襯底運輸設(shè)備的制造方法
【專利摘要】一種傳送設(shè)備包括：框架；連接到所述框架的多個臂，每個臂具有末端執(zhí)行器和用于相對于所述多個臂中的其他臂的相應(yīng)的臂的延伸和收縮的獨立驅(qū)動軸線；線性軌，其限定所述獨立驅(qū)動軸線的自由度用于延伸和收縮至少一個臂；以及公共驅(qū)動軸線，其被每個臂分享并被配置成圍繞公共樞轉(zhuǎn)軸線樞轉(zhuǎn)所述多個臂，其中，所述多個臂中的至少一個具有相對于所述多個臂中的其他臂限定獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線。
【專利說明】
襯底運輸設(shè)備[0001 ]本發(fā)明是2013年12月17日提交的臨時專利申請第61 /917，056號的非臨時申請并 要求其利益，該臨時專利申請的全部內(nèi)容通過引用合并于此。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]所公開的實施例的方面總體涉及機器人系統(tǒng)，并且更具體地，涉及機器人運輸設(shè)備?！颈尘凹夹g(shù)】
[0003]例如在半導(dǎo)體制造工業(yè)中，可在具有并排襯底保持站的線性工具系統(tǒng)和/或集群工具系統(tǒng)中處理工件或半導(dǎo)體襯底。一般地，在具有并排襯底保持站的這些系統(tǒng)中，半導(dǎo)體制造商需要獨立的徑向機器人，其能夠基本同時地或獨立地從并排襯底保持站傳送襯底或?qū)⒁r底傳送到并排襯底保持站。一般地，這通過提供兩個傳送臂來完成，傳送臂之間具有間隔，該間隔與并排襯底保持站之間的間隔基本相同。這些傳送臂可被安裝在吊臂或線性滑動裝置上。這些傳送臂還可采用線性驅(qū)動器，用于將臂延伸至襯底保持站或從襯底保持站收縮臂。
[0004]有利的是，提供配置有兩個并排獨立臂的單個機器人，每個臂被配置成在公共的旋轉(zhuǎn)軸線上操作，同時具有沿各自的徑向軸線的獨立旋轉(zhuǎn)電機致動。此外有利的是，提供配置有兩個獨立臂的單個機器人，每個臂被配置成在公共的旋轉(zhuǎn)軸線上操作，同時具有沿公共的徑向軸線的獨立旋轉(zhuǎn)電機致動。此外有利的是，為每個并排獨立臂提供在與并排獨立臂沿徑向軸線的移動基本正交的方向上的移動，以便實現(xiàn)修正系統(tǒng)站誤差的能力，同時還能夠利用迅捷(on-the-fly)技術(shù)實現(xiàn)修正晶片放置的能力而不需利用傳送機器人的0軸線?！靖綀D說明】
[0005]在以下描述中結(jié)合附圖解釋所公開的實施例的前述方面和其他特征，其中:圖1A-1D是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底處理設(shè)備的示意圖；圖1E和1F是根據(jù)所公開的實施例的方面的圖1A-1D的襯底處理設(shè)備的一部分的示意圖；圖2A-2D是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖2E是根據(jù)所公開的實施例的方面的驅(qū)動部段的示意圖；圖2F-2J是根據(jù)所公開的實施例的方面的運輸臂的示意圖；圖3A-3E是根據(jù)所公開的實施例的方面的圖2A-2D中所示的襯底運輸設(shè)備的一部分的示意圖；圖3F和3G是根據(jù)所公開的實施例的方面的驅(qū)動部段的示意圖；圖4A-4B是根據(jù)所公開的實施例的方面的圖2A-2D中所示的襯底運輸設(shè)備的一部分的示意圖；圖5A-5C是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖?和5E是根據(jù)所公開的實施例的方面的圖5A-5C中所示的襯底運輸設(shè)備的一部分的示意圖；圖6A-6B是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖7A-7B是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖7C是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖8A-8B是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖9A-9F是根據(jù)所公開的實施例的方面的圖8A-8B中所示的襯底運輸設(shè)備的一部分的示意圖；圖10A-10B是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖11A-11D是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖12A-12C是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖13、14和15是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的一部分的示意圖；圖16A-16C是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖17A-17C是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖18是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖19是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；圖20是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖；以及圖21是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底運輸設(shè)備的示意圖。【具體實施方式】
[0006]圖1A-1D是根據(jù)所公開的實施例的方面的襯底處理設(shè)備的示意圖。雖然將參照附圖描述所公開的實施例的方面，但是應(yīng)該理解，可用許多方式具體實現(xiàn)所公開的實施例的方面。此外，可使用任何合適尺寸、形狀或類型的元件或材料。
[0007]根據(jù)所公開實施例的一個方面示出了處理設(shè)備100A、100B、100C、100D，諸如例如， 半導(dǎo)體工具站。雖然圖中示出了半導(dǎo)體工具站，但是本文描述的所公開實施例的方面可應(yīng)用于采用機器人操縱臂的任何工具站或應(yīng)用。在一個方面，處理設(shè)備100A、100B、100C、100D 被示出為具有集群工具布置(例如，具有連接到中心腔的襯底保持站)，而在其他方面，處理設(shè)備可以是線性布置的工具，但是所公開實施例的方面可應(yīng)用于任何合適的工具站。設(shè)備 100A、100B、100C、100D大體包括大氣前端101、至少一個真空裝載鎖102、102A、102B和真空后端103。至少一個真空裝載鎖102、102A、102B可以按任何合適的布置方式聯(lián)接到前端101 和/或后端103的任何合適的端口或開口。例如，在一個方面，一個或更多個裝載鎖102、 102A、102B可按并排布置方式被布置在公共的水平平面中，如在圖1B-1C中可見的。在其他方面，一個或更多個裝載鎖102、102A、102B可按網(wǎng)格樣式布置，使得至少兩個裝載鎖102A、 102B、102C、102D成行(例如，具有分隔開的水平平面)和成列(例如，具有分隔開的豎直平面)地布置，如圖1E所示。在其他方面，一個或更多個裝載鎖可以是單個直列裝載鎖102，如圖1A所示。在另一方面，至少一個裝載鎖102、102E可按層疊的直列布置方式布置，如圖1F所示。應(yīng)該理解，雖然裝載鎖被圖示在運輸腔125六、1258、125(:、1250的端10(^1或面10(^1上， 但在其他方面，一個或更多個裝載鎖可被布置在運輸腔125A、125B、125C、125D的任何數(shù)量的側(cè)100S1、100S2、端100E1、100E2或面100F1-100F8上。至少一個裝載鎖中的每個還可包括一個或更多個晶片/襯底安置平面WRP(圖1F)，其中，襯底被保持在相應(yīng)裝載鎖的合適的支撐件上。在其他方面，工具站可具有任何合適的配置。前端101、至少一個裝載鎖102、102A、 102B和后端103中的每個的部件可連接到控制器110,控制器110可以是任何控制構(gòu)造(諸如例如，集群構(gòu)造控制)的一部分?？刂葡到y(tǒng)可以是具有主控制器、集群控制器和自主遠(yuǎn)程控制器的閉環(huán)控制器，諸如2011年3月8日授權(quán)的名稱為“Scalable Mot1n Control System” 的美國專利第7,904,182號中公開的那些，該美國專利的全部內(nèi)容通過引用合并于此。在其他方面，可采用任何合適的控制器和/或控制系統(tǒng)。
[0008]在一個方面，前端101大體包括裝載端口模塊105和微環(huán)境106,諸如例如，裝備前端模塊(EFEM)。裝載端口模塊 105可以是Box Opener/Loader to Tool Standard(BOLTS)接口，其用于300mm裝載端口、前開口或底開口箱/隔艙和匣盒，符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)E15.1、E47.1、 E62、E19.5或El.9。在其他方面，裝載端口模塊可被配置成200mm晶片/襯底接口、450mm晶片/襯底接口或任何其他合適的襯底接口，諸如例如，更大或更小的半導(dǎo)體晶片/襯底、用于平板顯示器的平坦面板、太陽能面板、分劃板或任何其他合適的物體。雖然在圖1A-1D中示出了三個裝載端口模塊105,但在其他方面中，任何合適數(shù)量的裝載端口模塊可被合并到前端101中。裝載端口模塊105可被配置成從架空運輸系統(tǒng)、自動導(dǎo)引車、人導(dǎo)引車、軌導(dǎo)引車或根據(jù)任何其他合適的運輸方法接納襯底載具或匣盒C。裝載端口模塊105可通過裝載端口 107與微環(huán)境106接口。裝載端口 107可允許在襯底匣盒和微環(huán)境106之間的襯底通道。微環(huán)境106大體包括任何合適的傳送機器人108,機器人108可合并有本文描述的所公開實施例的一個或更多個方面。在一個方面，機器人108可以是軌道安裝式機器人，諸如例如1999年 12月14日授權(quán)的美國專利6，002，840,2013年4月16日授權(quán)的美國專利8,419,3417,和2010 年1月19日授權(quán)的美國專利7，648,327中描述的機器人，它們的全部公開內(nèi)容通過引用合并于此。在其他方面，機器人108可參照后端103基本類似于在此所描述。微環(huán)境106可以為多個裝載端口模塊之間的襯底傳送提供受控的清潔區(qū)。
[0009]至少一個真空裝載鎖102、102A、102B可位于微環(huán)境106和后端103之間并連接到它們。在其他方面，裝載端口 105可基本上直接地聯(lián)接到至少一個裝載鎖102、102A、102B或運輸腔125A、125B、125C、125D，在該處襯底載具C被向下栗送到運輸腔125A、125B、125C、125D 的真空，并且在襯底載具C和裝載鎖或運輸腔之間直接傳送襯底。在此方面，襯底載具C可用作裝載鎖，使得運輸腔的處理真空延伸到襯底載具C。如可認(rèn)識到的，在襯底載具C通過合適的裝載端口基本上直接地聯(lián)接到裝載鎖的情況下，任何合適的傳送設(shè)備都可被設(shè)置在裝載鎖內(nèi)，或能夠接近載具C，以便將襯底傳送到襯底載具C或從載具C傳送襯底。注意到的是，在此使用的用語真空可表示高度真空，諸如1(T5托或以下，在其中處理襯底。至少一個裝載鎖 102、102A、102B大體包括大氣和真空槽閥。裝載鎖102、102A、102B的(以及用于處理站130 的)槽閥可提供環(huán)境隔離，用于在從大氣前端裝載襯底之后排空裝載鎖并且當(dāng)用諸如氮氣的惰性氣體鎖使鎖排氣時維持運輸腔中的真空。如本文將描述的，處理設(shè)備l〇〇A、100B、 100C、100D的槽閥可位于同一平面中、不同的豎直層疊的平面中、或可以是位于同一平面中的閥槽以及位于不同的豎直層疊平面中的槽閥組合(如以上參照裝載端口的描述)，以適應(yīng)襯底去到和來自至少處理站130以及聯(lián)接到運輸腔125六、1258、125(:、1250的裝載鎖102、 102A、102B的傳送。至少一個裝載鎖102、102A、102B(和/或前端101)還可包括用于將襯底的基準(zhǔn)點對準(zhǔn)到期望的處理位置的對準(zhǔn)器或任何其他合適的襯底度量裝備。在其他方面，真空裝載鎖可位于處理設(shè)備的任何合適位置，并且具有任何合適的配置。
[0010]真空后端103大體包括運輸腔125六、1258、125(:、1250、一個或更多個處理站130和任何合適數(shù)量的傳送單元模塊104,模塊104包括一個或更多個傳送機器人，機器人可包括本文描述的所公開實施例的一個或更多個方面。運輸腔125六、1258、125(:、1250可具有任何合適的形狀和尺寸，例如遵循SEMI標(biāo)準(zhǔn)E72準(zhǔn)則。傳送單元模塊104及一個或更多個傳送機器人將在下面描述，并且可至少部分地位于運輸腔125六、1258、125(:、1250內(nèi)，以在裝載鎖 102、102A、102B(或位于裝載端口處的匣盒C)和各個處理站130之間運輸襯底。在一個方面， 傳送單元模塊104可作為模塊化單元從運輸腔125六、1258、125(:、12^)移除，使得傳送單元模塊104遵循SEMI標(biāo)準(zhǔn)E72指南。
[0011]處理站130可通過各種沉積、蝕刻或其他類型的工藝在襯底上進(jìn)行操作，以在襯底上形成電路和其他期望的結(jié)構(gòu)。典型的工藝包括但不限于利用真空的薄膜工藝(諸如等離子體蝕刻或其他蝕刻工藝)化學(xué)氣相沉積(CVD)、等離子體氣相沉積(PVD)、注入(諸如離子注入)、度量法(metrology)、快速熱處理(RTP)、干式剝離原子層沉積(dry strip atomic layer deposit1n)(ALD)、氧化/擴散、氮化物的形成、真空光刻、嘉晶(EPI)、打線接合以及蒸發(fā)或利用真空壓力的其他薄膜工藝。處理站130以任何合適的方式(諸如通過槽閥SV)可通信地連接到運輸腔125A、125B、125C、125D，以允許將襯底從運輸腔125傳遞到處理站130， 反之亦然。運輸腔125的槽閥SV可被布置成允許成雙處理站(例如，位于公共殼體內(nèi)的多于一個的襯底處理腔)或并排處理站130T1、130T2、單個處理站130S和/或?qū)盈B的處理模塊/裝載鎖的連接(圖1E和1F)。[〇〇12] 注意到的是，去到和來自處理站130、聯(lián)接到傳送腔125六、1258、125(:、1250的裝載鎖102、102A、102B(或匣盒C)的襯底傳送可發(fā)生在傳送單元模塊104的一個或更多個臂與預(yù)定處理站130對齊時。根據(jù)所公開實施例的方面，一個或更多個襯底可單獨地或基本同時地 (例如，諸如當(dāng)從并排或縱列處理站拾取/放置襯底時，如圖1B、1C和1D所示)被傳送到相應(yīng)的預(yù)定處理站130。在一個方面，傳送單元模塊104可被安裝在吊臂143(例如見圖1D)或線性載體144上，諸如2013年10月18日提交的名稱為“Processing Apparatus”的美國臨時專利申請第61/892,849號和2013年11月15日提交的名稱為“Processing Apparatus”的第61/ 904,908號，以及2013年2月11日提交的名稱為“Substrate Processing Apparatus”的國際專利申請PCT/US13/25513中描述的，這些申請的全部公開內(nèi)容通過引用合并于此。[〇〇13] 現(xiàn)在參照圖2A-2D，在一個方面，傳送單元模塊104包括至少一個驅(qū)動部段200、201 和至少一個傳送臂210、211、212、213。至少一個驅(qū)動部段200、201可包括公共驅(qū)動部段200， 部段200包括框架200F，框架200F容納Z軸驅(qū)動器270和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部段282中的一個或更多個。框架200F的內(nèi)部200FI可按任何合適的方式被密封，如下面將描述的。在一個方面，Z軸驅(qū)動器可以是任何合適的驅(qū)動器，被配置成沿Z軸移動至少一個傳送臂210、211、212、213。2 軸驅(qū)動器在圖2E中被圖示成螺紋型驅(qū)動器，但在其他方面，驅(qū)動器可以是任何合適的線性驅(qū)動器，諸如線性致動器、壓電電機等。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部段282可被配置成任何合適的驅(qū)動部段， 諸如例如，諧波驅(qū)動部段。例如，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部段282可包括任何合適數(shù)量的諧波驅(qū)動電機 280。在一個方面，圖2E所示的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部段282包括用于驅(qū)動軸280S的一個諧波驅(qū)動電機 280,但是在其他方面，驅(qū)動部段可包括任何合適數(shù)量的諧波驅(qū)動電機，其對應(yīng)于，例如，同軸驅(qū)動系統(tǒng)中任何合適數(shù)量的驅(qū)動軸。諧波驅(qū)動電機280可具有高容量輸出軸承，使得在傳送單元模塊104的期望旋轉(zhuǎn)T和延伸R移動期間，磁流體密封件276、277的部件片至少部分地被諧波驅(qū)動電機280以足夠的穩(wěn)定性和空隙集中和支撐。注意到的是，磁流體密封件276、 277可包括形成基本同中心的同軸的密封件的若干零件，如下面將描述的。在本例子中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部段282包括殼體281，其以與美國專利6，845，250; 5，899，658; 5，813，823和5，720， 590中描述的基本類似的方式容納驅(qū)動電機280,這些專利的全部公開內(nèi)容通過引用合并于此。磁流體密封件276、277的公差可被定為密封驅(qū)動軸組件中的每個驅(qū)動軸280S。注意到的是，驅(qū)動軸280S還可具有中空結(jié)構(gòu)(例如，具有沿驅(qū)動軸的中心縱向伸展的孔)，以允許線 290或任何其他合適的物品穿過驅(qū)動組件，以便連接到例如另一驅(qū)動部段(例如諸如驅(qū)動部段201)和/或被安裝到驅(qū)動器200的至少一個傳送臂210、211、212、213。[〇〇14]在一個方面，殼體281可被安裝到聯(lián)接到Z軸驅(qū)動器270上的載體270C，使得Z軸驅(qū)動器沿Z軸移動載體(和位于其上的殼體281)。如可認(rèn)識到的，為了密封受控的大氣，其中至少一個傳送臂21〇、211、212、213從驅(qū)動器2〇〇(其可在大氣壓41￥環(huán)境中操作)內(nèi)部操作，可包括一個或更多個上述磁流體密封件276、277和波紋管密封件275。波紋管密封件275的一端可聯(lián)接到載體270C并且另一端聯(lián)接到框架200FI的任何合適部分，使得框架200F的內(nèi)部 200FI與至少一個傳送臂210、211、212、213在其中操作的受控大氣隔離開。[〇〇15]在此方面，驅(qū)動軸280S可聯(lián)接到驅(qū)動部段201，以便沿箭頭T方向圍繞公共軸線CAX 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部段201，軸線CAX可是至少一個傳送臂210、211、212、213中的每個所公共的。這里，驅(qū)動部段201可包括基底構(gòu)件250和至少一個驅(qū)動部分251、252。在此方面，有兩個驅(qū)動部分251、252,但在其他方面，可設(shè)置任何合適數(shù)量的驅(qū)動部分?；讟?gòu)件250包括形成內(nèi)腔 250P的框架。每個驅(qū)動部分251、252還包括形成內(nèi)腔300?的框架251?、252?，內(nèi)腔300?與基底構(gòu)件250的內(nèi)腔250P密封地連通。如可認(rèn)識到的，每個驅(qū)動部分251、252可包括可被例如任何合適的蓋250C密封的任何合適的接近開口。如在圖2B中可見的，基底構(gòu)件250可包括第一和第二端，使得驅(qū)動部分251、252密封地聯(lián)接到所述端中的相應(yīng)一個。驅(qū)動部分可相對于彼此以任何合適的角0被布置，使得安裝在其上的臂的延伸/收縮軸線能夠延伸通過在其中放置有臂的傳送腔125六、1258、125(:、1250的端口。例如，在一個方面，角|3(其可對應(yīng)于驅(qū)動部分251、252的延伸/收縮軸線之間的角)可基本相同于或等于傳送腔125A的面100Fl-l00F8的角a(圖lA)。在其他方面，角￠可為約0，使得驅(qū)動部分(和安裝在其上的臂)的延伸/ 收縮軸線彼此基本平行，以便延伸通過例如傳送腔125B(圖1B)、125C(圖1C)、12?(圖1D)的并排端口。在其他方面，角0可以是可調(diào)整的(手動的或通過自動操作，如下面將描述的)，使得驅(qū)動部分251、252的延伸/收縮軸線可相對于彼此具有任何合適的角0。例如，可在角度0 和0之間調(diào)整角0，用于延伸通過傳送腔125C(圖1C)的端口和/或用于自動工件對中，如下面將描述的。在其他方面，角0和/或驅(qū)動部分之間的間隔可以是固定的，使得傳送單元模塊 104的臂可，通過公共驅(qū)動軸線CAX的旋轉(zhuǎn)和每個驅(qū)動部分251、252的獨立延伸或操作，延伸通過具有成角度的面的傳送模塊的端口?；讟?gòu)件250可具有任何合適的長度L1，使得每個驅(qū)動部分251、252的延伸和收縮軸線R1、R1分開固定距離，其中固定距離可對應(yīng)于或以其他方式匹配系統(tǒng)工具配置所施加的要求(例如，傳送單元模塊104位于其中的模塊的端口之間的距離)。[〇〇16] 此外參照圖3A-3G，將參照驅(qū)動部分251描述驅(qū)動部分251、252。應(yīng)該理解，驅(qū)動部分252可基本類似于驅(qū)動部分251。如上所示，驅(qū)動部分251包括框架251F，框架251F可由以任何合適的方式彼此密封地聯(lián)接的第一框架構(gòu)件251F1和第二框架構(gòu)件251F2構(gòu)成。在其他方面，框架可具有任何合適的配置并且由任何數(shù)量的框架構(gòu)件組成?？蚣?51F可包括被配置成用于以任何合適的方式將框架251F安裝到基底構(gòu)件250上的孔口或開口 251M，使得驅(qū)動部分251的內(nèi)腔300P與基底構(gòu)件250的內(nèi)腔250P密封地連通，使得內(nèi)腔250P、300P和驅(qū)動部段200的殼體281的內(nèi)部之間分享公共的大氣環(huán)境。在此方面，驅(qū)動部分251可被配置成支撐和驅(qū)動兩個傳送臂212、213,但在其他方面，驅(qū)動部分251可被配置成支撐和驅(qū)動任何合適數(shù)量的傳送臂。驅(qū)動部分251可包括第一線性軌或滑動裝置310A、310B(總稱線性軌或滑動裝置310)和第二線性軌或滑動裝置311A、311B(總稱線性軌或滑動裝置311)，它們被配置成限定延伸和收縮每個相應(yīng)的傳送臂212、213的獨立驅(qū)動軸線的自由度。在此方面，驅(qū)動部分包括第一驅(qū)動電機320和第二驅(qū)動電機321，其用于通過例如帶和皮帶輪驅(qū)動傳動裝置驅(qū)動相應(yīng)臂212、213。雖然電機被圖示為旋轉(zhuǎn)電機，但在其他方面，可使用任何合適的電機和/ 或合適的驅(qū)動傳動裝置，諸如例如，直接驅(qū)動式線性電機、線性壓電電機、線性電感電機、線性同步電機、有刷或無刷線性電機、線性步進(jìn)電機、線性伺服電機、磁阻電機等。2011年10月 31 日提交的名稱為“Linear Vacuum Robot with Z Mot1n and Articulated Arm”的美國專利申請第13/286,186號；2011年6月13體提交的名稱為“Substrate Processing Apparatus”的 13/159,034;以及2011 年3月8日授權(quán)的名稱為“Apparatus and Methods for Transporting and Processing Substrates”的美國專利第7,901,539號；2012年 10月23日授權(quán)的名稱為 “Apparatus and Methods for Transporting and Processing Substrates” 的8,293,066;2013年4月16 日授權(quán)的名稱為“Linear Vacuum Robot with Z Mot1n and Articulated Arm” 的8,419,341;2009年8月18 日授權(quán)的名稱為“Substrate Processing Apparatus” 的7,575,406;以及2011 年6 月 14 日授權(quán)的名稱為 “Substrate Processing Apparatus”的7,959,395中描述了合適的線性電機的例子，它們的全部公開內(nèi)容通過引用合并于此。[〇〇17]第一和第二驅(qū)動電機320、321可以是基本類似于驅(qū)動電機280的諧波驅(qū)動器，但在其他方面，驅(qū)動電機320、321可以是任何合適的驅(qū)動電機。每個驅(qū)動電機320、321可具有相應(yīng)的密封件320S、321S，諸如用于密封框架251中的孔口的磁流體密封件，電機320、321的驅(qū)動軸370延伸通過該孔口，以便以任何合適的方式聯(lián)接到相應(yīng)的驅(qū)動皮帶輪332B、333A。驅(qū)動皮帶輪332B、333A可以以任何合適的方式，諸如通過一個或更多個帶，聯(lián)接到相應(yīng)的從動皮帶輪332A、333B。例如，驅(qū)動皮帶輪332B可通過帶330A、330B聯(lián)接到從動皮帶輪332A。驅(qū)動皮帶輪333A可通過帶331A、333B聯(lián)接到從動皮帶輪333B。帶33(^、33(?、3314、3318可以是任何合適的帶，諸如例如，2013年8月26日提交的名稱為“Substrate Transport Apparatus” 的美國臨時專利申請第61/869,870號中描述的那些，該申請的全部公開內(nèi)容通過引用合并于此。如可認(rèn)識到的，本文描述的驅(qū)動軸可以具有任何合適的編碼器，諸如編碼器371、296、 371用于檢測相應(yīng)的驅(qū)動電機的位置并將一個或更多個信號發(fā)送到任何合適的控制器，諸如例如，用于控制傳送單元模塊104的控制器110。如也可認(rèn)識到的，基底構(gòu)件250和驅(qū)動部分251、252的密封內(nèi)部允許每個驅(qū)動部分251、252的驅(qū)動電機320、321位于與傳送臂210-213在其中操作的環(huán)境分離或以其他方式與之密封的大氣環(huán)境中?；讟?gòu)件250和驅(qū)動部分 25U252的密封內(nèi)部還可允許線或軟管從驅(qū)動部段200按路徑來到驅(qū)動部段201。
[0018] 再次參照圖2A-2D和4A-4B，將參照根據(jù)所公開實施例的方面的驅(qū)動部分252描述傳送臂210-213。在此方面，傳送臂210-213具有可伸縮配置，但在其他實施例中，傳送臂 210-213可具有任何合適的配置。同樣在此方面，每個驅(qū)動部分251、252包括兩個可伸縮臂 210-213，但在其他實施例中，可在每個驅(qū)動部分251、252上設(shè)置任何合適數(shù)量的傳送臂。在此方面，每個傳送臂210-213包括基底構(gòu)件210B、211B和可移動地聯(lián)接到相應(yīng)基底構(gòu)件 210B、211B的末端執(zhí)行器210E、211E。每個基底構(gòu)件210B、211B可具有內(nèi)部，該內(nèi)部中可放置任何合適傳動裝置用于沿延伸/收縮軸線驅(qū)動末端執(zhí)行器?；讟?gòu)件的內(nèi)部可暴露于傳送臂在其中操作的環(huán)境，但可包括任何合適的密封件，諸如迷宮密封件，用于防止任何微粒進(jìn)入環(huán)境或接觸在環(huán)境中運輸?shù)墓ぜＷ⒁獾降氖?，本文描述的每個末端執(zhí)行器包括末端執(zhí)行器安置平面SP(圖2D)，襯底在被末端執(zhí)行器保持時位于該平面中。基底構(gòu)件210B可以通過線性軌310A、310B可移動地聯(lián)接到驅(qū)動部分252,從而可相對于驅(qū)動部分252移動?；讟?gòu)件211B可以通過線性軌311A、311B可移動地聯(lián)接到驅(qū)動部分252,從而可相對于驅(qū)動部分 252移動。每個臂210、211具有由相應(yīng)的軌限定的自由度，使得由線性軌限定的每個傳送臂 210和211的自由度彼此平行(例如，末端執(zhí)行器的傳送平面一個位于另一個的上方)。如可認(rèn)識到的，傳送臂212、213具有類似的平行自由度。如還可認(rèn)識到的，臂211的由線性軌限定的自由度可與傳送臂212的由線性軌限定的自由度共面(例如，每個傳送臂211、212的末端執(zhí)行器位于相同平面中)，而臂210的由線性軌限定的自由度可與傳送臂213的由線性軌限定的自由度共面(例如，每個傳送臂210、213的末端執(zhí)行器位于同一平面中)。[〇〇19]基底構(gòu)件210B、211B可并排放置在驅(qū)動部分252上，使得基底構(gòu)件210B聯(lián)接到帶 330A、330B中的至少一個，使得當(dāng)帶330A、330B被電機320驅(qū)動時，基底構(gòu)件210B與帶330A、 330B中的至少一個一起沿延伸/收縮方向R移動?；讟?gòu)件211B聯(lián)接到帶331A、331B中的至少一個，使得當(dāng)帶331A、331B被電機321驅(qū)動時，基底構(gòu)件211B與帶331A、331B中的至少一個一起沿延伸/收縮方向R移動。在其他方面，基底構(gòu)件可相對于彼此具有任何合適的空間布置。
[0020]基底構(gòu)件210B可包括至少部分地位于基底構(gòu)件的內(nèi)部內(nèi)的線性軌或滑動裝置 410A、410B，末端執(zhí)行器210E可移動地安裝到基底構(gòu)件，用于與基底構(gòu)件210B和驅(qū)動部分 252的相對旋轉(zhuǎn)。皮帶輪410、411、420、421可以可旋轉(zhuǎn)地被安裝在相應(yīng)基底構(gòu)件2108、2118 的內(nèi)部內(nèi)的端處或任何其他合適的位置處。一個或更多個帶(類似于上述帶)、單個連續(xù)環(huán)帶/皮帶或任何其他合適的傳動構(gòu)件412、422可將皮帶輪410、411、420、421中相應(yīng)的皮帶輪聯(lián)接到彼此。在一個方面，每個傳動構(gòu)件412、422可以驅(qū)動部分252的框架252F為基礎(chǔ)，使得基底構(gòu)件210B、211B和框架252F之間的相對移動驅(qū)動相應(yīng)的傳動構(gòu)件412、422。末端執(zhí)行器 211E可聯(lián)接到傳動構(gòu)件412,使得當(dāng)基底構(gòu)件211B沿箭頭R方向移動時，末端執(zhí)行器也沿箭頭R方向相對于基底構(gòu)件211B以由例如皮帶輪410、411限定的任何合適的傳動比移動。類似地，末端執(zhí)行器210E可聯(lián)接到傳動構(gòu)件412,使得當(dāng)基底構(gòu)件210B沿箭頭R方向移動時，末端執(zhí)行器也沿箭頭R方向相對于基底構(gòu)件210B以由例如皮帶輪420、421限定的任何合適的傳動比移動。如可認(rèn)識到的，橋構(gòu)件400可被設(shè)置在末端執(zhí)行器中的一個上，諸如末端執(zhí)行器 211E、212E，使得末端執(zhí)行器211E、212E可位于相應(yīng)的驅(qū)動部分251、252的另一末端執(zhí)行器 210E、213E上方，同時允許末端執(zhí)行器在彼此之上/之下通過。
[0021]如上所示，僅為了示范起見，本文描述的傳送臂被圖示為可伸縮臂(或滑動臂，如下所述)。但是，在其他方面，傳送臂可以是任何合適的傳送臂，諸如，用于線性滑動臂214， 如圖2G所示。在其他方面，臂可以是SCARA臂215(圖2H)或具有任何合適的臂聯(lián)動機構(gòu)的其他合適臂。在例如2009年8月25日授權(quán)的美國專利第7，578,649,1998年8月18日授權(quán)的5， 794，487，2011 年5月24 日授權(quán)的7，946，800，2002年11 月 26 日授權(quán)的6，485，250，2011年2月 22日授權(quán)的7,891，935,2013年4月16日授權(quán)的8,419,341，以及2011年11月10日提交的名稱為“Dual Arm Robot”美國專利申請第13/293,717號和2013年9月5日提交的名稱為“Linear Vacuum Robot with Z Mot1n and Articulated Arm” 的 13/861,693號中可找到臂聯(lián)動機構(gòu)的合適例子，它們的全部公開內(nèi)容通過引用合并于此。在所公開實施例的方面，至少一個傳送臂源自常規(guī)SCARA(選擇順應(yīng)關(guān)節(jié)型機器人臂)型設(shè)計，其包括上臂、帶驅(qū)動的前臂和帶限制的末端執(zhí)行器，或源自可伸縮臂或任何其他合適的臂設(shè)計。在例如2008年5月8日提交的名稱為“Substrate Transport Apparatus with Multiple Movable Arms Utilizing a Mechanical Switch Mechanism”的美國專利申請第12/117,415號以及2010年1月19日授權(quán)的美國專利第7,648,327號中可找到傳送臂的合適例子，它們的全部公開內(nèi)容通過引用合并于此。傳送臂的操作可彼此獨立(例如，每個臂的延伸/收縮與其他臂相獨立)，可通過空轉(zhuǎn)開關(guān)操作，或者可以以任何合適的方式可操作地連接，使得臂分享至少一個公共驅(qū)動軸線。在其他方面，運輸臂可具有任何其他期望的布置，諸如蛙腿臂(frog-leg arm)216(圖 2F)配置、蛙跳臂(leap frog arm)217(圖2J)配置、兩側(cè)對稱臂218(圖21)配置等。在2001年 5月15日授權(quán)的美國專利第6，231，297號，1993年1月19日授權(quán)的5，180，276，2002年10月15 日授權(quán)的6,464,448,2001年5月1日授權(quán)的6,224,319，1995年9月5日授權(quán)的5,447,409， 2009年8月25日授權(quán)的7，578，649，1998年8月18日授權(quán)的5，794，487，2011年5月24日授權(quán)的 7,946,800,2002年11 月22 日授權(quán)的6,485,250,2011年2月22 日授權(quán)的7,891,935,以及2011 年11月10日提交的名稱為“Dual Arm Robot”的美國專利申請第13/293,717號和2011年10 月11日提交的名稱為“Coaxial Drive Vacuum Robot”的13/270,844中可找到運輸臂的合適例子，它們的全部公開內(nèi)容通過引用合并于此。[〇〇22]現(xiàn)在參照圖5A-5E，根據(jù)所公開實施例的方面圖示運輸單元模塊104A。運輸單元模塊104A基本上類似于所描述的運輸單元模塊104,并且包括驅(qū)動部段200、201’。這里，驅(qū)動部段201’包括具有形成內(nèi)腔551的框架550F的基底構(gòu)件550。在一個方面，內(nèi)腔551可包括可拆卸蓋550C和任何合適的密封構(gòu)件550CS，用于在蓋550C與框架550F匹配時密封蓋550C和框架550F之間的分界處。內(nèi)腔可以以與上述方式基本類似的方式與驅(qū)動部段200的內(nèi)部連通。在此方面，驅(qū)動部分251、252可以以任何合適的方式被可移動地安裝到驅(qū)動部段201’的基底構(gòu)件550,以為驅(qū)動部分251、252的臂提供相對于臂的延伸/收縮軸線R成角度的自由度。[〇〇23]在一個方面，驅(qū)動部段可包括用于可移動地支撐驅(qū)動部段251、252中的相應(yīng)一個的波紋管或密封支撐構(gòu)件560、561。每個波紋管構(gòu)件560、561可包括支座構(gòu)件560S、561S，其以任何合適的方式，諸如通過波紋管密封件560B、561B，可移動地連接到安裝構(gòu)件560M、 561M。安裝構(gòu)件560M、561M被配置成用于以任何合適的方式聯(lián)接到框架550F，使得支座構(gòu)件 560S、561S通過相應(yīng)的孔口或開口 575A、575B至少部分地插入內(nèi)腔551。在一個方面，任何合適的密封構(gòu)件565A、565B可位于安裝構(gòu)件560M、561M和框架550F之間，用于維持內(nèi)腔551內(nèi)的密封環(huán)境。在一個方面，波紋管密封件560B、561B可由任何合適的材料構(gòu)成并具有任何合適的配置，以為支座構(gòu)件560S、561S提供軸向支撐，例如沿X和Z方向的軸向支撐。在其他方面，支座構(gòu)件560S、561S可以以任何合適的方式被軸向地支撐，諸如通過至少部分地位于內(nèi)腔551內(nèi)并且相對于臂在其中操作的環(huán)境密封的線性軌、襯套、軸承等。例如，框架550F可包括位于內(nèi)腔551內(nèi)的一個或更多個線性軌588A、588B(圖5E)。每個支座構(gòu)件560S、561S可被固定地安裝到或包括一個或更多個軌導(dǎo)引構(gòu)件6111、6112、610、6114，軌導(dǎo)引構(gòu)件被配置成使得支座構(gòu)件560S、561S可沿線性軌在箭頭599的方向上移動并且在X和Z方向上被線性軌 588A、588B 支撐。[〇〇24] 每個支座構(gòu)件560S、561S包括接口 566A、566B，接口被配置成以任何合適的方式將支座構(gòu)件560S、561S與相應(yīng)的驅(qū)動部分251、252聯(lián)接，使得支座構(gòu)件5603、5613的內(nèi)部通道 IP促進(jìn)內(nèi)腔551和相應(yīng)驅(qū)動部分251、252的內(nèi)腔300P之間的大氣連通，同時允許例如線、軟管等在基底構(gòu)件550和相應(yīng)的驅(qū)動部分251、252之間的通道。如可認(rèn)識到的，任何合適的索系或保持構(gòu)件597可被設(shè)置在內(nèi)腔551內(nèi)，用于保持或以其他方式固定穿過支座構(gòu)件560S、 561S的內(nèi)部通道IP的任何線、軟管等的移動側(cè)。在一個方面，任何合適的密封構(gòu)件566S可位于接口566A、566B和相應(yīng)的框架251F、252F之間，使得內(nèi)腔551、300P的內(nèi)部大氣可相對于傳送臂在其中操作的環(huán)境被密封。[〇〇25] 每個支座構(gòu)件560S、561S可包括軸部分5603?、5613?，軸部分形成內(nèi)部通道1?并延伸通過孔口 575A、575B，至少部分地進(jìn)入基底構(gòu)件550的內(nèi)腔551。一個或更多個驅(qū)動器510、 520可以以任何合適的方式位于基底構(gòu)件550內(nèi)，用于給予至少一個支座構(gòu)件560S、561S和聯(lián)接到其上的驅(qū)動部分251、252線性運動(例如，在箭頭599的方向上沿Y軸)。如可認(rèn)識到的，驅(qū)動部分251、252在箭頭599方向上的移動還提供被安裝到驅(qū)動部分251、252上的傳送臂210-213的移動。在一個方面，驅(qū)動器510、520可以是任何合適的線性驅(qū)動器，諸如滾珠絲杠驅(qū)動器，其具有電機510M、520M、由所述電機驅(qū)動的滾珠絲杠510S、520S以及沿著滾珠絲杠運動的滾珠螺母。滾珠螺母可一體形成到或以其他方式聯(lián)接到滾珠螺母適配器或聯(lián)接器 510C、520C。聯(lián)接器510C、520C固定連接到相應(yīng)的支座構(gòu)件560S、561S，并包括用于接合滾珠絲杠的滾珠螺母，使得支座構(gòu)件560S、561S聯(lián)接到相應(yīng)的驅(qū)動器510、520。在一個方面，聯(lián)接器510C、520C聯(lián)接到，例如相應(yīng)的支座構(gòu)件560S、561S的一個或更多個軌導(dǎo)引構(gòu)件GM1-GM4， 而在其他方面，聯(lián)接器510C、520C可基本直接地聯(lián)接到或一體形成到相應(yīng)的支座構(gòu)件560S、 561S的軸部分560SP、561SP。這里，每個驅(qū)動器510、520的驅(qū)動軸線被布置成基本上沿Y軸 (例如，基本上平行于支座構(gòu)件560S、561S的移動方向599)，使得當(dāng)滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)時，聯(lián)接器 510C、520C沿滾珠絲杠在箭頭599的方向上移動，在箭頭599的方向上移動相應(yīng)的支座構(gòu)件 560S、561S。雖然驅(qū)動器510、520被圖示為線性滾珠絲杠驅(qū)動器，但在其他方面，驅(qū)動器可以是直接驅(qū)動式線性電機、線性壓電電機、線性電感電機、線性同步電機、有刷或無刷線性電機、線性步進(jìn)電機、線性伺服電機、磁阻電機或任何其他合適的線性驅(qū)動器。在其他方面，旋轉(zhuǎn)電機可被提供用于通過任何合適的傳動構(gòu)件在箭頭599的方向上驅(qū)動支座構(gòu)件560S、 561S(及位于其上的臂)。[〇〇26] 雖然驅(qū)動部段201’在圖5A-5E中被圖示為具有兩個線性驅(qū)動器510、520,用于沿Y 軸在箭頭599的方向上使傳送臂210-213相對于彼此移動和/或相對于基底構(gòu)件550移動，但在其他方面，驅(qū)動部段201’可配置有一個線性驅(qū)動器，使得僅一個驅(qū)動部分251、252可沿Y 軸相對于基底構(gòu)件550和/或其他驅(qū)動部分251、252移動。如可認(rèn)識到的，一個或更多個驅(qū)動部分251、252的移動用于改變驅(qū)動部分251、252的延伸/收縮軸線1?1、1?2之間的距離0、或相應(yīng)的延伸/收縮軸線R1、R2和公共旋轉(zhuǎn)軸線CAX之間的距離D1、D2。當(dāng)傳送臂210-213將工件拾取或放置到處理站130時，一個或更多個延伸/收縮軸線R1、R2的移置可允許自動的工件對中和/或獨立的工件放置調(diào)整，以便例如傳送模塊125六、1258、125(:、12^)的面之間的工件保持站的位置改變。例如，參照圖1B，驅(qū)動部段200可旋轉(zhuǎn)基底構(gòu)件550，使得延伸/收縮軸線 R1、R2面向處理站130T1、130T2。延伸/收縮軸線R1、R2中的一個或更多個可在箭頭599的方向上沿Y軸被移置，用于根據(jù)任何合適的自動工件對中程序或算法，使延伸/收縮軸線與處理站130T1、130T2中的一個或更多個內(nèi)的工件保持站對齊。例如，一個或更多個傳感器 123A、123B可與相應(yīng)的處理站130T1、130T2相鄰放置，用于檢測運載工件的臂210-213的一個或更多個特征。一個或更多個傳感器123A、13B可將任何合適的信號發(fā)送到，例如，任何合適的控制器，諸如控制器110，用于確定工件S的中心?？刂破?10可控制運輸單元模塊104A 的一個或更多個驅(qū)動器，使得相應(yīng)延伸/收縮軸線R1、R2被移置，從而使得工件S的中心與處理站130T1、130T2內(nèi)的工件保持站的預(yù)定位置對齊。在一個方面，延伸/收縮軸線都可被移置，用于自動的工件對中和/或獨立的工件放置調(diào)整，以便例如傳送模塊125A、125B、125C、 125D的面之間的工件保持站的位置改變。在另一方面，線性電機520可操作以移動驅(qū)動部分 251，使得僅移置延伸/收縮軸線R1，從而使得工件S的中心與處理站130T1內(nèi)的工件保持站的預(yù)定位置對齊。在另一方面，線性電機510可操作以移動驅(qū)動部分252,使得僅延伸/收縮軸線R2與處理站130T2內(nèi)的工件保持站對齊?？稍诶?012年9月14提交的名稱為“Wafer Center Finding with Kalman Filter”的美國專利申請第13/617,333號以及2011 年4月12 日授權(quán)的名稱為“Process Apparatus with On-The-Fly Workpiece Centering”的美國專利第7,925,378號；2010年 12月28日授權(quán)的名稱為“Wafer Center Finding with Charge-Coupled Devices” 的7,859,685;2012年9月18 日授權(quán)的名稱為“Wafer Center Finding with a Kalman Filter” 的8,270,702;2010年9月7 日授權(quán)的名稱為 “Wafer Center Finding” 的7，792，350; 2011年2月22 日授權(quán)的名稱為 “Wafer Center Finding” 的7，894， 657;2012年2月28 日授權(quán)的名稱為“Wafer Center Finding with Charge-Coupled Devices” 的8,125,652;以及2012年8月28 日授權(quán)的名稱為“Wafer Center Finding with Charge-Coupled Devices”的8,253,945可找到自動工件對中的合適例子，它們的全部公開內(nèi)容通過引用合并于此。如可認(rèn)識到的，一個或更多個編碼器510E、520E基本上類似于上述那些，可用于檢測驅(qū)動電機510、520的位置和/或臂210-213(及其上保持的工件)沿Y軸的移置，以便實現(xiàn)自動工件對中和/或獨立的工件放置調(diào)整，以便面之間的工件保持站的位置改變。[〇〇27]現(xiàn)在參照圖6A和6B，根據(jù)所公開實施例的方面，圖示了傳送單元模塊104B。傳送單元模塊104B可基本上類似于上述傳送單元模塊104A。在此方面，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部分600、601以與以上參照驅(qū)動部分251、252描述的方式類似的方式聯(lián)接到波紋管構(gòu)件560、561。一個或更多個合適的傳送臂605、606(諸如以上參照圖2F-2J描述的那些或能夠被旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動的任何其他合適的傳送臂)可以以任何合適的方式被驅(qū)動地安裝到每個旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部分600、601。在此方面，每個旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部分600、601包括框架或殼體600F、601F、以任何合適的方式被安裝到框架或殼體600F、601F的第一驅(qū)動電機610和第二驅(qū)動電機620。電機布置方式可以是如圖所示的同軸電機布置方式，或者在其他方面，電機可以并排布置。驅(qū)動電機可以是任何合適的電機，諸如例如，壓電電機、電感電機、同步電機、有刷或無刷電機、線性步進(jìn)電機、伺服電機、磁阻電機、諧波驅(qū)動電機等。第一電機610可包括定子610S和轉(zhuǎn)子610R。第二電機620 可包括定子620S和轉(zhuǎn)子620R。在此方面，同軸驅(qū)動軸組件645以任何合適的方式被可旋轉(zhuǎn)地支撐并至少部分地在框架600F、601F內(nèi)，通過諸如例如，基本無接觸(例如，諸如利用自軸承電機)或利用任何合適的軸承。同軸驅(qū)動軸組件645包括外驅(qū)動軸640和內(nèi)驅(qū)動軸650。轉(zhuǎn)子 610R可以以任何合適的方式聯(lián)接到外驅(qū)動軸640,使得當(dāng)轉(zhuǎn)子610R旋轉(zhuǎn)時，驅(qū)動軸640與它一起旋轉(zhuǎn)。在其他方面，任何合適數(shù)量的驅(qū)動電機可被設(shè)置在每個旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部分600、601 中，用于驅(qū)動任何合適數(shù)量的驅(qū)動軸。在一個方面，轉(zhuǎn)子610R、620R和驅(qū)動軸組件645可位于傳送臂605、606在其中操作的環(huán)境內(nèi)。任何合適的密封件660,諸如罐密封件(can seal)，可位于定子610S、620S和它們相應(yīng)的轉(zhuǎn)子610R、620R之間，使得定子相對于傳送臂605、606在其中操作的環(huán)境被隔離或密封，并且位于驅(qū)動部段200的內(nèi)部和基底構(gòu)件550公共的大氣環(huán)境內(nèi)。在其他方面，一個或更多個磁流體密封件可被設(shè)置在每個驅(qū)動軸640、650周圍，用于相對于傳送臂605、606在其中操作的環(huán)境密封轉(zhuǎn)子2101?、2201?和定子6103、6203。在例如 2011年10月11日提交的名稱為“Coaxial Drive Vacuum Robot”的美國專利申請第13/270， 844號；2012年10月5 日提交的名稱為 “Robot Drive with Magnetic Spindle Bearings” 的 13/646,282;以及 1998年2月24日授權(quán)的名稱為“Articulated Arm Transfer Device”的美國專利第5,720,590號；1999年5月4日授權(quán)的名稱為“Articulated Arm Transfer Device” 的5,899,658;1998年9月29 日授權(quán)的名稱為“Articulated Arm Transfer Device” 的5， 813,823;以及2012年 10月9 日授權(quán)的名稱為“Robot Drive with Magnetic Spindle Bearings”的8,283,813中可找到旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部分的合適例子，它們的全部公開內(nèi)容通過引用合并于此。在其他方面，驅(qū)動部分600、601中的一個或更多個(或本文描述的其他驅(qū)動部分 251、252、251’、252’、850、851中的任何驅(qū)動部分)還可包括Z軸驅(qū)動器600Z、601Z，Z軸驅(qū)動器被配置成相對于另一個驅(qū)動部分600、601的臂移動附接在其上的臂中的一個或更多個。 [〇〇28]現(xiàn)在參照圖7A-7C，根據(jù)所公開實施例的方面，圖示了傳送單元模塊104C。傳送單元模塊104C可基本上類似于上述傳送單元模塊104。在此方面，驅(qū)動部分251’、252’可包括具有皮帶輪的驅(qū)動系統(tǒng)，皮帶輪與末端執(zhí)行器210E-213E的安置平面基本平行，同時用于每個臂210-213的驅(qū)動電機320、321位于基底構(gòu)件201’內(nèi)。將參照圖7A描述驅(qū)動部分251’，但是應(yīng)該理解，驅(qū)動部分252’基本上類似于驅(qū)動部分251’。驅(qū)動部分251’包括可具有任何合適的尺寸、形狀和/或配置的框架251F’。雖然為了示范起見框架251F’被圖示為平板，但是在其他方面，框架251F’可包括用于容納驅(qū)動傳送系統(tǒng)的任何合適的蓋，使得蓋被配置成基本上防止驅(qū)動傳動裝置產(chǎn)生的任何微粒進(jìn)入臂在其中操作的環(huán)境?？蚣?51F’可包括任何合適的軌或?qū)б龢?gòu)件，其類似于以上描述的那些參照傳送單元模塊104、104A，其上可移動地安裝有相應(yīng)的基底構(gòu)件210B、211B。每個驅(qū)動電機320、321可包括聯(lián)接到相應(yīng)的驅(qū)動皮帶輪733A、733B的驅(qū)動軸，用于驅(qū)動相應(yīng)的皮帶或帶740、741，其可基本上類似于上述那些。如可認(rèn)識到的，任何合適的惰輪7344、7348、735六、7358可被設(shè)置和安裝到框架251?’，用于引導(dǎo)與相應(yīng)的基底構(gòu)件210B、211B相鄰的皮帶或帶740、741，使得皮帶或帶可被固定地聯(lián)接或錨固到基底構(gòu)件，用于以上述方式驅(qū)動相應(yīng)的臂210、211。如還可認(rèn)識到的，基底構(gòu)件201’ 可被合適地密封，諸如利用蓋250C，使得電機位于與驅(qū)動部段200公共的大氣環(huán)境中。雖然在圖7A中兩個驅(qū)動部分被示出為被安裝到基底構(gòu)件201’，但在其他方面，多于或少于兩個的驅(qū)動部分可被安裝到基底構(gòu)件201’。例如，圖7C圖示被安裝到基底部分201’上的有兩個臂的單個驅(qū)動部分。如可認(rèn)識到的，圖7C所示的單個驅(qū)動部分可以是與以上描述的類似的三軸線驅(qū)動器。在一個方面，三軸線驅(qū)動器的一個驅(qū)動軸線可聯(lián)接到皮帶輪，用于驅(qū)動臂 210的延伸/收縮，三軸線驅(qū)動器的一個軸線可聯(lián)接到框架251F’，用于旋轉(zhuǎn)作為一個單元的旋轉(zhuǎn)臂210、211，并且三軸線驅(qū)動器的一個軸線可聯(lián)接到皮帶輪，用于驅(qū)動臂211的延伸/收縮。[〇〇29] 現(xiàn)在參照圖8A-9D，根據(jù)所公開實施例的方面，圖示了傳送單元模塊104D。傳送單元模塊104D可基本上類似于上述傳送單元模塊104。在此方面，驅(qū)動部分800、801配置有單級線性滑動臂810-813。在此方面，每個驅(qū)動部分800、801包括具有密封的電機部段860和傳動部段853的框架851、852。將參照驅(qū)動部分801描述驅(qū)動部分800、801，但是應(yīng)該理解，驅(qū)動部分800基本上類似于如圖8A所示的并且可能與之成鏡像。密封的電機部段860可包括被固定地安裝到框架851并且被配置成容納電機320、321的殼體或蓋851C1?？衫萌魏魏线m的密封構(gòu)件860S將殼體851C1密封到框架，使得電機320、321位于與驅(qū)動部段200內(nèi)的大氣環(huán)境公共的大氣環(huán)境內(nèi)。以與上述方式基本類似的方式，殼體851C1可包括孔口或開口 851M， 其被配置成以任何合適的方式將殼體851C1安裝到密封的支撐構(gòu)件560,諸如上述的。如可認(rèn)識到的，殼體851C1可由任何合適的材料構(gòu)成，并且被配置成支撐(例如，當(dāng)聯(lián)接到密封的支撐構(gòu)件560時)框架851、驅(qū)動部件、臂812、813以及由臂812、813運載的任何工件。電機 320、321可以以任何合適的方式被安裝到框架251，使得，例如，相應(yīng)電機320、321的磁流體密封件320S密封框架851中的相應(yīng)開口 973、974，驅(qū)動軸370延伸通過該開口，以便維持密封的電機部段860內(nèi)的密封大氣。
[0030] 一個或更多個線性軌或?qū)б龢?gòu)件930、931可以以任何合適的方式被安裝到傳動部段853內(nèi)的框架851，從而限定至少一個臂812、813的獨立驅(qū)動軸線的自由度。在此方面，有兩個導(dǎo)軌930、931沿X軸或臂812、813的延伸/收縮軸線R放置，但是在其他方面，任何合適數(shù)量的軌可被設(shè)置用于導(dǎo)引任何合適數(shù)量的臂。載具或臂支撐件940、941可被安裝到相應(yīng)的軌，從而被軌支撐并且可沿X軸(例如，沿延伸/收縮軸線R)移動。在此方面，載具940被可移動地安裝到導(dǎo)軌930,并且載具941被可移動地安裝到導(dǎo)軌931。每個載具可包括臂安裝部分 940M、941M，相應(yīng)的臂812、813被固定地附接到臂安裝部分上?？梢砸匀魏魏线m的方式配置載具940、941，使得允許載具940、941中的一個沿延伸/收縮軸線1?經(jīng)過載具940、941中的另一個。通過任何合適的驅(qū)動傳動裝置，載具940可聯(lián)接到電機320并且載具941可聯(lián)接到電機 321(反之亦然)。在一個方面，驅(qū)動皮帶輪921可聯(lián)接到電機320的軸370,使得當(dāng)軸370旋轉(zhuǎn)時，驅(qū)動皮帶輪921與它一起旋轉(zhuǎn)。惰輪910A、910B可基本上位于導(dǎo)軌930、931的相反端處并且被配置成使得一個或更多個皮帶或帶可至少部分地繞惰輪910A、910B纏繞。此外參照圖 9E和9F，一個或更多個皮帶或帶940B1、940B2(例如，基本類似于上述那些)可將驅(qū)動皮帶輪 920、921聯(lián)接到相應(yīng)的載具940、941。例如，參照驅(qū)動皮帶輪921和載具940，第一帶/皮帶 940B1可在第一帶/皮帶940B1的一端BE1處被固定地聯(lián)接到皮帶輪921。帶/皮帶940B1可至少部分地繞惰輪910A纏繞并延伸到載具940,使得帶/皮帶940B1的另一相反端BE2被固定地聯(lián)接到載具940。第二帶/皮帶940B2可在第二帶/皮帶940B2的一端BE3處被固定地聯(lián)接到皮帶輪921。帶/皮帶940B2可至少部分地繞惰輪910B纏繞并延伸到載具940(例如，從與第一帶/皮帶940B1的方向相反的方向，使得帶/皮帶940B1、940B2中的一個拉動載具，同時另一個帶/皮帶940B1、940B2推動載具)，使得帶/皮帶940B2的另一相反端BE4被固定地聯(lián)接到載具940。類似地，參照載具941，第一帶/皮帶940B1可在第一帶/皮帶940B1的一端處被固定地聯(lián)接到皮帶輪920。帶/皮帶940B1可至少部分地繞惰輪910A纏繞并延伸到載具941，使得帶/ 皮帶940B1的另一相反端被固定地聯(lián)接到載具941。第二帶/皮帶940B2可在第二帶/皮帶 940B2的一端處被固定地聯(lián)接到皮帶輪920。帶/皮帶940B2可至少部分地繞惰輪910B纏繞并延伸到載具941(例如，從與第一帶/皮帶940B1的方向相反的方向，使得帶/皮帶940B1、 940B2中的一個拉動載具，同時另一個帶/皮帶940B1、940B2推動載具)，使得帶/皮帶940B2 的另一相反端被固定地聯(lián)接到載具941。[〇〇31] 在一個方面，傳動部段853可暴露于臂812、813在其中操作的大氣，但可包括一個或更多個蓋，以基本上防止皮帶/帶、皮帶輪、和/或載具/軌產(chǎn)生的任何微粒進(jìn)入環(huán)境并接觸由臂812、813保持的工件。在一個方面，蓋851C3可位于傳動部段853的至少一部分之上， 諸如在驅(qū)動皮帶輪920、921的至少一部分之上。蓋851C3可包括與導(dǎo)軌930、931相鄰放置的密封部分998。蓋851C2也可位于導(dǎo)軌930、931之上并被配置成允許載具940、941橫越它們相應(yīng)的導(dǎo)軌930、931。蓋85102可包括密封部分997，使得密封部分997、998朝向彼此延伸。在一個方面，空間或開口901可被設(shè)置在密封部分997、998之間，使得載具940、941的臂安裝部分 940M、941M可延伸通過空間或開口 901，以便連接到相應(yīng)的臂812、813,并且使得相應(yīng)的臂 812、813—個位于另一個之上。密封部分997、998可形成迷宮密封件，以基本上包含蓋 851C2、851C3內(nèi)的任何微粒，同時允許臂812、813的延伸/收縮。
[0032]在其他方面，載具中的一個或更多個可由任何合適的線性電機(諸如上述那些)基本上直接地驅(qū)動。例如，在一個方面，傳動部段853可相對于臂812、813在其中操作的大氣被密封，使得以與上參照密封電機部段860所描述的基本類似的方式，使公共大氣環(huán)境在傳動部段853和驅(qū)動部段200之間被分享。導(dǎo)軌930、931可位于傳動部段外側(cè)，并且包括載具940、 941和具有密封部分997、998的蓋。每個載具可具有附接到其上的磁性隨動件，磁性隨動件通過例如傳動部段853的壁或蓋經(jīng)由磁性隨動件和磁性驅(qū)動器之間的磁力聯(lián)接以與例如下述文獻(xiàn)中描述的基本類似的方式由磁性驅(qū)動器磁性地驅(qū)動，所述文獻(xiàn)是美國專利第7,901， 539 ;8,293,066;8,419,341號以及美國專利申請13/286,186,所有這些之前都已經(jīng)通過引用將全部內(nèi)容合并于此。在另一方面，每個載具940、941可包括磁性壓板，位于傳動部段853 的密封大氣環(huán)境內(nèi)的電機繞組的線性陣列以與例如下述文獻(xiàn)中描述的基本類似的方式驅(qū)動，所述文獻(xiàn)是美國專利第7，575，406; 7，959，395號以及美國專利申請第13/159，034號，所有這些之前都已經(jīng)通過引用將全部內(nèi)容合并于此。[〇〇33] 在一個方面，每個臂810-813包括末端執(zhí)行器810E-813E，末端執(zhí)行器通過基本剛性的臂部段或末端執(zhí)行器延伸構(gòu)件810EM-813EM聯(lián)接到相應(yīng)的載具940、941。例如，基本剛性的臂部段810EM-813EM可以以任何合適的方式，諸如通過機械緊固件，被固定地聯(lián)接到相應(yīng)的載具940、941的相應(yīng)臂安裝部分940M、941M。末端執(zhí)行器810E-813E可以以任何合適的方式，諸如通過機械緊固件，被固定地聯(lián)接到相應(yīng)的基本剛性的臂部段810EM-813EM。在其他方面，基本剛性的臂部段810EM-813EM和相應(yīng)的末端執(zhí)行器810E-813E可具有統(tǒng)一的一件式構(gòu)造。在其他方面，基本剛性的臂部段810EM-813EM、相應(yīng)的末端執(zhí)行器810E-813E和相應(yīng)的載具940、941可具有統(tǒng)一的一件式構(gòu)造。[〇〇34]如從以上描述中可見的，每個末端執(zhí)行器810E-813E可沿相應(yīng)的延伸/收縮軸線R1、R2獨立地延伸/收縮。如從以上描述中同樣可見的，每個驅(qū)動部分800、801可獨立于驅(qū)動部分800、801中的另一個沿Y軸獨立地移動，從而改變延伸/收縮軸線R1、R2之間相對于彼此的距離D或改變一個或更多個延伸/收縮軸線相對于公共旋轉(zhuǎn)軸線CAX(見圖5A)的距離D1、 D2，以便自動的工件對中和/或獨立的工件放置調(diào)整，以便例如傳送模塊125A、125B、125C、 125D的面之間的以與上述的基本類似的方式進(jìn)行的工件保持站的位置改變。參照圖10A和 10B，在一個方面，驅(qū)動部分800、801中的一個可沿Y軸相對于另一個驅(qū)動部分800、801和/或公共軸線CAX移動，而驅(qū)動部分800、801中的另一個相對于公共軸線0六乂具有固定的距離01、 D2并且不可沿Y軸移動。例如，驅(qū)動部分800可通過密封的支撐構(gòu)件560被可移動地安裝到基底構(gòu)件550,從而通過位于基底構(gòu)件550內(nèi)的驅(qū)動器510沿Y軸可移動。驅(qū)動部分801可通過固定的支撐構(gòu)件1000被固定地安裝到基底構(gòu)件550,其中，固定的支撐構(gòu)件被配置成允許至少密封的電機部段860和驅(qū)動部段200之間的大氣連通。[〇〇35] 現(xiàn)在參照圖11A和11B，驅(qū)動部分800、801’中的一個或更多個可以相對于驅(qū)動部分 800、801’中的另一個可樞轉(zhuǎn)，以便改變延伸/收縮軸線R1、R2之間的角0，并且以便允許自動的工件對中和/或獨立的工件放置調(diào)整，以便例如傳送模塊125六、1258、125(:、12^)的面之間的工件保持站的位置改變。例如，可與上述一個或更多個傳送單元基本類似的傳送單元模塊104E，可包括與基底構(gòu)件550基本類似的基底構(gòu)件1150。在此方面，基底構(gòu)件1150可被配置成以任何合適的方式，諸如例如，通過固定的支撐構(gòu)件1000,聯(lián)接到驅(qū)動部分800。基底構(gòu)件1150還可被配置成與驅(qū)動部分801’(其可基本上類似于上述驅(qū)動部分801)聯(lián)接。這里，基底構(gòu)件可包括任何合適的驅(qū)動器1100(其可基本上類似于上述驅(qū)動器280、320、321、610、 620中的一個或更多個)。驅(qū)動軸1100D可延伸通過基底部分1150的壁，以便聯(lián)接到殼體 851C1’(其可基本上類似于上述殼體851C1)，使得驅(qū)動部分801和臂812、813可圍繞公共軸線XI沿箭頭T2方向樞轉(zhuǎn)，以便改變角0。如可認(rèn)識到的，由驅(qū)動部分800保持的一個或更多個工件可通過例如圍繞軸線CAX旋轉(zhuǎn)作為一個單元的兩個驅(qū)動部分對中，且由驅(qū)動部分801’ 保持的一個或更多個工件可通過圍繞軸線XI旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部分800’對中。[〇〇36]在其他方面，如在圖11C中可見的，驅(qū)動部分800 ’(其可基本上類似于驅(qū)動部分 801’)和驅(qū)動部分801’可以被可樞轉(zhuǎn)地安裝到基底構(gòu)件1150’(其可基本上類似于基底構(gòu)件 1150)，使得每個驅(qū)動部分被配置成圍繞相應(yīng)的軸線X1、X1沿相應(yīng)的方向T1、T2被相應(yīng)的驅(qū)動器110樞轉(zhuǎn)，以改變角0。這里，可通過使每個驅(qū)動部分800 ’、801’旋轉(zhuǎn)任何預(yù)定量來執(zhí)行自動的工件對中和/或獨立的工件放置調(diào)整，以便例如傳送模塊125A、125B、125C、12?的面之間的工件保持站的位置改變。在一個方面，兩個驅(qū)動部分都可作為一個單元圍繞軸線CAX 旋轉(zhuǎn)，也可通過一個或更多個驅(qū)動部分800’、801’圍繞相應(yīng)的軸線X1、X2旋轉(zhuǎn)來使由驅(qū)動部分800’、801’保持的一個或更多個工件對中。[〇〇37] 在另一方面，一個或更多個臂810-813沿Y軸的移動還可連同一個或更多個驅(qū)動部分800、801的旋轉(zhuǎn)一起被提供。例如，參照圖11D，基底構(gòu)件被配置成通過密封的支撐構(gòu)件 560與殼體851C1聯(lián)接，從而可沿Y軸移動。在其他方面，殼體851C1可通過固定的支撐構(gòu)件 1000聯(lián)接到基底構(gòu)件1150。樞轉(zhuǎn)殼體1130(其可基本上類似于殼體851C1’)可以以與以上參照圖11A-11C描述的基本類似的方式樞轉(zhuǎn)地聯(lián)接到基底構(gòu)件1150。殼體1130可具有與密封的支撐構(gòu)件561聯(lián)接的孔口，并且可以以與以上參照基底構(gòu)件550描述的基本類似的方式包括線性驅(qū)動電機1110。驅(qū)動部分801可通過殼體851C1以與上述方式基本類似的方式聯(lián)接到密封的支撐構(gòu)件861。在其他方面，驅(qū)動部分800、801都可以以任何合適的方式被安裝到樞轉(zhuǎn)殼體1130。[〇〇38] 現(xiàn)在參照圖12A和12B，在一個方面，驅(qū)動部分800、801的密封驅(qū)動部段殼體1250、 1251中的一個或更多個可被配置成圍繞公共軸線CAX可旋轉(zhuǎn)地被聯(lián)接到驅(qū)動部段200,使得一個或更多個驅(qū)動部分800、801可圍繞公共軸線CAX樞轉(zhuǎn)，以便改變角0并允許自動的工件對中和/或獨立的工件放置調(diào)整，以便例如傳送模塊125六、1258、125(:、12^)的面之間的工件保持站的位置改變。例如，殼體1251(其可基本上類似于上述殼體851C1)可基本上直接地聯(lián)接到驅(qū)動部段200的驅(qū)動軸280S，使得當(dāng)驅(qū)動軸280S旋轉(zhuǎn)時，殼體1251與驅(qū)動軸280S—起旋轉(zhuǎn)。殼體1250(其可基本上類似于上述殼體851C1)可圍繞公共軸線CAX可旋轉(zhuǎn)地被安裝到殼體1251。例如，任何合適的驅(qū)動器1200(諸如上述280、320、321、610、620)可位于殼體1251 內(nèi)。殼體1251可包括驅(qū)動軸1200S延伸通過的孔口，并且殼體1250可包括與驅(qū)動軸1200S聯(lián)接的孔口。如可認(rèn)識到的，任何合適的密封件(諸如上述那些)可圍繞驅(qū)動軸放置在驅(qū)動器 1200和殼體1251之間以及驅(qū)動器1200S和殼體1250之間，用于維持殼體1250、1251和驅(qū)動部段200內(nèi)的密封大氣環(huán)境。在一個方面，任何合適的軸承1200B也可被設(shè)置在殼體1250、1251 之間，而在其他方面，可不包括軸承，使得殼體1250由驅(qū)動軸1200S以及驅(qū)動軸1200和殼體 1251之間的聯(lián)接來支撐。這里，驅(qū)動器280和1200可獨立地操作，使得驅(qū)動部分可以以任何合適的方式圍繞公共軸線CAX相對于彼此樞轉(zhuǎn)，以便改變角0。在其他方面，驅(qū)動部分800、 801中的一個或更多個可沿Y軸可移動。例如，參照圖12C，可設(shè)置樞轉(zhuǎn)殼體1220(其可基本上類似于樞轉(zhuǎn)殼體1130)，使得驅(qū)動部分800、801的殼體851C1通過密封的支撐構(gòu)件560以與以上參照圖11D描述的基本類似的方式聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)殼體1220。這里，樞轉(zhuǎn)殼體1220和/或殼體 1250、1251的旋轉(zhuǎn)允許調(diào)整角0，而一個或更多個驅(qū)動部分800、801沿Y軸的移動允許調(diào)整延伸/收縮軸線R1、R2和公共軸線CAX之間的距離D1、D2,以便自動的工件對中和/或獨立的工件放置調(diào)整，以便例如傳送模塊125A、125B、125C、12?的面之間的工件保持站的位置改變。 [〇〇39] 在一個方面，參照圖11A-12C，任何合適數(shù)量的控制器110A、110B可位于本文描述的傳送單元模塊內(nèi)。在一個方面，可存在用于傳送單元模塊內(nèi)的一個或更多個驅(qū)動器的控制器。這些控制器110A、110B可連接到控制器110或任何其他合適的控制器。如上所述，在一個方面，控制器110A、110B可以是集群控制結(jié)構(gòu)的一部分，而在其他方面，控制器可以是任何合適的結(jié)構(gòu)。應(yīng)該理解，在一個方面，本發(fā)明描述的傳送單元模塊中的任何一個或更多個包括在傳送單元模塊內(nèi)的任何合適數(shù)量的控制器，用于實現(xiàn)末端執(zhí)行器的線性和旋轉(zhuǎn)移動中的一個或更多個。
[0040]參照圖13,根據(jù)所公開實施例的方面，圖示了傳送單元模塊104F。傳送單元模塊 104F可基本上類似于上述傳送單元模塊104。在此方面，雙晶片延伸或末端執(zhí)行器13310、 13311位于線性驅(qū)動腔內(nèi)，諸如本文描述的運輸腔125六、1258、125(:、1250、125￡，其中，由于以上論述的原因，驅(qū)動部段200(在一個方面，如上所述，其包括容納Z軸驅(qū)動器270和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部段282中的一個或更多個的框架20(F)位于傳送腔301外。
[0041]此外參照圖14,示出了根據(jù)所公開實施例的方面的示例性的單個線性驅(qū)動器 13400的示意圖。在一個方面，臂104E的上末端執(zhí)行器13310和下末端執(zhí)行器13311各自由相應(yīng)的單個線性驅(qū)動器13400驅(qū)動，以實現(xiàn)每個末端執(zhí)行器13310、13311的獨立延伸和收縮。 在其他方面，末端執(zhí)行器13310U3311通過任何合適的驅(qū)動器，諸如本文描述的那些，以任何合適的方式延伸和收縮。如在圖14中可見的，每個末端執(zhí)行器連接到以任何合適的方式支撐末端執(zhí)行器13310、13311的末端執(zhí)行器臺13411。在一個方面，末端執(zhí)行器臺13411形成末端執(zhí)行器13310、13311的相應(yīng)部分，其中，末端執(zhí)行器臺與末端執(zhí)行器一體形成，而在其他方面，末端執(zhí)行器臺以任何合適的方式聯(lián)接到末端執(zhí)行器13310、13311。在一個方面，單個線性驅(qū)動器13400是關(guān)節(jié)式機構(gòu)(例如，在通過單個或一個自由度驅(qū)動器實現(xiàn)末端執(zhí)行器臺和中間臺兩者的雙重線性延伸的情況下)，由此通過任何合適的傳動裝置，末端執(zhí)行器臺 13411的運動被放大成中間臺13410的運動的二倍，其中，中間臺13410將末端執(zhí)行器臺 13411(并且因而末端執(zhí)行器13310、13311)連接到臺板或臂基底構(gòu)件13423,如下面將描述的。如可認(rèn)識到的，在其他方面，末端執(zhí)行器臺的運動相對于中間臺13410被放大任何合適的量(例如，比二倍大)或以1:1比率延伸。在一個方面，通過經(jīng)由皮帶13420移動中間臺 13410來實現(xiàn)放大，在皮帶輪13424、13425之間被拉伸的皮帶13420以任何合適的方式被安裝到例如中間臺13410的相反端。在其他方面，皮帶輪13424、13425被安裝在中間臺13410的任何合適的相應(yīng)位置處。此關(guān)節(jié)設(shè)計在中間臺13410和末端執(zhí)行器臺13411的運動(分別由X 和R坐標(biāo)表示)之間產(chǎn)生1:2的延伸/收縮比。在一個方面，中間臺13410由任何合適的線性電機14000驅(qū)動。例如，線性電機14000包括驅(qū)動部分或定子13421和從動部分13422。至少線性電機14000的從動部分13422被安裝在中間臺13410上，并因而與中間臺13410—起移動。中間臺13410沿臺板13423在例如任何合適的線性軸承上(諸如例如，被安裝到臺板13423上的中間線性軸承13401)滑行。被安裝到中間臺13410上的末端執(zhí)行器線性軸承13402給予末端執(zhí)行器臺13411關(guān)節(jié)式運動。末端執(zhí)行器軸承13402包括一個或更多個軸承座13402B和軌 13402R，其中，一個或更多個軸承座13402B沿軌13402R運動。在一個方面，末端執(zhí)行器軸承 13402包括兩個軸承座13402B，而在其他方面，末端執(zhí)行器軸承13402包括多于兩個軸承座 13402B。如可認(rèn)識到的，末端執(zhí)行器軸承13402基本上類似于中間線性軸承13401。任何合適數(shù)量的線性編碼器15000附接到中間臺13410和末端執(zhí)行器臺13411中的一個或更多個，以提供用于末端執(zhí)行器的延伸/收縮的運動控制的位置反饋。
[0042]現(xiàn)在參照圖16A-16C，根據(jù)所公開實施例的方面，傳送單元模塊104F’被圖示處于延伸的和收縮的配置。傳送單元模塊104F’基本上類似于上述傳送單元模塊104F，并且以與參照傳送單元模塊104描述的基本類似的方式被用于本文描述的運輸腔125A、125B、125C、 125D、125E中的任何一個或更多個。這里，僅為了示范起見，圖示一個末端執(zhí)行器13310,并且應(yīng)該理解，在其他方面，傳送單元模塊104F’包括任何合適數(shù)量的末端執(zhí)行器，諸如末端執(zhí)行器13310、13311。在一個方面，末端執(zhí)行器臺13411和末端執(zhí)行器13310(為了解釋，在本文中被稱作末端執(zhí)行器13310)具有比中間臺13410的長度大的組合長度，以形成具有長度不等的連接件或構(gòu)件的延伸臂。在另一方面，末端執(zhí)行器13310的長度基本等于中間臺 13410的長度，以形成具有長度相等的連接件或構(gòu)件的延伸臂。在此方面，傳送單元模塊 104F’的旋轉(zhuǎn)中心與軸線CAX基本重合，在一個方面，軸線CAX是驅(qū)動部段200的旋轉(zhuǎn)軸線，使得軸線CAX基本位于臺板13423的中點處。
[0043]現(xiàn)在參照圖17A-17C，根據(jù)所公開實施例的方面，傳送單元模塊104F’’被圖示處于延伸的和收縮的配置。傳送單元模塊104F’’基本上類似于上述傳送單元模塊104F，并且以與參照傳送單元模塊104描述的基本類似的方式被用于本文描述的運輸腔125A、125B、 125C、125D、125E中的任何一個或更多個。這里，僅為了示范起見，圖示一個末端執(zhí)行器13310,并且應(yīng)該理解，在其他方面，傳送單元模塊104F’包括任何合適數(shù)量的末端執(zhí)行器， 諸如末端執(zhí)行器13310、13311。在一個方面，末端執(zhí)行器臺13411和末端執(zhí)行器13310(為了解釋，在本文中被稱作末端執(zhí)行器13310)具有比中間臺13410的長度大的組合長度，以形成具有長度不等的連接件或構(gòu)件的延伸臂。在另一方面，末端執(zhí)行器13310的長度基本等于中間臺13410的長度，以形成具有長度相等的連接件或構(gòu)件的延伸臂。在此方面，傳送單元模塊104F’的旋轉(zhuǎn)中心與軸線CAX基本重合，在一個方面，軸線CAX是驅(qū)動部段200的旋轉(zhuǎn)軸線， 使得軸線CAX位于臺板13423的端部處(例如，軸線CAX偏離臺板14323的中點)。
[0044]現(xiàn)在參照圖18,根據(jù)所公開實施例的方面，傳送單元模塊104F’ ’’被圖示處于延伸的和收縮的配置。傳送單元模塊104F’ ’’基本上類似于上述傳送單元模塊104F，并且以與參照傳送單元模塊104描述的基本類似的方式被用于例如本文描述的運輸腔125A(或任何其他合適的傳送腔，其中，所述腔的面具有多邊形布置)。這里，臺板13423為基本剛性的連接件，其具有基本“U”或“V”形形狀，背離傳送單元模塊104F’ ’’的主肩部旋轉(zhuǎn)軸線(例如，軸線 CAX)延伸，使得位于臺板13423上的多個臂中的至少兩個的延伸和收縮軸線可相對于彼此成角度，并且多個臂中的至少兩個的末端執(zhí)行器安置平面SP基本共面。在一個方面，至少一個臂被大體安裝在臂基底構(gòu)件的每個相反端處。在此方面，臺板13423包括關(guān)于軸線CAX相對于彼此以任何合適的角度a成角度的第一部分13423A和第二部分13423B，其允許被安裝到第一和第二部分13423A、13423B的末端執(zhí)行器13310、13311接近相鄰的處理模塊130(例如，被安裝在第一部分上的末端執(zhí)行器的延伸/收縮軸線R和被安裝在第二部分上的末端執(zhí)行器的延伸/收縮軸線R相對于彼此成角度a)。在一個方面，第一和第二部分13423A、13423B 之間的角度a是可調(diào)整的，而在其他方面，角度a是固定的并且不能改變。這里，僅為了示范起見，末端執(zhí)行器13310被圖示為被安裝到部分13423A，而末端執(zhí)行器13311被安裝到部分 13423B，但是應(yīng)該理解，在其他方面，傳送單元模塊104F’ ’ ’包括在第一和第二部分13423A、 13423B中的每個上一個層疊在另一個之上的任何合適數(shù)量的末端執(zhí)行器。在一個方面，末端執(zhí)行器13310、13311的長度比中間臺13410的長度大，以形成具有長度不等的連接件或構(gòu)件的延伸臂。在另一方面，末端執(zhí)行器13310的長度基本等于中間臺13410的長度，以形成具有長度相等的連接件或構(gòu)件的延伸臂。
[0045]現(xiàn)在參照圖19,傳送單元模塊104F’ ’’’被圖示并且基本上類似于上述傳送單元模塊104F’ ’ ’。但是，在此方面，臺板13423被布置成使得(在臺板13423的相反端處)被安裝到第一和第二部分13423A、13423B上的末端執(zhí)行器13310、13311接近相鄰的處理模塊130,從而使得被安裝在第一部分上的末端執(zhí)行器的延伸/收縮軸線R和被安裝在第二部分上的末端執(zhí)行器的延伸/收縮軸線R1、R2彼此平行。在一個方面，第一部分13423A上的至少一個臂的末端執(zhí)行器安置平面SP與第二部分13423B上的至少一個臂的末端執(zhí)行器安置平面SP基本共面。這里，軸線R1、R2被放置成與軸線CAX相距相應(yīng)的距離D1、D2(并且彼此相距距離捫。 在一個方面，可以以與上述方式基本類似的方式調(diào)整距離D1、D2中的一個或更多個(以及因而距離￠)。在其他方面，被安裝到第一和第二部分13423A、13423B上的末端執(zhí)行器13310、 13311中的一個或更多個可相對于臺板13423圍繞相應(yīng)的軸線X1、X2以與上述方式基本類似的方式旋轉(zhuǎn)。在其他方面，距離D1、D2中的一個或更多個是可調(diào)整的，并且被安裝到第一和第二部分13423六、134238上的末端執(zhí)行器13310、13311中的一個或更多個可相對于臺板 13423以與上述方式基本類似的方式旋轉(zhuǎn)。
[0046]圖20和21圖示傳送單元模塊104F、104F’、104F’ ’、104F’ ’ ’、104F’ ’ ’ ’如何被安裝到吊臂143的例子。例如，傳送單元模塊104F、104F’、104F’ ’、104F’ ’ ’、104F’ ’ ’ ’中的每個以與以上參照傳送單元模塊104描述的基本類似的方式被安裝到吊臂143。
[0047]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，傳送設(shè)備包括:框架;連接到所述框架的多個臂，每個臂具有末端執(zhí)行器和獨立驅(qū)動軸線，其用于相對于所述多個臂中的其他臂延伸和收縮相應(yīng)的臂；線性軌，其限定所述獨立驅(qū)動軸線的自由度用于延伸和收縮至少一個臂；以及公共驅(qū)動軸線，其被每個臂分享并被配置成圍繞公共樞轉(zhuǎn)軸線樞轉(zhuǎn)所述多個臂;其中，所述多個臂中的至少一個具有相對于所述多個臂中的其他臂限定獨立的自由度另一驅(qū)動軸線。[〇〇48]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線相對于延伸和收縮軸線成角度。
[0049]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線被布置成，使得所述獨立的自由度與所述末端執(zhí)行器的安置平面共面。
[0050]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線被布置成，使得所述獨立的自由度與其他獨立的自由度成角度。
[0051]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線被布置成，使得所述獨立的自由度平行于其他獨立的自由度。
[0052]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，傳送設(shè)備還包括第二公共驅(qū)動軸線，其被配置成圍繞公共軸線一致地移動所述多個臂的。
[0053]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，另一驅(qū)動軸線實現(xiàn)自動的工件對中。 [〇〇54]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，另一驅(qū)動軸線實現(xiàn)用于工件保持站位置改變的獨立工件放置調(diào)整。
[0055]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述多個臂是可伸縮臂。
[0056]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述傳送設(shè)備包括連接到框架的臂基底構(gòu)件，多個臂中的每個被安裝到臂基底構(gòu)件，使得多個臂中的至少兩個的延伸和收縮軸線彼此分隔開。
[0057]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述多個臂中的至少兩個之間的間隔是可調(diào)整的。[〇〇58]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述傳送設(shè)備包括連接到框架的臂基底構(gòu)件，所述多個臂中的每個被安裝到臂基底構(gòu)件，使得多個臂中的至少兩個的延伸和收縮軸線彼此成角度。
[0059]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述臂基底構(gòu)件具有大體U形或大體V形形狀，使多個臂中的至少一個被大體安裝在所述臂基底構(gòu)件的每個相反端處。
[0060]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述多個臂中的至少兩個之間的角度是可調(diào)整的。[0061 ]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，一種傳送設(shè)備包括:框架;連接到所述框架的多個臂，每個臂具有末端執(zhí)行器和用于延伸和收縮相應(yīng)的臂的獨立驅(qū)動軸線，以將工件運輸?shù)竭\輸腔中和從運輸腔中運輸工件；線性驅(qū)動軸線，其為至少一個臂限定另一自由度，該另一自由度與所述末端執(zhí)行器的安置平面共面；以及公共驅(qū)動軸線，其被每個臂分享并被配置成圍繞公共樞轉(zhuǎn)軸線樞轉(zhuǎn)所述多個臂；其中，所述多個臂中的至少一個具有相對于所述多個臂中的其他臂限定獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線。
[0062]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線相對于延伸和收縮軸線成角度。
[0063]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線被布置成，使得所述獨立的自由度與所述末端執(zhí)行器的安置平面共面。
[0064]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線被布置成，使得所述獨立的自由度與其他獨立的自由度成角度。
[0065]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線被布置成，使得所述獨立的自由度平行于其他獨立的自由度。
[0066]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述傳送設(shè)備還包括第二公共驅(qū)動軸線，其被配置成圍繞公共軸線一致地移動所述多個臂。
[0067]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述獨立的自由度實現(xiàn)自動的工件對中。
[0068]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述獨立的自由度實現(xiàn)用于工件保持站位置改變的獨立工件放置調(diào)整。
[0069]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述多個臂是可伸縮臂。
[0070]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述傳送設(shè)備包括連接到框架的臂基底構(gòu)件，所述多個臂中的每個被安裝到臂基底構(gòu)件，使得多個臂中的至少兩個的延伸和收縮軸線彼此分隔開。
[0071]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述多個臂中的至少兩個之間的間隔是可調(diào)整的。
[0072]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述傳送設(shè)備包括連接到框架的臂基底構(gòu)件，所述多個臂中的每個被安裝到臂基底構(gòu)件，使得多個臂中的至少兩個的延伸和收縮軸線彼此成角度。
[0073]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，臂基底構(gòu)件具有大體U形或大體V形形狀，使多個臂中的至少一個被大體安裝在臂基底構(gòu)件的每個相反端處。
[0074]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述多個臂中的至少兩個之間的角度是可調(diào)整的。
[0075]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，一種傳送設(shè)備，包括:框架，其形成具有腔大氣的密封腔;連接到所述框架并且位于所述密封腔內(nèi)的多個臂，每個臂具有用于延伸和收縮相應(yīng)的臂的獨立驅(qū)動軸線;第一驅(qū)動部段，其位于所述密封腔外側(cè)并且連接到所述多個臂，用于圍繞公共軸線移動所述多個臂；以及第二驅(qū)動部段，其位于所述密封腔內(nèi)側(cè)，所述第二驅(qū)動部段包括密封殼體，所述密封殼體被配置成保持與腔大氣不同的密封大氣；其中，所述密封殼體具有第一密封部分和第二密封部分，所述第一密封部分包括用于至少一個臂的第一自由度的第一驅(qū)動軸，所述第二密封部分與所述第一密封部分密封地連通并且包括用于至少一個臂的第二自由度的第二驅(qū)動軸。
[0076]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述多個臂中的至少一個包括與用于延伸和收縮相應(yīng)的臂的所述驅(qū)動軸相獨立的第二自由度。
[0077]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述第二自由度實現(xiàn)自動的工件對中。
[0078]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述第二自由度實現(xiàn)用于工件保持站位置改變的獨立工件放置調(diào)整。
[0079]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述密封殼體包括在所述密封殼體中的開口，所述第二密封部分通過所述開口與所述第一密封部分連通。
[0080]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述第一自由度和第二自由度中的至少一個相對于相應(yīng)的臂的延伸和收縮軸線成角度。
[0081]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述第一自由度和第二自由度中的至少一個與末端執(zhí)行器的安置平面共面。
[0082]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述第一自由度和第二自由度中的至少一個相對于其他獨立的自由度成角度。
[0083]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述第一自由度和第二自由度中的至少一個平行于其他獨立的自由度。
[0084]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述第一驅(qū)動部段包括公共旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸線，其被配置成圍繞公共的旋轉(zhuǎn)軸線一致地旋轉(zhuǎn)所述多個臂。
[0085]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述多個臂是可伸縮臂。
[0086]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述傳送設(shè)備包括連接到框架的臂基底構(gòu)件，多個臂中的每個被安裝到臂基底構(gòu)件，使得多個臂中的至少兩個的延伸和收縮軸線彼此分隔開。
[0087]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述多個臂中的至少兩個之間的間隔是可調(diào)整的。
[0088]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述傳送設(shè)備包括連接到框架的臂基底構(gòu)件，多個臂中的每個被安裝到臂基底構(gòu)件，使得多個臂中的至少兩個的延伸和收縮軸線彼此成角度。
[0089]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，臂基底構(gòu)件具有大體U形或大體V形形狀，使多個臂中的至少一個被大體安裝在臂基底構(gòu)件的每個相反端處。
[0090]根據(jù)所公開實施例的一個或更多個方面，所述多個臂中的至少兩個之間的角度是可調(diào)整的。
[0091]應(yīng)該理解，以上描述僅是說明所公開實施例的方面。在不脫離所公開實施例的方面的情況下，本領(lǐng)域技術(shù)人員可想出各種替代方案和修改。因此，所公開實施例的方面試圖包括落在所附權(quán)利要求范圍內(nèi)的所有這類替代方案、修改和改變。此外，僅僅不同特征被記載在互不相同的從屬或獨立權(quán)利要求中的事實并不表示不能有利地使用這些特征的結(jié)合，這種結(jié)合仍在本發(fā)明方面的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種傳送設(shè)備，包括:框架；連接到所述框架的多個臂，每個臂具有末端執(zhí)行器和用于相對于所述多個臂中的其他 臂延伸和收縮相應(yīng)的臂的獨立驅(qū)動軸線；線性軌，所述線性軌限定所述獨立驅(qū)動軸線的自由度用于延伸和收縮至少一個臂；以 及公共驅(qū)動軸線，所述公共驅(qū)動軸線被每個臂分享并被配置成圍繞公共樞轉(zhuǎn)軸線樞轉(zhuǎn)所 述多個臂；其中，所述多個臂中的至少一個具有相對于所述多個臂中的其他臂限定獨立的自由度 的另一驅(qū)動軸線。2.如權(quán)利要求1所述的傳送設(shè)備，其中，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線相對于 延伸和收縮軸線成角度。3.如權(quán)利要求1所述的傳送設(shè)備，其中，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線被布置 成，使得所述獨立的自由度與所述末端執(zhí)行器的安置平面共面。4.如權(quán)利要求1所述的傳送設(shè)備，其中，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線被布置 成，使得所述獨立的自由度與其他獨立的自由度成角度。5.如權(quán)利要求1所述的傳送設(shè)備，其中，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線被布置 成，使得所述獨立的自由度平行于其他獨立的自由度。6.如權(quán)利要求1所述的傳送設(shè)備，還包括被配置成圍繞公共軸線一致地移動所述多個 臂的第二公共驅(qū)動軸線。7.如權(quán)利要求1所述的傳送設(shè)備，其中，所述另一驅(qū)動軸線實現(xiàn)自動的工件對中。8.如權(quán)利要求1所述的傳送設(shè)備，其中，所述另一驅(qū)動軸線實現(xiàn)用于工件保持站位置改 變的獨立工件放置調(diào)整。9.如權(quán)利要求1所述的傳送設(shè)備，其中，所述多個臂是可伸縮臂。10.—種傳送設(shè)備，包括:框架；連接到所述框架的多個臂，每個臂具有末端執(zhí)行器和用于延伸和收縮相應(yīng)的臂的獨立 驅(qū)動軸線，以將工件運輸?shù)竭\輸腔中和從運輸腔中運輸工件；線性驅(qū)動軸線，其為至少一個臂限定另一自由度，所述另一自由度與所述末端執(zhí)行器 的安置平面共面；以及公共驅(qū)動軸線，所述公共驅(qū)動軸線被每個臂分享并被配置成圍繞公共樞轉(zhuǎn)軸線樞轉(zhuǎn)所 述多個臂；其中，所述多個臂中的至少一個具有相對于所述多個臂中的其他臂限定獨立的自由度 的另一驅(qū)動軸線。11.如權(quán)利要求10所述的傳送設(shè)備，其中，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線相對 于延伸和收縮軸線成角度。12.如權(quán)利要求10所述的傳送設(shè)備，其中，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線被布 置成，使得所述獨立的自由度與所述末端執(zhí)行器的安置平面共面。13.如權(quán)利要求10所述的傳送設(shè)備，其中，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線被布置成，使得所述獨立的自由度與其他獨立的自由度成角度。14.如權(quán)利要求10所述的傳送設(shè)備，其中，限定所述獨立的自由度的另一驅(qū)動軸線被布 置成，使得所述獨立的自由度平行于其他獨立的自由度。15.如權(quán)利要求10所述的傳送設(shè)備，還包括被配置成圍繞公共軸線一致地移動所述多 個臂的第二公共驅(qū)動軸線。16.如權(quán)利要求10所述的傳送設(shè)備，其中，所述獨立的自由度實現(xiàn)自動的工件對中。17.如權(quán)利要求10所述的傳送設(shè)備，其中，所述獨立的自由度實現(xiàn)用于工件保持站位置 改變的獨立工件放置調(diào)整。18.如權(quán)利要求10所述的傳送設(shè)備，其中，所述多個臂是可伸縮臂。19.一種傳送設(shè)備，包括:框架，所述框架形成具有腔大氣的密封腔；多個臂，所述多個臂連接到所述框架并且位于所述密封腔內(nèi)，每個臂具有用于延伸和 收縮相應(yīng)的臂的獨立驅(qū)動軸線；第一驅(qū)動部段，位于所述密封腔外側(cè)并且連接到所述多個臂，用于圍繞公共軸線移動 所述多個臂；以及第二驅(qū)動部段，位于所述密封腔內(nèi)側(cè)，所述第二驅(qū)動部段包括密封殼體，所述密封殼體 被配置成保持與腔大氣不同的密封大氣；其中，所述密封殼體具有第一密封部分和第二密封部分，所述第一密封部分包括用于 至少一個臂的第一自由度的第一驅(qū)動軸，所述第二密封部分與所述第一密封部分密封地連 通并且包括用于至少一個臂的第二自由度的第二驅(qū)動軸。20.如權(quán)利要求19所述的傳送設(shè)備，其中，所述多個臂中的至少一個包括與用于延伸和 收縮相應(yīng)的臂的所述驅(qū)動軸相獨立的第二自由度。21.如權(quán)利要求20所述的傳送設(shè)備，其中，所述第二自由度實現(xiàn)自動的工件對中。22.如權(quán)利要求20所述的傳送設(shè)備，其中，所述第二自由度實現(xiàn)用于工件保持站位置改 變的獨立工件放置調(diào)整。23.如權(quán)利要求19所述的傳送設(shè)備，其中，所述密封殼體包括在所述密封殼體中的開 口，所述第二密封部分通過所述開口與所述第一密封部分連通。24.如權(quán)利要求19所述的傳送設(shè)備，其中，所述第一自由度和第二自由度中的至少一個 相對于相應(yīng)的臂的延伸和收縮軸線成角度。25.如權(quán)利要求19所述的傳送設(shè)備，其中，所述第一自由度和第二自由度中的至少一個 與末端執(zhí)行器的安置平面共面。26.如權(quán)利要求19所述的傳送設(shè)備，其中，所述第一自由度和第二自由度中的至少一個 相對于其他獨立的自由度成角度。27.如權(quán)利要求19所述的傳送設(shè)備，其中，所述第一自由度和第二自由度中的至少一個 平行于其他獨立的自由度。28.如權(quán)利要求19所述的傳送設(shè)備，其中，所述第一驅(qū)動部段包括被配置成圍繞公共的 旋轉(zhuǎn)軸線一致地旋轉(zhuǎn)所述多個臂的公共旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸線。29.如權(quán)利要求19所述的傳送設(shè)備，其中，所述多個臂是可伸縮臂。
【文檔編號】H01L21/677GK105981154SQ201480075737
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2014年12月15日
【發(fā)明人】R.T.卡夫尼, U.吉爾克里斯特, A.克魯皮舍夫
【申請人】布魯克斯自動化公司