射率等于或大于1.7。此外，面向中間層的襯底的表面可以包括散射結(jié)構(gòu)。特別地，面向中間層的襯底的表面可以被粗糙化用于提供表面上的散射結(jié)構(gòu)。中間層的相對(duì)高的折射率和嵌入在中間層中的散射顆粒和/或襯底表面上的散射結(jié)構(gòu)可以改進(jìn)通過透明陽(yáng)極層、中間層和襯底將由發(fā)光層發(fā)射的光從發(fā)光器件耦合出的效率。
[0009]在實(shí)施例中，導(dǎo)電元件僅布置在面向陽(yáng)極層的中間層的部分中。此外，導(dǎo)電元件優(yōu)先地是導(dǎo)電網(wǎng)格。如果導(dǎo)電元件是導(dǎo)電網(wǎng)格，則陽(yáng)極層的薄層電阻可以相對(duì)均勻地被減小，由此提高發(fā)光器件的亮度均勻性。
[0010]在實(shí)施例中，中間層包括由第一中間層材料制成的第一部分和由第二中間層材料制成的第二部分。特別地，第二部分可以是面向陽(yáng)極層且包括導(dǎo)電元件的中間層的部分，并且第一部分可以是面向襯底且不包括導(dǎo)電元件的中間層的部分。此外，第一部分可以包括用于散射光的散射顆粒，即散射顆粒可以僅存在于第一部分中。當(dāng)制造發(fā)光器件時(shí)，針對(duì)第一和第二部分使用不同中間層材料可以是有利的。例如，為了制造第二部分，可以使用第二中間層材料，其尤其適于嵌入導(dǎo)電元件，并且為了制造第一部分，可以使用第一中間層材料，其尤其適于嵌入散射顆粒。
[0011]在本發(fā)明的第二方面中，提出一種層結(jié)構(gòu)，該層結(jié)構(gòu)可以用于制造根據(jù)本發(fā)明的第一方面的發(fā)光器件。層結(jié)構(gòu)包括襯底、將形成發(fā)光器件中的透明陽(yáng)極層的電極層、以及襯底與透明陽(yáng)極層之間的中間層，其中中間層包括具有比襯底的折射率高的折射率的中間層材料，其中導(dǎo)電元件被嵌入在中間層中使得導(dǎo)電元件與透明陽(yáng)極層接觸，并且其中用于散射光的散射顆粒被嵌入在中間層中。為了制造發(fā)光器件，可以在層結(jié)構(gòu)上提供另外的層，比如發(fā)光層和陰極層。
[0012]在本發(fā)明的第三方面中，提出一種用于制造根據(jù)第二方面的層結(jié)構(gòu)的方法，其中該方法包括以下步驟:提供襯底;在襯底上提供中間層，其中導(dǎo)電元件被嵌入在中間層中，其中中間層包括具有比襯底的折射率大的折射率的中間層材料，并且其中用于散射光的散射顆粒被嵌入在中間層中；在中間層上提供將形成透明陽(yáng)極層的電極層，透明陽(yáng)極層具有大約50 nm或者更小的厚度，其中具有導(dǎo)電元件和透明陽(yáng)極層的中間層被提供使得導(dǎo)電元件與透明陽(yáng)極層接觸。
[0013]為了制造根據(jù)本發(fā)明的第一方面的發(fā)光器件，方法還可以包括以下步驟:在透明陽(yáng)極層上提供發(fā)光層；以及在發(fā)光層上提供陰極層使得發(fā)光層布置在陽(yáng)極層與陰極層之間，其中發(fā)光層適配成在電壓被施加給陽(yáng)極層和陰極層的情況下發(fā)射光。
[0014]在實(shí)施例中，具有嵌入的導(dǎo)電元件的中間層的提供包括在襯底上提供導(dǎo)電元件并且然后在具有導(dǎo)電元件的襯底上沉積中間層材料，以便形成中間層，其中制造方法還包括在中間層上提供透明陽(yáng)極層之前從導(dǎo)電元件移除中間層材料。在另外的實(shí)施例中，具有嵌入的導(dǎo)電元件的中間層的提供包括:在襯底上提供不包括導(dǎo)電元件的初步中間層;在初步中間層中制造溝槽；以及用導(dǎo)電材料填充溝槽用于形成導(dǎo)電元件。此外，具有嵌入的導(dǎo)電元件的中間層的提供可以包括:在襯底上提供中間層材料，以便形成面向襯底并且不包括導(dǎo)電元件的中間層的第一部分；以及在中間層的第一部分上提供具有導(dǎo)電元件的中間層的第二部分。
[0015]應(yīng)當(dāng)理解到，根據(jù)第一方面的發(fā)光器件、根據(jù)第二方面的層結(jié)構(gòu)和根據(jù)第三方面的方法具有相似和/或相同的優(yōu)選實(shí)施例，特別地如在從屬權(quán)利要求中所限定的那樣。
[0016]應(yīng)當(dāng)理解到，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例也可以是從屬權(quán)利要求或者以上實(shí)施例與相應(yīng)獨(dú)立權(quán)利要求的任何組合。
[0017]本發(fā)明的這些和其它方面將從以下描述的實(shí)施例顯而易見并且將參照以下描述的實(shí)施例進(jìn)行闡述。
【附圖說明】
[0018]在以下附圖中:
圖1至4示意性且示例性示出OLED的不同實(shí)施例，
圖5示出示例性圖示了用于制造OLED的制造方法的實(shí)施例的流程圖，以及圖6示意性且示例性示出用于制造OLED的制造裝置的實(shí)施例。
【具體實(shí)施方式】
[0019]圖1示意性且示例性示出發(fā)光器件的實(shí)施例。發(fā)光器件I是0LED，其包括作為透明陽(yáng)極層7的第一電極層與作為反射陰極層9的第二電極層之間的有機(jī)發(fā)光層8。電壓源10經(jīng)由電氣連接部11(比如電線)而連接到陽(yáng)極層7和陰極層9，其中有機(jī)發(fā)光層8適配成在電壓被施加給陽(yáng)極層7和陰極層9的情況下發(fā)射光40。
[0020]有機(jī)發(fā)光層8包括子層的堆疊，其包括一個(gè)或若干有機(jī)發(fā)光子層以及可選地包括比如一個(gè)或若干空穴注入子層、一個(gè)或若干空穴傳輸子層、一個(gè)或若干電子傳輸子層、一個(gè)或若干電荷生成子層等等的另外子層。
[0021]OLED I還包括可能是玻璃襯底或聚合物襯底的襯底5，以及襯底5上的中間層4，其中陽(yáng)極層7布置在中間層4上。因而，中間層4布置在襯底5與陽(yáng)極層7之間。中間層4包括嵌入在中間層4中使得導(dǎo)電元件6與陽(yáng)極層7接觸的導(dǎo)電元件6。在該實(shí)施例中，導(dǎo)電元件6是金屬網(wǎng)格。
[0022]中間層4，即嵌入導(dǎo)電元件6的中間層材料，具有等于或大于1.7的折射率，其中折射率與由發(fā)光層8發(fā)射的光的波長(zhǎng)相關(guān)。此外，該折射率可以類似于陽(yáng)極層7的折射率和/或陽(yáng)極層7和發(fā)光層8的折射率的平均的折射率。嵌入導(dǎo)電元件6并且具有該折射率的中間層材料(其在該實(shí)施例中從襯底5到達(dá)陽(yáng)極層7)優(yōu)先地是電氣絕緣的。
[0023]襯底5包括面向中間層4的粗糙化表面3，即散射結(jié)構(gòu)被提供在襯底5的表面上。本體2，即襯底5的其余部分，不具有散射結(jié)構(gòu)并且僅僅允許由發(fā)光層8發(fā)射的光40離開OLED
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[0024]襯底5與中間層4和陽(yáng)極層7—起形成層結(jié)構(gòu)，該層結(jié)構(gòu)可以在也不提供其它層的情況下首先被制造，其中隨后該層結(jié)構(gòu)可以用于制造發(fā)光層。例如，可以在第一制造場(chǎng)所處制造層結(jié)構(gòu)，此后，可以在第二制造場(chǎng)所處在層結(jié)構(gòu)上提供其余層用于形成發(fā)光器件。
[0025]圖2示意性且示例性示出OLED的另一實(shí)施例。同樣地，在該實(shí)施例中，OLED101包括陽(yáng)極層7和陰極層9，以及在陽(yáng)極層7與陰極層9之間的中間有機(jī)發(fā)光層8。此外，同樣地在該實(shí)施例中，電壓源10連接到陽(yáng)極層7和陰極層9，以便向陽(yáng)極層和陰極層7，9施加電壓，其中有機(jī)發(fā)光層8在電壓被施加給陽(yáng)極層和陰極層7，9的情況下發(fā)射光。然而，在該實(shí)施例中，襯底105包括面向中間層104的平滑表面，其中中間層104類似于以上參照?qǐng)D1所述的中間層4，但是附加地包括散射顆粒112用于在穿過中間層104時(shí)散射光40。
[0026]圖3示意性且示例性示出OLED的另一實(shí)施例。在該實(shí)施例中，OLED 201也包括陽(yáng)極層7、陰極層9與中間發(fā)光層8，其中陽(yáng)極層7和陰極層9電氣連接到電壓源10。然而，在該實(shí)施例中，OLED 201包括具有如以上參照?qǐng)D1所述的粗糙化表面4的襯底5。此外，在該實(shí)施例中，導(dǎo)電元件206不布置在面向襯底5的中間層204的第一部分231中，而是僅在面向陽(yáng)極層7的第二部分230中。因而，中間層204可以具有比將陽(yáng)極層7的薄層電阻減小為期望值所必要的大得多的厚度。例如，中間層204可以具有大約ΙΟμπι的厚度，而金屬網(wǎng)格206可以具有大約1μm的厚度。
[0027]此外，中間層204的第一和第二部分231，230可以由相同中間層材料或者由優(yōu)先地具有相同折射率的不同中間層材料來形成。例如，第一部分231可以是溶膠-凝膠部分，其包含S12和T12的混合物，用于按照期望調(diào)節(jié)第一部分231的折射率。第二部分230也可以是具有S12和T12的混合物的溶膠-凝膠部分，或者第二部分可以由另一材料(比如具有期望折射率的透明聚合物)形成。
[0028]圖4示意性且示例性示出OLED的另一實(shí)施例。在該實(shí)施例中，OLED 301也包括陽(yáng)極層7、陰極層9、以及布置在陽(yáng)極層7與陰極層9之間的發(fā)光層8。此外，同樣地在該實(shí)施例中，陽(yáng)極層7和陰極層9經(jīng)由電氣連接器11電氣連接到電壓源10。然而，在該實(shí)施例中，襯底105包括面向中間層304的平滑表面，并且中間層304包括不在面向襯底105的第一部分331中而是僅在面向陽(yáng)極層7的第二部分330中的導(dǎo)電元件206。此外，中間層304包括散射顆粒112。應(yīng)當(dāng)指出的是，圖4以及還有圖1-3不是成比例的。
[0029]同樣地在該實(shí)施例中，中間層304可以具有比將陽(yáng)極層7的薄層電阻減小成期望值所必要的大得多的厚度。例如，中間層304可以具有大約ΙΟμπι的厚度，而金屬網(wǎng)格306可以具有大約Iym的厚度。此外，同樣地在該實(shí)施例中，中間層304的第一和第二部分331,330可以由相同中間層材料或者由優(yōu)先地具有相同折射率的不同中間層材料來形成。在實(shí)施例中，散射顆粒112可以不存在于整個(gè)中間層304中，而是僅在第一部分331中。第一部分331可以是溶膠-凝膠部分，其包含S12和T12的混合物用于按照期望調(diào)節(jié)第一部分331的折射率，其中在該實(shí)施例中，溶膠-凝膠部分還包括散射顆粒。第二部分330也可以是具有S12和T12的混合物的溶膠-凝膠部分，其具有或者沒有散射顆粒，或者第二部分330可以由另一材料(比如具有期望折射率的透明聚合物)形成。第一部分331也可以由具有散射功能的玻璃形成。例如，玻璃粉末可以被提供在襯底上并且隨后被燒制用于創(chuàng)建形成第一部分的涂層。這可以如通過引用與本文合并的US 2009/0153972 Al中所述的那樣來執(zhí)行。
[0030]散射顆粒112優(yōu)先地具有明顯與中間層304的折射率不同的折射率。優(yōu)先地，散射顆粒112的折射率與中間層304的折射率之間的差異等于或大于0.3。散射顆粒的大小優(yōu)先地在200 nm到5000 nm的范圍中，并且體積分?jǐn)?shù)優(yōu)先地在0.5%和15%之間。
[0031]在下文中，將參照?qǐng)D5中所示的流程圖來示例性描述用于制造發(fā)光器件的制造方法的實(shí)施例。
[0032]在步驟501中，提供襯底。例如，可以提供平滑的透明玻璃或聚合物板105或者具有粗糙化表面5的玻璃或聚合物板。可以通過使用噴砂處理或者通過使用另一粗糙化技術(shù)來粗糙化表面。在步驟502中，在襯底上提供中間層，其中比如金屬網(wǎng)格之類的導(dǎo)電元件被嵌入在中間層中，并且其中中間層包括比襯底的折射率大的折射率。例如，導(dǎo)電元件可以被提供在襯底上，并且然后中間層材料可以被沉積在具有導(dǎo)電元件的襯底上，以便形成中間層，其中在該情況下，制造方法還可以包括在中間層上提供第一電極層之前從導(dǎo)電元件移除中間層材料。可以是金屬網(wǎng)格的導(dǎo)電元件可以例如通過絲網(wǎng)印刷、噴墨印刷、凹版印刷、柔版印刷或移印、濺射/光刻、電鍍等等而被提供在襯底上。如果使用濺射/光刻，則其中應(yīng)當(dāng)提供導(dǎo)電元件的襯底上的至少完整區(qū)域或者完整襯底可以通過濺射而涂有導(dǎo)電材料，于是可以通過光刻圖案化導(dǎo)電元件。可替換地，可以在襯底上印刷掩模，于是導(dǎo)電材料可以被濺射在掩模的頂部上，其中然后可以移除掩模，從而在襯底上留下圖案化導(dǎo)電元件，特別是金屬網(wǎng)格。
[0033]可以被視為高η層材料的中間層材料可以通過狹縫涂布、狹縫模具式涂布、旋涂、絲網(wǎng)印刷、噴墨印刷、浸漬涂布、噴涂(特別是等離子體噴涂)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、濺射或者任何其它已知的沉積技術(shù)而被沉積在具有導(dǎo)電元件的襯底上。中間層材料從導(dǎo)電元件的移除可以通過拋光或者用于從導(dǎo)電元件移除中間層材料的任何其它技術(shù)而被執(zhí)行，直到導(dǎo)電元件(特別是金屬網(wǎng)格)不再被中間層材料所覆蓋。中間層材料可以是具有期望折射率的有機(jī)材料或者無機(jī)材料。在實(shí)施例中，中間層材料是SiN。
[0034]作為首先在襯底上提供導(dǎo)電元件，然后在具有導(dǎo)電元件的襯底上沉積中間層材料，并且最后從導(dǎo)電元件移除中間層材料的可替換方案，在步驟502中，可以通過在襯底上提供不包括導(dǎo)電元件的初步中間層，通過在初步中間層中制造溝槽并且用導(dǎo)電材料填充溝槽用于形成中間層內(nèi)的導(dǎo)電元件來提供具有嵌入的導(dǎo)電元件的中間層。在已經(jīng)通過導(dǎo)電材料填充溝槽之后，在該表面上提供另外的層之前，可選地可以例如通過拋光或者任何其它平滑化技術(shù)來平滑化所得到的表面。溝槽可以通過例如激光消融、鋸切、蝕刻等等而被切成中間層。
[0035]此外，在步驟502中，在不嵌入導(dǎo)電元件的情況下，首先可以在襯底上提供中間層材料，以便形成面向襯底的中間層的第一部分，其不包括導(dǎo)電元件，其中然后可以在中間層的第一部分上提供中間層的第二部分，其包括導(dǎo)電元件。具有導(dǎo)電元件的中間層的第二部分可以如以上所述的那樣來制造，即例如通過首先在襯底上提供導(dǎo)電元件并且然后在具有導(dǎo)電元件的襯底上沉積中間層材料，其中然后在中間層上提供第一電極層之前從導(dǎo)電元件移除中間層材料，或者通過首先在襯底上提供不包括導(dǎo)電元件的初步中間層，通過在初步中間層中制造溝槽并且通過用導(dǎo)電材料填充溝槽用于形成導(dǎo)電元件來制造。
[0036]在步驟503中，在中間層上提供第一電極層，其中具有導(dǎo)電元件的中間層和第一電極層被提供成使得導(dǎo)電元件與第一電極層接觸。在該實(shí)施例中，第一電極層是無機(jī)或有機(jī)透明陽(yáng)極層，其由例如ITO(氧化銦錫)、ΙΖ0(氧化銦鋅)、ΑΖ0(氧化鋁鋅)、GZ0(氧化鎵鋅)、PEDOT:PSS(聚(3，4_乙撐二氧噻吩)聚(苯撐硫))或者另一透明無機(jī)或有機(jī)傳導(dǎo)材料而制成。為了沉積陽(yáng)極層，可以使用濺射、離子電鍍、CVD(特別是低壓CVD、大氣壓CVD或等離子體增強(qiáng)CVD)、溶膠-凝膠過程等等。如果第一電極層包括有機(jī)傳導(dǎo)材料，則有機(jī)傳導(dǎo)材料優(yōu)先地通過旋涂、狹縫涂布、狹縫模具式涂布等等來沉積。
[0037]在步驟504中，在中間層上提供發(fā)光層。在該實(shí)施例中，在中間層上提供有機(jī)發(fā)光層，其中在步驟505中，在發(fā)光層上提供第二電極層使得發(fā)光層布置在第一和第二電極層之間。發(fā)光層適配成在電壓被施加給第一和第二電極層的情況下發(fā)射光。第二電極層優(yōu)先地是陰極層，其對(duì)于由發(fā)光層發(fā)射的光可以是反射的。
[0038]在步驟506中，將第一和第二電極層經(jīng)由電氣導(dǎo)體電氣連接到電壓源，以便允許發(fā)光器件在電壓被施加給第一和第二電極層的情況下發(fā)射光。
[0039]制造方法可以包括另外的步驟用于例如向發(fā)光器件添加的另外部件(比如封裝)和/或用于處理發(fā)光器件的部件。步驟501到503可以被視為用于制造包括襯底、具有嵌入的導(dǎo)電元件的中間層和第一電極層的層結(jié)構(gòu)的制造方法的步驟。
[0040]可以手動(dòng)地、半自動(dòng)地或者完全自動(dòng)地執(zhí)行制造方法的步驟。為了制造發(fā)光器件，可以使用如在圖6中示意性且示例性示出的制造裝置。
[0041]制造裝置401包括用于在所提供的襯底424上提供中間層的中間層提供單元420，其中導(dǎo)電元件被嵌入在中間層中，并且其中中間層包括比襯底的折射率大的折射率。中間層提供單元420可以適配成執(zhí)行上文參照步驟502所述的制造方法的部分。制造裝置401還可以包括用于在具有中間層425的襯底上提供第一電極層的第一電極層提供單元421，其中具有導(dǎo)電元件的中間層和第一電極層被提供成使得導(dǎo)電元件與第一電極層接觸。這引起中間產(chǎn)品426。第一電極層提供單元421可以適配成執(zhí)行上文參照?qǐng)D5所述的制造步驟503。發(fā)光層提供單元422特別地依照上文所述制造步驟504在第一電極層上提供發(fā)光層，由此形成另一中間產(chǎn)品427，并且第二電極層提供單元423可以適配成在發(fā)光層上提供第二電極層使得發(fā)光層布置在第一和第二電極層之間，其中發(fā)光層適配成在電壓被施加給第一和第二電極層的情況下發(fā)射光。第二電極層提供單元423可以適配成依照上文所述制造步驟505來提供第二電極層。制造裝置401可以包括用于執(zhí)行另外的制造步驟的另外單元。例如，制造裝置可以包括用于將第一和第二電極層電氣連接到電壓源的另外單元或者用于提供封裝的另外單元。
[0042]中間層提供單元420和第一電極層提供單元421可以被視為形成用于制造包括襯底、具有嵌入的導(dǎo)電元件的中間層和第一電極層的層結(jié)構(gòu)的制造裝置。
[0043]所制造的OLED器件優(yōu)先地包括嵌入在高η層中(即在被用于光外耦合的中間層中)的金屬網(wǎng)格，而不是使用放置在陽(yáng)極層的頂部上的金屬網(wǎng)格。嵌入在高η層中的金屬網(wǎng)格不需要鈍化并且其使得能夠提供平坦表面，在該平坦表面上可以沉積OLED的其它層，這對(duì)于OLED的可靠性是有利的。如果網(wǎng)格的厚度相對(duì)薄，即相對(duì)于高η層的厚度，則可能在高η層的制造開始處添加附加的高η層涂布步驟使得金屬網(wǎng)格最終沒有與襯底接觸，而是代替地僅被嵌入在高η層的上部區(qū)中。
[0044]本領(lǐng)域技術(shù)人員在實(shí)踐所要求保護(hù)的發(fā)明時(shí)，通過研究附圖、公開內(nèi)容和隨附權(quán)利要求，可以理解和實(shí)現(xiàn)對(duì)所公開的實(shí)施例的其它變化。
[0045]在權(quán)利要求中，詞語(yǔ)“包括”不排除其它元件或步驟，并且不定冠詞“一”或“一個(gè)”不排除多個(gè)。
[0046]單個(gè)單元或器件可以實(shí)現(xiàn)在權(quán)利要求中闡述的若干項(xiàng)的功能。在相互不同的從屬權(quán)利要求中闡述某些措施的這一事實(shí)不指示這些措施的組合不能用于獲益。
[0047]比如由一個(gè)或若干單元或器件執(zhí)行的襯底上的中間層的提供(其中導(dǎo)電元件被嵌入在中間層中)、提供第一電極層、提供發(fā)光層、提供第二電極層等等的規(guī)程可以由任何其它數(shù)目的單元或器件來執(zhí)行。例如，步驟502到505可以由單個(gè)單元或者由任何其它數(shù)目的不同單元來執(zhí)行。這些規(guī)程以及依照制造方法對(duì)制造裝置的控制可以實(shí)現(xiàn)為計(jì)算機(jī)程序的程序代碼裝置以及專用硬件。
[0048]計(jì)算機(jī)程序可以被存儲(chǔ)和/或分配在適當(dāng)介質(zhì)上，諸如連同其它硬件一起供應(yīng)或者作為其它硬件的部分的光學(xué)存儲(chǔ)介質(zhì)或固態(tài)介質(zhì)，但是也可以以其它形式諸如經(jīng)由因特網(wǎng)或者其它有線或無線電信系統(tǒng)被分配。
[0049]權(quán)利要求中的任何參考標(biāo)記不應(yīng)當(dāng)解釋為限制范圍。
[0050]本發(fā)明涉及一種發(fā)光器件，該發(fā)光器件包括襯底、第一和第二電極層、第一和第二電極層之間的發(fā)光層、以及襯底和第一電極層之間的中間層。導(dǎo)電元件被嵌入在中間層中使得導(dǎo)電元件與第一電極層接觸。因?yàn)閷?dǎo)電元件被嵌入在中間層中并且例如不在第一電極層的頂部上，即不在第一和第二電極層之間，所以第一電極層的薄層電阻可以在不要求鈍化層的情況下被減小，該鈍化層可能不利地影響發(fā)光材料。這允許改進(jìn)的光發(fā)射質(zhì)量。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種發(fā)光器件，包括: -襯底(5;105); -透明陽(yáng)極層(7); -在陽(yáng)極層和陰極層(7，9)之間的發(fā)光層(8)，用于在電壓被施加給陽(yáng)極層和陰極層(7，9)時(shí)發(fā)射光；以及 -在襯底(5;105)和透明陽(yáng)極層(7)之間的中間層(4;104;204;304)，中間層包括中間層材料， 其中中間層材料具有比襯底(5; 105 )的折射率大的折射率， 其中導(dǎo)電元件(6; 206)被嵌入在中間層(4; 104; 204;304)中使得導(dǎo)電元件(6; 206)與透明陽(yáng)極層(7)接觸， 其中用于散射光的散射顆粒(112)被嵌入在中間層(104;304)中，并且 其中透明陽(yáng)極層(7)具有大約50 nm或者更小的厚度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件，其中中間層材料的折射率類似于透明陽(yáng)極層(7)的折射率和/或透明陽(yáng)極層(7)和發(fā)光層(8)的折射率的平均。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件，其中中間層材料的折射率等于或大于1.7。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件，其中中間層材料是其中嵌入導(dǎo)電元件(6;206)的電氣絕緣中間層材料。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件，其中面向中間層(4;204)的襯底(5)的表面(3)包括散射結(jié)構(gòu)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件，其中導(dǎo)電元件(206)僅布置在面向透明陽(yáng)極層(7)的中間層(204;304)的部分中。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件，其中中間層(204;304)包括由第一中間層材料制成的第一部分(231;331)和由第二中間層材料制成的第二部分(230;330)。8.—種供根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光器件的制造中使用的層結(jié)構(gòu)，其中所述層結(jié)構(gòu)包括: -襯底(5;105)， -透明陽(yáng)極層(7)，以及 -在襯底(5; 105)和透明陽(yáng)極層(7)之間的中間層(4; 104;204;304)， 其中中間層(4; 104; 204; 304)包括具有比襯底(5 ; 105)的折射率大的折射率的中間層材料， 其中導(dǎo)電元件(6; 206)被嵌入在中間層(4; 104; 204;304)中使得導(dǎo)電元件(6; 206)與透明陽(yáng)極層(7)接觸， 其中用于散射光的散射顆粒(112)被嵌入在中間層(104;304)中，并且 其中透明陽(yáng)極層(7)具有大約50 nm或者更小的厚度。9.一種用于制造根據(jù)權(quán)利要求8所述的層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述方法包括以下步驟: -提供襯底(5; 105)， -在襯底(5; 105)上提供中間層(4; 104;204;304)，其中導(dǎo)電元件(6;206)被嵌入在中間層(4;104;204;304)中，其中中間層(4;104;204;304)包括具有比襯底(5;105)的折射率大的折射率的中間層材料，并且其中用于散射光的散射顆粒(112)被嵌入在中間層(104;304 沖， -在中間層(4; 104;204;304)上提供透明陽(yáng)極層(7)，透明陽(yáng)極層(7)具有大約50 nm或者更小的厚度，其中具有導(dǎo)電元件(6; 206)的中間層(4; 104;204; 304)和透明陽(yáng)極層(7)被提供成使得導(dǎo)電元件(6;206)與透明陽(yáng)極層(7)接觸。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中具有嵌入的導(dǎo)電元件(6;206)的中間層(4;104;204; 304)的提供包括在襯底(5; 105)上提供導(dǎo)電元件(6; 206)并且然后在具有導(dǎo)電元件(6;206 )的襯底(5; 105 )上沉積中間層材料，以便形成中間層(4; 104; 204; 304)，其中制造方法還包括在中間層(4;104;204;304)上提供透明陽(yáng)極層(7)之前從導(dǎo)電元件(6;206)移除中間層材料。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中具有嵌入的導(dǎo)電元件(6;206)的中間層(4;104;204;304)的提供包括在襯底(5;105)上提供不包括導(dǎo)電元件(6;206)的初步中間層(4;104;204; 304)，在初步中間層(4; 104; 204; 304)中制造溝槽，并且用導(dǎo)電材料填充溝槽用于形成導(dǎo)電元件(6;206)。12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中具有嵌入的導(dǎo)電元件(206)的中間層(204;304)的提供包括在襯底(5; 105)上提供中間層材料，以便形成面向襯底(5;105)且不包括導(dǎo)電元件(206)的中間層(204; 304)的第一部分(231; 331)，以及在中間層(204; 304)的第一部分(231;331)上提供具有導(dǎo)電元件(206)的中間層(204;304)的第二部分(230;330)。
【文檔編號(hào)】H01L51/52GK105917483SQ201480060601
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2014年11月4日
【發(fā)明人】M.S.魯斯克, H.施瓦布
【申請(qǐng)人】Oled工廠有限責(zé)任公司