一種基板的表面處理工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種基板的表面處理工藝，將基板浸入玻璃洗滌劑內(nèi)，洗凈后用去離子水清洗；浸入附著力促進(jìn)液中，超聲處理然后取出加入丙酮超聲處理取出后使用去離子水沖洗，然后使用氮?dú)鈱⒒宕蹈?；浸泡在有機(jī)溶劑內(nèi)，避光保存。本發(fā)明使用清洗、超聲、沖洗、干燥、浸泡處理工藝處理的基板材料，能夠利用有機(jī)溶劑與基板表面的緩慢反應(yīng)最大限度的去除表面油污殘留，并改善基板表面浸潤(rùn)性，能夠增強(qiáng)基板后續(xù)鍍膜的附著力及均勻性，該方法操作簡(jiǎn)單，無需其他處理設(shè)備，可在室溫下空氣中制備，與大面積商業(yè)化生產(chǎn)制備工藝相兼容。
【專利說明】
一種基板的表面處理工藝
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及表面處理領(lǐng)域，具體涉及一種改善基板表面浸潤(rùn)性、增強(qiáng)基板鍍膜附著力及均勻性的基板的表面處理工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，基板材料在電子產(chǎn)品，半導(dǎo)體器件等領(lǐng)域廣泛使用。
[0003]通常為了制造太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體器件和平板顯示器件，需要在基板的表面形成預(yù)定的薄膜層、薄膜電路圖案或光學(xué)團(tuán)。隱刺，需要進(jìn)行半導(dǎo)體制造工藝，例如，在基板上沉積預(yù)定材料的薄膜的薄膜沉積工藝，使用光敏材料對(duì)薄膜進(jìn)行選擇性的曝光的光學(xué)工藝，以及通過選擇性的出去該薄膜的曝光部分形成圖案的蝕刻工藝。
[0004]基板材料在使用前需要采用超聲清洗方式去除表面油污。超聲清洗具有以下問題:短時(shí)間超聲清洗無法去除基板所有油污，對(duì)基板表面浸潤(rùn)性改善不明顯，超聲后基板若不立刻使用則會(huì)造成基板的二次污染，因此，基板的清洗效果受到影響和限制。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有基板超聲清洗后對(duì)基板表面浸潤(rùn)性改善不明顯、附著力差的缺陷而提供一種改善基板表面浸潤(rùn)性、增強(qiáng)基板鍍膜附著力及均勻性的基板的表面處理工藝。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
一種基板的表面處理工藝，包括以下步驟:
a)清洗:將基板浸入玻璃洗滌劑內(nèi)，洗凈后用去離子水清洗；
b)超聲處理:將步驟a)得到的基板浸入附著力促進(jìn)液中，超聲處理45-60min;然后取出加入丙酮超聲處理15_30min，取出后使用去離子水沖洗，然后使用氮?dú)鈱⒒宕蹈桑?br> c)浸泡保存:將步驟b)得到的基板浸泡在有機(jī)溶劑內(nèi)，避光保存。在本技術(shù)方案中，首先通過玻璃洗滌劑清洗基板表面的油漬污垢等物質(zhì)，然后用附著力促進(jìn)液提升基板表面的附著力與浸潤(rùn)性，以便后續(xù)提高后續(xù)鍍膜時(shí)的基板鍍膜附著力及均勻性，長(zhǎng)時(shí)間浸泡有助于基板表面與有機(jī)溶劑緩慢發(fā)生反應(yīng)，徹底清除基板表面油污殘留并改善基板表面浸潤(rùn)性。
[0007]作為優(yōu)選，步驟b)中附著力促進(jìn)液由以下重量份的原料組成:羥乙基纖維素10-15份、正硅酸甲酯20-35份、海藻泥5-10份、乙酸乙酯80-100份、硅烷偶聯(lián)劑15-25份與氫氟酸卜5份。
[0008]作為優(yōu)選，附著力促進(jìn)液的制備方法為:將羥乙基纖維素、正硅酸甲酯、硅烷偶聯(lián)劑與海藻泥加入到乙酸乙酯中，攪拌溶解完后加入氫氟酸，超聲60KHz處理35-50min后得到。
[0009]作為優(yōu)選，步驟b)中附著力促進(jìn)液的溫度為65_80°C。
[0010]作為優(yōu)選，步驟b)中超聲頻率85-lOOKHz。
[0011]作為優(yōu)選，步驟c)中有機(jī)溶劑為乙醇、異丙醇、丙酮、甲醇、乙二醇乙醚或丙二醇甲醚中的一種。
[0012]作為優(yōu)選，所述基板為PET，玻璃，石英，硅片，ITO導(dǎo)電玻璃，F(xiàn)TO導(dǎo)電玻璃，ZnO導(dǎo)電玻璃中的一種。
[0013]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明使用清洗、超聲、沖洗、干燥、浸泡處理工藝處理的基板材料，能夠利用有機(jī)溶劑與基板表面的緩慢反應(yīng)最大限度的去除表面油污殘留，并改善基板表面浸潤(rùn)性，能夠增強(qiáng)基板后續(xù)鍍膜的附著力及均勻性，該方法操作簡(jiǎn)單，無需其他處理設(shè)備，可在室溫下空氣中制備，與大面積商業(yè)化生產(chǎn)制備工藝相兼容。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面將對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0015]實(shí)施例1
一種基板的表面處理工藝，包括以下步驟:
a)清洗:將基板(基板選擇ITO導(dǎo)電玻璃)浸入玻璃洗滌劑內(nèi)，洗凈后用去離子水清洗；
b)超聲處理:將步驟a)得到的基板浸入溫度為65°C的附著力促進(jìn)液中，超聲頻率85KHz處理45min;然后取出加入丙酮超聲頻率85KHz處理15min，取出后使用去離子水沖洗，然后使用氮?dú)鈱⒒宕蹈?其中附著力促進(jìn)液由以下重量份的原料組成:羥乙基纖維素10份、正硅酸甲酯20份、海藻泥5份、乙酸乙酯80份、硅烷偶聯(lián)劑15份與氫氟酸I份；附著力促進(jìn)液的制備方法為:將羥乙基纖維素、正硅酸甲酯、硅烷偶聯(lián)劑與海藻泥加入到乙酸乙酯中，攪拌溶解完后加入氫氟酸，超聲60KHz處理35min后得到；；
c)浸泡保存:將步驟b)得到的基板浸泡在乙醇內(nèi)，將密封瓶蓋旋緊，并放于避光陰涼處。放置24小時(shí)以上，待用。
[0016]實(shí)施例2
一種基板的表面處理工藝，包括以下步驟:
a)清洗:將基板(基板選擇ZnO導(dǎo)電玻璃)浸入玻璃洗滌劑內(nèi)，洗凈后用去離子水清洗；
b)超聲處理:將步驟a)得到的基板浸入溫度為70°C的附著力促進(jìn)液中，超聲頻率90KHz處理50min;然后取出加入丙酮超聲頻率90KHz處理20min，取出后使用去離子水沖洗，然后使用氮?dú)鈱⒒宕蹈?其中附著力促進(jìn)液由以下重量份的原料組成:羥乙基纖維素12份、正硅酸甲酯25份、海藻泥5份、乙酸乙酯95份、硅烷偶聯(lián)劑20份與氫氟酸3份；附著力促進(jìn)液的制備方法為:將羥乙基纖維素、正硅酸甲酯、硅烷偶聯(lián)劑與海藻泥加入到乙酸乙酯中，攪拌溶解完后加入氫氟酸，超聲60KHz處理40min后得到；；
c)浸泡保存:將步驟b)得到的基板浸泡在丙二醇甲醚內(nèi)，將密封瓶蓋旋緊，并放于避光陰涼處。放置24小時(shí)以上，待用。
[0017]實(shí)施例3
一種基板的表面處理工藝，包括以下步驟:
a)清洗:將基板(基板選擇FTO導(dǎo)電玻璃)浸入玻璃洗滌劑內(nèi)，洗凈后用去離子水清洗； b)超聲處理:將步驟a)得到的基板浸入溫度為80°C的附著力促進(jìn)液中，超聲頻率10KHz處理60min;然后取出加入丙酮超聲頻率10KHz處理30min，取出后使用去離子水沖洗，然后使用氮?dú)鈱⒒宕蹈?其中附著力促進(jìn)液由以下重量份的原料組成:羥乙基纖維素15份、正硅酸甲酯35份、海藻泥10份、乙酸乙酯100份、硅烷偶聯(lián)劑25份與氫氟酸5份;附著力促進(jìn)液的制備方法為:將羥乙基纖維素、正硅酸甲酯、硅烷偶聯(lián)劑與海藻泥加入到乙酸乙酯中，攪拌溶解完后加入氫氟酸，超聲60KHz處理50min后得到；；
c)浸泡保存:將步驟b)得到的基板浸泡在有機(jī)溶劑內(nèi)，將密封瓶蓋旋緊，并放于避光陰涼處。放置24小時(shí)以上，待用。
[0018]以上所述的實(shí)施例只是本發(fā)明的一種較佳的方案，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，在不超出權(quán)利要求所記載的技術(shù)方案的前提下還有其它的變體及改型。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板的表面處理工藝，其特征在于，包括以下步驟: a)清洗:將基板浸入玻璃洗滌劑內(nèi)，洗凈后用去離子水清洗； b)超聲處理:將步驟a)得到的基板浸入附著力促進(jìn)液中，超聲處理45-60min;然后取出加入丙酮超聲處理15_30min，取出后使用去離子水沖洗，然后使用氮?dú)鈱⒒宕蹈桑?c)浸泡保存:將步驟b)得到的基板浸泡在有機(jī)溶劑內(nèi)，避光保存。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板的表面處理工藝，其特征在于，步驟b)中附著力促進(jìn)液由以下重量份的原料組成:羥乙基纖維素10-15份、正硅酸甲酯20-35份、海藻泥5-10份、乙酸乙酯80-100份、硅烷偶聯(lián)劑15-25份與氫氟酸1-5份。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基板的表面處理工藝，其特征在于，附著力促進(jìn)液的制備方法為:將羥乙基纖維素、正硅酸甲酯、硅烷偶聯(lián)劑與海藻泥加入到乙酸乙酯中，攪拌溶解完后加入氫氟酸，超聲60KHz處理35-50min后得到。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板的表面處理工藝，其特征在于，步驟b)中附著力促進(jìn)液的溫度為65-80 °C。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板的表面處理工藝，其特征在于，步驟b)中超聲頻率85-100KHzo6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板的表面處理工藝，其特征在于，步驟c)中有機(jī)溶劑為乙醇、異丙醇、丙酮、甲醇、乙二醇乙醚或丙二醇甲醚中的一種。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板的表面處理工藝，其特征在于，所述基板為PET，玻璃，石英，硅片，ITO導(dǎo)電玻璃，F(xiàn)TO導(dǎo)電玻璃，ZnO導(dǎo)電玻璃中的一種。
【文檔編號(hào)】C03C23/00GK105957800SQ201610301332
【公開日】2016年9月21日
【申請(qǐng)日】2016年5月9日
【發(fā)明人】余璇, 于曉明, 陳立橋, 潘洪軍
【申請(qǐng)人】浙江海洋大學(xué)