一種多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于制造多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的柔性系統(tǒng)，以及采用該柔性系統(tǒng)制造多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的方法，形成的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置具有2到5中顏色像素。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了在不采用金屬掩模板的情況下，用適合卷對(duì)卷和真空鍍膜方式制造多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置。
【專利說(shuō)明】
一種多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及光電技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件及其顯示裝置。【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，采用有機(jī)電致發(fā)光二極管器件(Organic Light Emitting D1des, 0LED) 的電子產(chǎn)品已經(jīng)成功地獲得了商業(yè)化應(yīng)用，如智能手機(jī)屏幕、電視機(jī)等。由于采用OLED器件為顯示器的像素時(shí)，不需要像液晶電視(Liquid Crystal displays，IXD)那樣采用濾光片，因此采用0LED作為像素的顯示屏比LCD具有更鮮艷的顏色和更高的對(duì)比度。
[0003]0LED的另一個(gè)顯著特點(diǎn)是輕薄。0LED通常是厚度為數(shù)百納米的薄膜，因此，0LED 像素可以直接形成在容易彎曲的基板上，如塑料、超薄玻璃，制造出可彎曲的顯示裝置。
[0004]目前，0LED顯示屏是采用如下方法制造的:將金屬掩模板(Metal Shadow Mask)緊密地貼合在IT0 (氧化銦錫)玻璃基板上。已經(jīng)預(yù)先進(jìn)行了圖形化的IT0作為0LED器件的陽(yáng)極和確定像素的外形和尺寸。當(dāng)將金屬掩模板上的開(kāi)孔與陽(yáng)極對(duì)應(yīng)后，構(gòu)成0LED器件的有機(jī)功能層(如空穴注入層、空穴傳輸層、有機(jī)發(fā)光層、電子傳輸層)和陰極將被采用真空鍍膜的方式經(jīng)金屬掩模板的開(kāi)孔沉積在陽(yáng)極上。彩色的0LED需要在同一個(gè)IT0玻璃上按預(yù)先設(shè)定好的布局分別形成對(duì)應(yīng)紅、綠、藍(lán)顏色的0LED器件作為像素。在實(shí)際生產(chǎn)中，用金屬掩模板選擇性地遮擋IT0陽(yáng)極之后，再通過(guò)真空鍍膜的方式形成對(duì)應(yīng)一種顏色像素的0LED器件。通過(guò)重復(fù)這一過(guò)程，就可以在同一個(gè)IT0玻璃上的不同區(qū)域形成對(duì)應(yīng)紅、綠、藍(lán)顏色的 0LED器件作為像素。例如，當(dāng)要形成紅色像素所需的0LED器件時(shí)候，可以將金屬掩模板上制造紅色像素的開(kāi)孔與IT0陽(yáng)極對(duì)應(yīng)起來(lái)，同時(shí)遮擋對(duì)應(yīng)綠色和藍(lán)色像素的IT0陽(yáng)極。在形成紅色像素之后，將金屬掩模板上制造綠色像素的開(kāi)孔與IT0陽(yáng)極對(duì)應(yīng)起來(lái)，同時(shí)遮擋已經(jīng)成的紅色像素和對(duì)應(yīng)藍(lán)色像素的IT0陽(yáng)極。這樣就可以形成對(duì)應(yīng)綠色像素的0LED器件。同樣重復(fù)的步驟，可以形成對(duì)應(yīng)藍(lán)色像素的0LED器件。通過(guò)這種方法形成的0LED顯示裝置有多方面的優(yōu)勢(shì):首先，采用真空鍍膜的0LED器件性能和穩(wěn)定性最好。因此，當(dāng)前實(shí)用化的0LED產(chǎn)品都采用金屬掩模板和真空鍍膜相結(jié)合制造。其次，金屬掩模板制造像素的過(guò)程中，并沒(méi)有對(duì)脆弱的有機(jī)薄膜造成任何破壞，保證了制造過(guò)程中的良品率。最后，采用獨(dú)立的0LED器件作為紅、綠、藍(lán)像素，能夠最大限度地優(yōu)化每一種像素的性能。正是由于金屬掩模板和真空鍍膜0LED的結(jié)合所具有的諸多優(yōu)點(diǎn)，0LED技術(shù)不但在智能手機(jī)應(yīng)用上占有一席之地，而且已經(jīng)能夠用于制造大尺寸的0LED電視機(jī)(超過(guò)40英寸)。
[0005]然而，在制造多色柔性0LED顯示裝置時(shí)，采用金屬掩模板和真空鍍膜結(jié)合的方式卻曝露出顯著的局限。由于金屬掩模板與基板之間的緊密貼合和對(duì)位是制造像素的關(guān)鍵步驟，當(dāng)將金屬掩膜板施加于易變形的柔性基板上時(shí)候，會(huì)遇到很多的實(shí)際困難。首先，金屬掩膜板是通過(guò)在一張金屬薄膜上(幾十到上百微米厚)大量開(kāi)孔制造出來(lái)的，因此金屬基板本身也容易變形。當(dāng)將金屬掩膜板和柔性基板貼合到一起的時(shí)候，很難同時(shí)保證緊密貼合和精確對(duì)位。其次，金屬掩模板本身造價(jià)昂貴，因此非常不利于降低多色可彎曲的0LED顯示裝置的制造成本。目前，一個(gè)折中的辦法是預(yù)先將柔性基板固定在一個(gè)平整和剛性的承載體上，然后再施加金屬掩模板和真空鍍膜工藝。要推動(dòng)多色柔性O(shè)LED顯示裝置產(chǎn)品走向發(fā)展成熟，必須尋找到一種適合柔性基板特點(diǎn)的低成本的制造方法。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于制造多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件及其顯示裝置。本發(fā)明提供了一種用于制造多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的柔性系統(tǒng)； 以及采用該柔性系統(tǒng)制造多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的方法。本發(fā)明避免金屬掩模板技術(shù)直接應(yīng)用到柔性基板上，以及在柔性基板上制造多種顏色像素時(shí)候遇到困難。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種用于制造多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的柔性系統(tǒng)。如圖 1所示，所述柔性系統(tǒng)包括:柔性基板12,其作為形成有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的基板；置于柔性基板12上的電極引線13,其用于給陽(yáng)極14供電，以及為有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的像素進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；置于柔性基12板和電極引線13之上的陽(yáng)極14,其作為形成有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的陽(yáng)極，并和電極引線13形成電接觸；置于柔性基板12和電極引線13之上的底層掩模板11，其用于在通過(guò)真空鍍膜方式形成有機(jī)電致發(fā)光二極管時(shí)，對(duì)除陽(yáng)極之外構(gòu)成有機(jī)電致發(fā)光二極管器件的其它功能層圖形化成為所需要的形狀；覆蓋在柔性基板12、電極引線13、陽(yáng)極14和底層掩模板11上的頂層掩模板。 頂層掩模板由15和16兩部分構(gòu)成，15覆蓋在柔性基板12上未被底層掩模板覆蓋的區(qū)域； 16覆蓋在底層掩模板上。將頂層掩模板的15部分選擇性地剝離之后，可用于形成對(duì)應(yīng)不同顏色的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件。頂層掩模板的15和16兩部分能夠分別被剝離下來(lái)。 [〇〇〇8] 本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)在于:柔性基板12是由包括塑料薄膜或超薄玻璃材料構(gòu)成。
[0009]本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)在于:柔性基板12是透明或者半透明的，有機(jī)電致發(fā)光二極管在電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的光將由柔性基板一側(cè)發(fā)出。
[0010]本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)在于:構(gòu)成驅(qū)動(dòng)陽(yáng)極的電極引線13的材料包括金屬薄膜、碳納米管、石墨烯。
[0011]本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)在于:陽(yáng)極14是由有金屬薄膜和金屬氧化物薄膜雙層結(jié)構(gòu)構(gòu)成，其金屬薄膜置于柔性基板上，金屬氧化物薄膜置于金屬薄膜上。構(gòu)成陽(yáng)極14的金屬薄膜材料進(jìn)一步包括鈧、紀(jì)、鈦、錯(cuò)、鉿、鑰〇銀、鉭、絡(luò)、鉬、媽、猛、錸、鐵、I了、鋨、鈷、銘、銥、 鎳、鈀、鉑、銅、銀、金、鎘、鋁、鎵、銦、鍺、錫，以及它們的合金；構(gòu)成陽(yáng)極14的金屬氧化物薄膜材料進(jìn)一步包括氧化鉬、氧化鎢、氧化鉭、氧化釩、氧化鈦、氧化鋅、氧化鎵、氧化錫、氧化銦，以及它們的混合物。構(gòu)成陽(yáng)極14的金屬薄膜的厚度為5nm到50nm ;構(gòu)成陽(yáng)極的金屬氧化物薄膜的厚度為lnm到100nm。
[0012]本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)在于:底層掩模板11由圖形化的聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜構(gòu)成。
[0013]本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)在于:構(gòu)成頂層掩模板的兩部分15和16都是由聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜構(gòu)成。構(gòu)成頂層掩模板15和16的聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜主要覆蓋在兩類區(qū)域:第一類區(qū)域是柔性基板上未被底層掩模板覆蓋的區(qū)域15 ;第二類區(qū)域是底層掩模板上方16。分布在兩類區(qū)域的聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜15和16能夠被分別剝離下來(lái)。
[0014] 本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)在于:構(gòu)成該系統(tǒng)的柔性基板12、電極引線13、陽(yáng)極14、底層掩模板11和頂層掩模板15和16能夠與柔性基板共同彎曲。當(dāng)柔性系統(tǒng)處于彎曲狀態(tài)時(shí)， 頂層掩模板分布在兩類區(qū)域的聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜15和16能夠被分別剝離下來(lái)。
[0015]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了采用該柔性系統(tǒng)制造多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的方法，實(shí)現(xiàn)了在不采用通過(guò)金屬掩模板圖形化有機(jī)功能層和陰極的情況下，以真空鍍膜方式制造多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置。
[0016]本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)在于:如圖2所示說(shuō)明一個(gè)3色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的制造流程，預(yù)先將一個(gè)柔性系統(tǒng)中覆蓋在對(duì)應(yīng)第一種顏色像素(如紅色)的陽(yáng)極上的頂層掩模板剝離，然后在陽(yáng)極上沉積由氧化鉬、氧化鎢、氧化鉭、氧化釩，或者它們的混合物構(gòu)成空穴注入層，空穴注入層的厚度為lnm到50nm。之后，再形成紅色像素所對(duì)應(yīng)的有機(jī)電致發(fā)光層和陰極。完成對(duì)紅色像素的制造之后，再將柔性系統(tǒng)中覆蓋在對(duì)應(yīng)第二種顏色像素(如綠色)的陽(yáng)極上的頂層掩模板剝離，然后在陽(yáng)極上沉積由氧化鉬、 氧化鎢、氧化鉭、氧化釩，或者它們的混合物構(gòu)成空穴注入層，空穴注入層的厚度為lnm到 50nm。之后，再形成綠色像素所對(duì)應(yīng)的有機(jī)電致發(fā)光層和陰極。完成對(duì)綠色像素的制造之后，再將柔性系統(tǒng)中覆蓋在對(duì)應(yīng)第三種顏色像素(如藍(lán)色)的陽(yáng)極上的頂層掩模板剝離，然后在陽(yáng)極上沉積由氧化鉬、氧化鎢、氧化鉭、氧化釩，或者它們的混合物構(gòu)成空穴注入層，空穴注入層的厚度為lnm到50nm。之后，再形成藍(lán)色像素所對(duì)應(yīng)的有機(jī)電致發(fā)光層和陰極。
[0017] 本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)在于:通過(guò)上述方法，可以采用柔性系統(tǒng)形成具有2種到5種顏色像素的多色可彎曲有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置。
[0018] 本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)在于:形成空穴注入層的材料包括氧化鉬、氧化鎢、氧化鉭、 氧化釩，以及它們的混合物。
[0019] 本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)在于:空穴注入層的厚度為lnm到50nm〇
[0020] 本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)在于:當(dāng)剝離了陽(yáng)極之上的聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜之后，作為空穴注入層的金屬氧化物薄膜沉積在陽(yáng)極上，有機(jī)電致發(fā)光層形成在空穴注入層之上，陰極形成在有機(jī)電致發(fā)光層之上。
[0021] 相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:第一，簡(jiǎn)化了在柔性基板上制造彩色有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的工藝，避免了在真空鍍膜的過(guò)程中在柔性基板上實(shí)施金屬掩模板的困難；第二，通過(guò)柔性系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了在處于自由狀態(tài)的柔性基板上，形成彩色有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置，顯著降低了工藝難度。在這里，自由狀態(tài)是指，柔性基板的形狀可以處于平整、彎曲和變形之一；第三，能夠?qū)⒄婵斟兡ぜ夹g(shù)與卷對(duì)卷技術(shù)結(jié)合，實(shí)現(xiàn)柔性彩色0LED顯示裝置的低成本和大面積制造。
[0022]【【附圖說(shuō)明】】圖1柔性系統(tǒng)；圖2采用柔性系統(tǒng)制造多色可彎曲有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的流程。
[0023]【【具體實(shí)施方式】】實(shí)施例1:一個(gè)柔性系統(tǒng)的制造流程描述如下:(1)在面積75mmX 75mm、厚度188微米的PET塑料片上用光刻的方式制造出陽(yáng)極引線。 陽(yáng)極引線由厚度為30nm的金構(gòu)成；(2)通過(guò)對(duì)光刻膠(Negative Resist NR21-20000P Futurrex，Inc)實(shí)施涂覆、曝光和顯影，在有陽(yáng)極引線的PET塑料片上形成了一層光刻膠圖案；(3)用磁控濺射的方式在形成有陽(yáng)極引線和光刻膠圖案的PET塑料片上沉積一層Si02 薄膜，用于增加PET薄膜和聚二甲基硅氧烷彈性體之間的粘接力。磁控濺射的條件如下:背景壓力=8.0 X 10 1 Pa ;氣體=Ar革巴材=Si02;射頻功率=50 W ;時(shí)間=10分鐘；基板溫度=室溫；(4)在基板上涂覆一層聚二甲基硅氧烷彈性體的預(yù)聚體(ELASTOSIL? RT 601 A/B， Wacker Chemie AG)，在室溫條件下放置24小時(shí)后，獲得聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜；(5)將PET塑料片置于丙酮中浸泡3分鐘左右，完全去除光刻膠和形成在光刻膠上方的聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜，而保留在PET塑料片上的聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜形成底層掩模板，其具有與光刻膠互補(bǔ)的圖案；(6)通過(guò)金屬掩模板，在PET上沉積由Au和M〇03構(gòu)成的雙層結(jié)構(gòu)作為陽(yáng)極。Au的厚度是15nm;M〇03的厚度是6nm。每一個(gè)陽(yáng)極圖案都是一個(gè)獨(dú)立的長(zhǎng)方形(700 ym X 200 y m)，并且與陽(yáng)極引線搭在了一起，形成電連接；(7)再在基板上涂覆一層聚二甲基硅氧烷彈性體的預(yù)聚體(ELASTOSIL? RT 601 A/B， Wacker Chemie AG)，在60 ° C烘烤2小時(shí)，獲得固化的聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜，其作為頂層掩模板；(8)以上流程獲得了一個(gè)形成在PET塑料片上的柔性系統(tǒng)。
[0024] 實(shí)施例2:通過(guò)柔性系統(tǒng)制造3色可彎曲有機(jī)電致發(fā)光二極管顯示器。流程如下:(1)將按照實(shí)施例1描述方法獲得的柔性系統(tǒng)的頂層掩模板覆蓋紅色像素區(qū)域的聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜剝離；(2)蒸鍍一層此03作為空穴注入層，其厚度為23nm;(3)形成對(duì)應(yīng)紅色像素的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件。器件結(jié)構(gòu)如下:a-NPD (68 nm) / Ir(piq) 2acac: CBP 20% (59 nm) / BCP (13 nm) / Alq3 (19 nm) / LiF (1 nm) / A1 (60 nm)；(4)將頂層掩模板覆蓋綠色像素區(qū)域的聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜剝離；(5)蒸鍍一層此03作為空穴注入層，其厚度為4nm ;(6)形成對(duì)應(yīng)綠色像素的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件。器件結(jié)構(gòu)如下:a-NPD (40 nm) / Alq3 (60 nm) / LiF (1 nm) / A1 (60 nm)；(7)將頂層掩模板覆蓋藍(lán)色像素區(qū)域的聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜剝離；(8)蒸鍍一層如03作為空穴注入層，其厚度為4nm ;(9)形成對(duì)應(yīng)藍(lán)色像素的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件。器件結(jié)構(gòu)如下:a-NPD (40 nm) / ADN (45 nm) / Alq3 (12 nm) / LiF (1 nm) / A1 (60 nm)；(10)以上流程獲得了能夠顯示紅、綠、藍(lán)像素的可彎曲有機(jī)電致發(fā)光二極管顯示器。
[0025] 縮略語(yǔ):a -NPD:N，N’ -Bis (naphthalen-1-yl) -N，N’ -bis (phenyl) -benzidine ;Alq3:Tris (8-hydroxy-quinolinato)aluminium ；CBP:4,4’-Bis (carbazol-9-yl)biphenyl ;TPB1:2, 2’，2’ ’ -(1，3, 5-Benzinetriyl)-tris(l-phenyl-l-H_benzimidazole)；AND:9,l〇-Di (naphth-2-yl)anthracene ；Ir(piq) 2 (acac):Bis(1-phenyl-1soquinoline)(Acetylacetonato)iridium (111)〇
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于制造多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的柔性系統(tǒng)，所述 柔性系統(tǒng)包括:(a)柔性基板，其作為形成有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的基板；(b)置于柔性基板上的電極引線，其用于給陽(yáng)極供電，以及為有機(jī)電致發(fā)光二極管器 件和顯示裝置的像素進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；(c)置于柔性基板和電極引線之上的陽(yáng)極，其作為形成有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯 示裝置的陽(yáng)極，并和電極引線形成電接觸；(d)置于柔性基板和電極引線之上的底層掩模板，其用于在通過(guò)真空鍍膜方式形成有 機(jī)電致發(fā)光二極管時(shí)，對(duì)除陽(yáng)極之外構(gòu)成有機(jī)電致發(fā)光二極管器件的其它功能層圖形化成 為所需要的形狀；(e)覆蓋在柔性基板、電極引線、陽(yáng)極和底層掩模板上的頂層掩模板，將其覆蓋在陽(yáng)極 上的部分選擇性地剝離之后，可用于形成對(duì)應(yīng)不同顏色的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件。2.如權(quán)利要求1所述的柔性系統(tǒng)，其特征在于，柔性基板是由包括塑料薄膜或超薄玻 璃材料構(gòu)成。3.如權(quán)利要求1所述的柔性系統(tǒng)，其特征在于，柔性基板是透明或者半透明的，有機(jī)電 致發(fā)光二極管在電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的光將由柔性基板一側(cè)發(fā)出。4.如權(quán)利要求1所述的柔性系統(tǒng)，其特征在于，構(gòu)成電極引線的材料包括金屬薄膜、碳 納米管、石墨烯。5.如權(quán)利要求1所述的柔性系統(tǒng)，其特征在于，陽(yáng)極是由金屬薄膜和金屬氧化物薄膜 雙層結(jié)構(gòu)構(gòu)成，其金屬薄膜置于柔性基板上，金屬氧化物薄膜置于金屬薄膜上。6.如權(quán)利要求5所述的陽(yáng)極，其特征在于，構(gòu)成陽(yáng)極的金屬薄膜材料進(jìn)一步包括鈧、 ?乙、欽、錯(cuò)、給、鑰j、銀、組、絡(luò)、鑰、媽、猛、鍊、鐵、韋了、餓、鉆、銘、依、銀、鈕、銷、銅、銀、金、錦、 鋁、鎵、銦、鍺、錫，以及它們的合金；構(gòu)成陽(yáng)極的金屬氧化物薄膜材料進(jìn)一步包括氧化鉬、氧 化媽、氧化鉭、氧化銀、氧化鈦、氧化鋅、氧化鎵、氧化錫、氧化銦，以及它們的混合物。7.如權(quán)利要求5所述的陽(yáng)極，其特征在于，構(gòu)成陽(yáng)極的金屬薄膜的厚度為5nm到50nm ; 構(gòu)成陽(yáng)極的金屬氧化物薄膜的厚度為lnm到lOOnm。8.如權(quán)利要求1所述的柔性系統(tǒng)，其特征在于，底層掩模板由圖形化的聚二甲基硅氧 烷彈性體薄膜構(gòu)成。9.如權(quán)利要求1所述的柔性系統(tǒng)，其特征在于，頂層掩模板由聚二甲基硅氧烷彈性體 薄膜構(gòu)成。10.如權(quán)利要求1所述的柔性系統(tǒng)，其特征在于，構(gòu)成頂層掩模板的聚二甲基硅氧烷彈 性體薄膜主要覆蓋在兩類區(qū)域:第一類區(qū)域是柔性基板上未被底層掩模板覆蓋的區(qū)域；第 二類區(qū)域是底層掩模板上方。11.如權(quán)利要求10所述的頂層掩模板，其特征在于，分布在兩類區(qū)域的聚二甲基硅氧 烷彈性體薄膜能夠被分別剝離下來(lái)。12.如權(quán)利要求1所述的柔性系統(tǒng)，其特征在于，構(gòu)成該系統(tǒng)的柔性基板、電極引線、陽(yáng) 極、底層掩模板和頂層掩模板能夠與柔性基板共同彎曲。13.如權(quán)利要求1所述的柔性系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)柔性系統(tǒng)處于彎曲狀態(tài)時(shí)，頂層掩 模板分布在兩類區(qū)域的聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜能夠被分別剝離下來(lái)。14.一種用于制造多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置的方法，該方法 包括:(a)采用按權(quán)利要求1至13所述的制造的柔性系統(tǒng)制造多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光 二極管器件和顯示裝置；(b)采用一層金屬氧化物薄膜作為空穴注入層，其材料包括氧化鉬、氧化鎢、氧化鉭、 氧化釩，以及它們的混合物；(c)多色可彎曲的有機(jī)電致發(fā)光二極管器件和顯示裝置具有N種顏色的像素，N是自 然數(shù)，為2、3、4、5。15.如權(quán)利要求14所述方法，其特征在于，制造多色可彎曲有機(jī)電致發(fā)光二極管器件 和顯示裝置的過(guò)程如下:(a)將覆蓋在對(duì)應(yīng)第1種顏色像素的區(qū)域的陽(yáng)極上的頂層掩模板聚二甲基硅氧烷彈 性體薄膜進(jìn)行剝離；(b)沉積一層金屬氧化物薄膜作為空穴注入層，其材料包括氧化鉬、氧化鎢、氧化鉭、 氧化釩，以及它們的混合物；(c)在由金屬氧化物薄膜構(gòu)成的空穴注入層之上，形成第1種顏色像素所對(duì)應(yīng)的有機(jī) 電致發(fā)光層和陰極；(d)形成從第2種到第N中顏色像素所對(duì)應(yīng)的有機(jī)電致發(fā)光層和陰極；在形成從第2 種到第N中顏色像素的每一種顏色像素時(shí)，重復(fù)(a)到(c)，獲得多色可彎曲的有機(jī)電致 發(fā)光二極管器件和顯示裝置。16.如權(quán)利要求14所述方法，其特征在于，空穴注入層的厚度為lnm到50nm。17.如權(quán)利要求15所述方法，其特征在于，當(dāng)剝離頂層掩模板上的覆蓋在陽(yáng)極之上的 聚二甲基硅氧烷彈性體薄膜之后，作為空穴注入層的金屬氧化物薄膜沉積在陽(yáng)極上，有機(jī) 電致發(fā)光層形成在空穴注入層之上，陰極形成在有機(jī)電致發(fā)光層之上。
【文檔編號(hào)】H01L51/52GK105990533SQ201510085457
【公開(kāi)日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2015年2月17日
【發(fā)明人】黃會(huì)文
【申請(qǐng)人】黃會(huì)文